【課題】非磁性金属板等の被吸着部材をコンベアに正確に供給する。
【解決手段】被吸着部材（ａ）を吸着してコンベア（２）に垂直状態で受け渡し、被吸着部材（ａ）をコンベア（２）の把持部（６）に把持させる被吸着部材の供給方法において、被吸着部材（ａ）の吸着に静電チャック部材（９）を用い、この静電チャック部材（９）に電圧を印加することより静電チャック部材（９）で被吸着部材（ａ）を吸着して上記コンベア（２）の把持部へと送り、被吸着部材（ａ）が上記コンベア（２）の把持部で把持された直後に電圧の印加を解除して被吸着部材（ａ）を解放させるようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークの反り形状に対応した載置形状を安価なシートに形成してワークを切断可能に把持するワーク吸引治具を提供する。
【解決手段】ワーク５０を切断可能に把持するワーク吸引治具であって、ワーク５０の真空吸着を行うように構成された治具６０と、記治具６０の上に載置され、ワーク５０の反り形状に対応した載置形状を形成するための孔２４を備えたシート１４と、シート１４の上に載置された吸着ゴムシート４０とを有し、治具６０、シート１４、及び、吸着ゴムシート４０のそれぞれに設けられた複数の吸引孔６５、３０、４１を介してワーク５０の真空吸着を行うことで、シート１４の孔２４によりワーク５０の反り形状に対応した載置形状が形成される。 （もっと読む）

【課題】２方向移動テーブルのＹ方向ストロークを拡大する。
【解決手段】同一平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向に移動する２方向移動テーブルであって、Ｙ方向モータのＹ方向可動子４５は、一端がＹ方向テーブルに固定されてＹ方向に延び、Ｙ方向テーブルと共にＸＹ方向に移動する可動アーム４３と、可動アーム４３内に取り付けられ、その一部が可動アーム４３の幅方向に突出する駆動コイル４４と、を有し、駆動コイル４４は、複数のコアレスコイル４４１，４４２，４４３の中央部分がＹ方向に沿って可動アーム４３内に並べて配置され、各コアレスコイル４４１，４４２，４４３相互の渡り部分が可動アーム４３から突出した部分に配置されている重ね巻きコイルである。 （もっと読む）

【課題】粘着テープが均一に伸びた状態で粘着テープを被貼付部材（リードフレーム）に貼り付ける粘着テープの貼付装置及び粘着テープの貼付方法を提供する。
【解決手段】被貼付部材（リードフレーム）２を載せ上下する平坦なステージ１と、被貼付部材（リードフレーム）２の上方に設置され、粘着テープ４が張られたリング８を保持する保持部７と、ステージ１と保持部７とを収容する容器１２と、容器１２内の大気を排気する排気部９と、容器１２が密閉され、排気部９により大気を排気した状態で、ステージ１を上昇させ、被貼付部材（リードフレーム）２と粘着テープ４とを互いに押しつける制御部１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造技術において使用する吸着治具を、３００℃以上の熱に耐えられるようにする。
【解決手段】コレットホルダ６１に設けられたコレット６０等の吸着治具を、高耐熱性とする。かかる構成を採用することで、これまでは金錫共晶接合等で使用される温度では、熱劣化等を起こしていたコレット６０を、熱劣化等を起こさずに使用することができる。かかる高耐熱性には、特定の高耐熱性シリコーン樹脂を使用すればよい。例えば、株式会社ＡＤＥＫＡのＦＸ−Ｔ１５４等を例として挙げることができる。かかる高耐熱性シリコーン樹脂は、さらに、ショアＡ硬度が１０以上９０以下の性質のものを使用すればよい。さらには、導電剤を添加して、高耐熱性シリコーン樹脂に適度な導電性を付与しても構わない。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易で、搬送時に搬送対象とする基板に、他の基板が張り付かないような構造の搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、基板３１を真空吸着する吸着パッド、基板３１を押圧する押し棒７、押し棒７を駆動するエアシリンダ１７、エアシリンダ１７および吸着パッドに接続された真空発生器１５を有している。
搬送装置１を用いて基板３１ａを搬送する場合は、まず、吸着パッドを、基板３１ａの上面に接触させる。
次に、真空発生器１５にエアを供給して負圧を発生させ、発生した負圧により、吸着パッドが基板３１ａを真空吸着する。
吸着パッドが基板３１ａを真空吸着すると、基板３１ａを持ち上げつつ、真空発生器１５より排気されたエアを用いて、エアシリンダ１７により押し棒７を移動させて基板３１を押圧、変形させ、基板３１ａと接触していた基板を剥離する。 （もっと読む）

【課題】 薄い接合用フィルムを負圧で吸着してフィルムに部分的な変形が生じても、基板などの平坦な被マウント面にボイドを残留させることなくマウントするコレット。
【解決手段】 平坦な矩形の吸着面２１の中央部ｍを除く周辺部ｎの複数箇所にエアー出入穴２３を形成し、各エアー出入穴２３から吸着面２１の四辺の外周縁２２に延在させてリーク溝２４を形成する。各リーク溝２４は、その両端がエアー出入穴２３と外周縁２２で開口する。吸着面２１でフィルム１を負圧で吸着するとき、中央部ｍにフィルム中央部を密着させる。 （もっと読む）

【課題】外気の流入を抑えることができるワーククランプ装置を提供する。
【解決手段】搬送レール２の側面３１にアーム挿入穴４１を開設し、アーム挿入穴４１にクランプアーム３２を挿入する。クランプアーム３２にシャッター５１を設け、シャッター５１を搬送レール２の側面３１に密接する。クランプアーム３２にワーククランプ８１を固定し、ワーククランプ８１を搬送部１３内配置する。このワーククランプ８１をプロセス用開口部２１の下方領域８３まで延出し、搬送部１３内のリードフレームＲを押さえられるように構成する。 （もっと読む）

【課題】収納容器内において塵が基板上あるいは基板上にすでに実装されている半導体素子上へ落下するのを抑制できる基板搬送セットを提供する。
【解決手段】基板収容部２間の間隔Ｐが一定で、前方側端面から先頭の基板収容部２までの距離が異なる基板搬送用治具１ａ、１ｂを、収納容器に交互に段積み収納することで、収納容器内に段積み収納された各基板搬送用治具の基板収容部が、１段上もしくは１段下の基板搬送用治具の基板収容部と垂直方向に一致しないようにする。 （もっと読む）

【課題】チップを安定してピックアップして基板に搭載することができるチップ搭載装置およびチップ搭載方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光の照射により気体を発生する粘着性物質によってチップを貼着保持したシートからチップをピックアップして基板に搭載するチップ搭載装置において、粘着保持力を低下させるためにシートに対して下面側から光を照射する光照射手段に透光部Ｔと遮光部Ｎが設けられた板状の遮光部材９を装着する。透光部Ｔの形状・寸法を、遮光部材９をピックアップ対象のチップ６に位置合わせした状態において、透光部Ｔがチップ６の外形線６ａから内側に所定幅ｄだけ隔てて閉形状で設定された内縁線６ｂの外側にはみ出さないように設定する。これにより、隣接するチップ６への光照射の影響を排除して、チップ６を安定してピックアップして基板に搭載することができる。 （もっと読む）

本発明は、半導体製造工程におけるパッケージまたはストリップを吸着する時に使われる吸着パッドを加工するための装置及びその加工方法に関するものであって、吸着パッド加工装置は、被加工物が安着する被加工物移送部と、上記被加工物移送部の上部に所定間隔を置いて設けられるレーザ発生装置と、上記被加工物移送部と上記レーザ発生装置との相対移動を発生させる移送手段と、上記レーザ発生装置を制御する制御装置とを含んで、吸着パッドの用途やパッケージのサイズによってパターンの形態及び大きさを多様に精密加工することができ、これを標準化することで、加工時間及び費用を最小化することができる。
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【課題】 断線対策費用等の増大を招くこと無く、トラブルの発生を未然に防止することができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 各レール８１〜８３とワーク送り装置とでリードフレームを搬送するワーク搬送装置を構成する。各レール８１〜８３を支持する支持ブロック８４を昇降機構８７で昇降自在に支持し、昇降機構８７を、エアシリンダで水平駆動される板カム９１と、支持ブロック８４に設けられたカムフォロア９２で構成する。板カム９１を水平移動してカム面９３を転動するカムフォロア９２を上下動することで、カムフォロア９２が設けられた支持ブロック８４及び各レール８１〜８３を昇降して、各レール８１〜８３をワーク送り装置の各搬送爪に対して昇降できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 リードフレームのような開口部が多いワークであっても、ワークの引き渡しおよび受け取りを確実に行うことが可能なワーク受け渡し装置を提供する。
【解決手段】 ワークを載置する載置面１０が設けられた引渡部３０と、ワークを載置面１０からエア吸着して受け取る受取面５０が設けられた受取部７０とを備えるワークの受け渡し装置であって、受取面５０には、ワークをエア吸着するための複数の吸着孔４２が形成され、載置面１０には、吸着孔４２の一部またはすべてと対向する配置にエア供給路１４が設けられていることを特徴とするワークの受け渡し装置である。 （もっと読む）

【課題】 構造簡単で安価であり、省スペース設計が容易なワーク収納装置。
【解決手段】 クランパー２０で平板状ワーク１の側端部を把持して長さ方向前方に搬送してマガジン３に挿入するワーク収納装置で、クランパー２０にワーク１をマガジン３の奥へと押し込む押込部材２１を設ける。ワーク１を上下から把持する一対の第１クランパー２０ａと第２クランパー２０ｂの少なくとも一方に押込部材２１をワーク搬送方向前方に突出させて一体に形成し、クランパー２０でワーク１をマガジン３に挿入した後、クランパー２０を閉じて押込部材２１の先端でマガジン３から突出するワーク後端部を押してマガジン３内に挿入する。 （もっと読む）

【課題】多様なサイズや品種の異なる基板であっても吸着エリアの設定を個別に行なうことができ、基板の吸着状態や記録品位を高度に維持できる基板吸着搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着プレート１８の吸引孔２３は、該吸引孔２３に対応する位置に配設されベースプレート１９から昇降可能に設けられた吸引孔開閉部材２４により個別に開閉可能になっている。 （もっと読む）