【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。
【解決手段】回転軸Ｏを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた第１〜３の駆動軸１１〜１３と、第１の駆動軸１１によって駆動されて伸縮する上側搬送機構１Ａと、上側搬送機構１Ａに対して下方に配置されるとともに、第２の駆動軸１２によって駆動されて伸縮する左下側搬送機構２Ｌと、上側搬送機構１Ａに対して下方で左下側搬送機構２Ｌと同じ高さ位置に配置されるとともに、第３の駆動軸１３によって駆動されて伸縮する右下側搬送機構２Ｒとを備える。左下側搬送機構２Ｌと、右下側搬送機構２Ｒとが、第１〜第３の駆動軸１１〜１３を挟んで基板搬送方向Ｐの両側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】漏洩磁場の抑制と駆動性能とのバランスを取る。
【解決手段】開放面を有する第１のヨーク１８と、前記第１のヨーク内にＳ極とＮ極とが交互になるよう直線状に並べられた２列の永久磁石１７とを備えた界磁子９と、前記２列の永久磁石の間に設けられ直線移動する可動子１０とを備えたリニアモータにおいて、前記第１のヨークの開放面から見て前記第１のヨークの開放端部と前記永久磁石とを覆うように、前記第１のヨークの開放端部に第２のヨーク１９を接続する。 （もっと読む）

【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも２つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、各処理室を仕切るゲートバルブを挟んだ２つのピニオンギヤを同時に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 様々な大きさのワークに適応可能な保持具を、低コストで提供することである。
【解決手段】 ベルヌーイの原理を利用して本体に設けた保持面１ａにワークＷを保持する保持具を前提とし、上記保持面１ａの外形より突出する風よけ部材８を備え、この風よけ部材８の全部あるいは一部が、保持面１ａに保持されたワークＷと対向する位置関係を保つ構成にし、ワークＷを保持搬送する際に、ワークＷが脱落する方向ｘ２の風圧を風よけ部材８がさえぎるようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持面が移動する方向において縮小する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】非接触搬送装置１０は、ワークＷを保持する保持部材１２と保持部材１２が装着される装着プレート１１とを有している。保持部材１２は、ワークＷに臨む流出面１２ａと、流出面１２ａに開口する旋回室と、旋回室に圧縮空気を導入する導入孔とを有している。一方、装着プレート１１は、相対向する装着面１５ａと裏面１５ｂとを繋ぐ外側面１５ｃを有するプレート本体１５と、気体供給源１３からの圧縮空気が流れる気体流路と、気体流路の経路上に設けられ装着面１５ａに開口し、該気体流路と保持部材１２の導入孔とが連通するかたちに保持部材１２が嵌入される嵌入孔とを有している。装着プレート１１の気体流路には、プレート本体１５の外側面１５ｃに設けられた供給ポート１９を介して圧縮空気が供給される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高精度且つ迅速に基板搬送機構のベアリング間の段差を調整することで、装置稼働率、製品歩留まりの向上及びメンテナンスコストの低減を図ることができるインライン式成膜装置の搬送振動監視装置を提供する
【解決手段】本発明の搬送振動監視装置は、基板６を搭載してインライン式成膜装置Ｓ内に配設された搬送路Ｒに沿って搬送されるキャリアＴに加わる振動を監視するものであって、キャリアＴに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサ５と、加速度センサ５で測定された加速度データと解析するＰＣ１３とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに生じた摩耗や位置ずれを自動的に検知する吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着パッド１０の基準位置Ｌ_０における吸着力Ｆ１を吸着センサ３０が測定し、測定された吸着力Ｆ１が閾値ＴＨより小さいと判定部４２が判定した場合には、駆動部２０が吸着パッド１０を昇降方向または交差方向に所定の変位量を変位させ、変位した位置（変位位置Ｌ_Ｄ）における吸着パッド１０の吸着力Ｆ２を吸着センサ３０が測定するとともに、吸着力Ｆ２が閾値ＴＨより大きいと判定部４２が判定した場合の変位量ΔＬを取得する機能を有する制御部４０を備える吸着装置１００。 （もっと読む）

【課題】レーザー干渉計による位置測長部位がＸＹ方向に運動するＸＹステージにおいて、レーザー干渉計の測長光路を十分に覆う測長光路筒機構を備えることで空気揺らぎによる測長誤差を低減できるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】ＸＹ方向に移動するステージと、ステージの位置を測長するためのレーザー干渉計と、ステージとレーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のレーザー干渉計側に設けられ、レーザー干渉計に固定される固定筒と、測長光路の少なくとも一部を覆い、測長光路のステージ側に設けられ、ステージの移動と連動して運動する可動筒とを備える測長光路筒機構を有し、固定筒または可動筒の一方の端部が他方の端部に挿入されることを特徴とするＸＹステージ装置。 （もっと読む）

【解決手段】 基板取り扱い技術を開示する。一実施形態例によると、当該技術は、基板サポートとして実現されるとしてよい。当該基板サポートは、実装部分を備えるとしてよい。当該基板サポートはさらに、実装部分から延伸している壁を備えるとしてよい。尚、壁は、概して囲まれた領域を形成し、遠位端において接触面を有するとしてよい。 （もっと読む）

【課題】落とし込み型の基板保持部を用いながらも、高精度な基板搬送情報を自動生成できる基板搬送教示方法を提供する。
【解決手段】シャトル搬送機構のハンド１９Ａに対する主搬送ロボットのハンド１３Ａの適正位置を教示するオートティーチングのために、被検出側治具基板１１０およびセンサ側治具基板１２０が用いられる。被検出側治具基板１１０がハンド１９Ａに保持させられ、センサ側治具基板１２０がハンド１３Ａに保持させられる。ハンド１３Ａ，１９Ａは、いわゆる落とし込み型のハンドであり、基板との間にバックラッシュが生じている。オートティーチングの際は、シリンダ１００，５３Ａのロッド１０１，５４Ａによってバックラッシュを解消した状態とする。ハンド１３Ａの適正位置を表す教示位置情報は、バックラッシュ分を補正して求められる。 （もっと読む）