【課題】トレードオフの関係にある臨界オフ電圧上昇率ｄＶ／ｄｔとゲート感度との関係を改善した半導体装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、ゲートトリガ電流Ｉ_ＧＴの経路となるベース層（Ｐ型ベース領域、Ｐ型半導体領域Ｐ１）のゲート電極Ｍ１ｂとのオーミック接触面である高濃度不純物層を、高融点金属シリサイド層ＬＭで形成する。 （もっと読む）