Fターム[5F031CA02]の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理の対象物 (12,583) | 円形基板 (7,645) | ウエハ (7,427)
Fターム[5F031CA02]に分類される特許
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剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
露光装置および露光方法
接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム
ウエハ処理装置
薄板収納容器
検出方法
ワーク検出機構
露光装置
剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
ワーク貼着方法およびワーク貼着装置
接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム
薄板収納容器
基板温調固定装置及びその製造方法
ウェーハ保護クッション材
搬送装置及び基板処理システム
基板処理装置および基板処理方法
基板収納容器
基板収納容器
ピッチ変換構造
接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
【課題】被処理基板と支持基板を適切に接合する。
【解決手段】接合装置の接合部113は、被処理ウェハWを保持する第1の保持部200と、第1の保持部200に対向配置され、支持ウェハSを保持する第2の保持部201と、第2の保持部201に保持された支持ウェハSを覆うように設けられた鉛直方向に伸縮自在の圧力容器271を備え、当該圧力容器271内に気体を流入出させることで第2の保持部201を第1の保持部200側に押圧する加圧機構270と、第1の保持部200、第2の保持部201及び圧力容器271を内部に収容し、内部を密閉可能な処理容器290と、処理容器290内の雰囲気を減圧する減圧機構300と、を有している。
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