【課題】 真空容器として十分な機械的強度を維持しつつ、軽量化を図ると共に、その材料費および加工費を極力軽減できる真空容器を提供する。
【解決手段】 プラズマ処理容器１００ａは、角筒形状に成形された下部容器１と、この下部容器１に組み合わされる上部容器１０とを有している。上部容器１０は、枠体２１と、この枠体２１に絶縁部材２３を介して連結されたシャワーヘッド２５と、これら枠体２１およびシャワーヘッド２５の上方に配設された梁構造体２７とを備え、シャワーヘッド２５を構成するベース板３１は大気圧の外部空間に露出している。 （もっと読む）