ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051)

処理物
容器の種類
容器の構造
処理の対象物 (12,583)
移送装置
容器の種類 (5,166)
容器の構造 (2,912)
出し入れ、移替え
移送の形態 (16,275)
加工処理時の固着、保持
移送装置、手段 (13,292)
検出
処理時の固着、保持 (16,861)
位置決め
検出 (10,411)
ステージ、載置台
位置決め (4,282)
移送先の処理工程
動作機構等 (3,476)
雰囲気管理
処理装置 (13,378)
特殊目的
雰囲気管理 (4,208)
特殊目的 (8,207)