【課題】半導体製造装置間でのデータのコピー、移動に使用される可搬性の記憶媒体で、信頼性の低い記憶媒体であっても、コピー、移動が高精度に実行できる様にした半導体製造装置を提供する。
【解決手段】処理実行用データの第１格納手段４３と一時的に格納する第２格納手段間４５でデータの移動を制御する制御手段４２を具備し、前記第１格納手段４３からコピー元ファイルをテンポラリフォルダに１時ファイルとしてコピーし、前記コピー元ファイルを前記第２格納手段４５のコピー先フォルダにコピー先ファイルとしてコピーし、前記１時ファイル及び前記コピー先ファイルを所定バイト単位で各々比較し、差異があればファイル異常として前記第２格納手段４５の前記コピー先ファイル及び前記テンポラリフォルダの前記１時ファイルを削除し、ファイル全ての比較で差異がない場合は、前記テンポラリフォルダの前記１時ファイルを削除する。 （もっと読む）

【解決手段】基板の上で、エッチング対象層とフォトレジストマスクとの間にＡＲＣ層を配した状態で、フォトレジストマスクを通してエッチング対象層をエッチングするための方法が提供される。基板は、処理室の中に置かれる。処理室の中には、ＡＲＣ開口用混合ガスが供給される。ＡＲＣ開口用混合ガスは、エッチャントガスと、ＣＯおよびＣＨ₃Ｆを含む重合ガスとを含む。ＡＲＣ開口用混合ガスからは、ＡＲＣ開口用プラズマが形成される。ＡＲＣ層は、開口されるまでＡＲＣ開口用プラズマでエッチングされる。ＡＲＣ開口用混合ガスは、エッチング対象層が完全にエッチングされる前に停止される。 （もっと読む）