【課題】 半導体処理装置の取付け面に対する取り付けの容易なロードポート装置を提供する。
【解決手段】 ロードポート装置において載置台を支持するベース部材を、該ロードポート装置の取付け面側に配置される前方車輪を有する第一の支持ユニット及び該前方車輪より離れて配置される後方車輪を有する第二の支持ユニットにより支持することとし、ベース部材に対する第一の支持ユニットによる前方車輪の昇降の操作と第二の支持ユニットによる後方車輪の昇降の操作とを独立して行うこととする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ搬送室内に搬送可能なウェーハの数を効果的に増大させることができ、ＥＦＥＭに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能な装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ搬送室Ｂ及びロードポートＣとともにＥＦＥＭを構成し、載置テーブルを、ロードポートＣがＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す位置と同一直線Ｌ上に設定したＦＯＵＰ受渡位置と、ウェーハ搬送室Ｂの側面にＦＯＵＰｘを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で移動させる移動機構を備えたサイド用ロードポート１を案出した。 （もっと読む）

【課題】 板状体の正面を塞がずに、かつ光源と受光素子とを備えている投受光センサを用いて、板状体を確実に検出する。
【構成】 検出装置は板状体が所定位置に存在するか否かを検出する。検出装置は、板状体の一側面へ向けて斜めにスポット状の検出光を投光する光源と反射光を受光する受光素子とを備えている投受光センサと、投受光センサから見て板状体よりも遠方にあり、かつ板状体が存在しない場合、検出光を拡散反射する拡散反射部と、投受光センサへ入射する反射光の所定の強度以下であることから、板状体を検出する検出部、とを備えている。板状体の側面が透明の場合、板状体の側面へ入射した検出光は板状体の内部で複数回反射し投受光センサとは異なる方向へ出射し、板状体の側面が鏡面状の反射面の場合、板状体の側面へ検出光は斜めに入射して投受光センサとは異なる方向へ正反射する。 （もっと読む）

【課題】平板状の基板を収納する基板収納ケースの内部に基板が収納されているかどうかの判別を基板収納ケースの外部から容易に認識できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】収納される基板が平行に載置される底面部と、少なくとも一部が底面部に支持されて該基板を保持できる基板固定治具と、底面部と咬合して基板を密封収納できる蓋部とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われる。 （もっと読む）

【課題】露光用のマスクを安定に接地可能とする。
【解決手段】レチクルＲを収容するレチクルポッド２０であって、レチクルＲを収容可能なインナーポッド４１と、インナーポッド４１を収容可能なアウターポッド３９と、インナーポッド４１に設けられて、レチクルＲの接地領域８Ａに接触可能な導電性の可動な接触部１３２Ａと、インナーポッド４１のアウターポッド３９との接触部であるベースプレート５３と接触部１３２Ａとを導通する板ばね１５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことができるとともに、パージ対象容器に付属のポートの種類や形状などに応じて、先端部の種類や形状が異なるパージノズルに交換する作業やメンテナンス作業を簡単且つスムーズに行うことが可能なパージ装置を提供する。
【解決手段】パージ対象容器１を載置可能な載置台に取り付けたボトムパージユニット２と、ポート１ａに接触可能なポート接触部３２を上端部に有するとともに、ボトムパージユニット２に形成した取付部４２に係合可能な被取付部３３を下端部に有し、被取付部３３を取付部４２に対して着脱可能に係合させることによってボトムパージユニット２に取付可能なボトムパージノズル本体３とを備え、被取付部３３を取付部４２に係合させた状態でポート接触部３２が定位置に位置付けられ且つ略水平になるパージ装置Ｐとした。 （もっと読む）

【課題】ペーストと保持容器との接触によるペーストのパターン不良が発生することなく、公差を含む基板を保持することが可能な保持容器を提供する。
【解決手段】基板２０の保持容器１０は、対向する少なくとも１組の側面１０２，１０３を有する基板の保持容器であって、１組の側面の間の距離が下方に向かって狭まるように傾斜しており、側面の内側が、基板の端辺２０２〜２０５と当接することによって、基板を保持する。保持容器を用いることにより、公差を含む基板の端までペースト３０を載置するパターンを用いることが可能となった。 （もっと読む）

【課題】大型の平板状基板を個別に安全かつ清浄さを保ち、簡便な方法で収納・開梱するための基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】平板状の基板を略水平に載置するための複数の基板受けピンを設け縁辺部に側壁を付設した下底部と、前記下底部の側壁と係合する縁辺部を有する蓋部と、からなる基板収納ケースであって、下底部の所定の位置に接続して基板の各辺の端部を保持するための基板保持治具を設けてあり、前記基板保持治具の内、少なくとも１コーナーを挟む２辺に関わる２つの基板保持治具が、基板の中央に向けて基板端部を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具であり、前記スライド式基板保持治具に対向する蓋部の所定の位置に、スライド式基板保持治具をスライドさせる押し込み治具を蓋部に垂直に設け、蓋部を閉めた時に押し込み治具がスライド式基板保持治具を基板の中央方向に押し付ける機構を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ又は基板を支持するための新規な装置を提供する。
【解決手段】基板容器は、基板を包囲するハウジングを備え、ハウジングはハウジングの包囲体の中にアクセスするための容器ドアを有する。ハウジングの中に配置された支持構造体は前記包囲体の中に延びる複数のタインを有する。タインは外縁を有する。複数のタインは水平方向に配置される。基板の張り出し部分はタインの外縁を越えて延び、基板に係合するアクセス領域を形成する。タインは基板を支持するための支持パッドを含む。タインのうちの１つの支持パッドのうちの１つは前記アクセス領域のうちの一方の側に配置され、タインのうちの１つの支持パッドのうちの他の１つは前記アクセス領域のうちの他方の側に配置される。 （もっと読む）

【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも２つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、各処理室を仕切るゲートバルブを挟んだ２つのピニオンギヤを同時に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダの劣化等による貼り合せシステムのトラブルを防止する。
【解決手段】基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、基板を保持面に保持する本体部と、本体部に設けられ、外部から測定可能な指標と、指標の情報、および、外部からの測定により得られるべき結果の情報を、外部から読み出し可能に記憶する情報記憶部とを備える基板ホルダが提供される。指標は、測定によって互いに異なる複数の結果のいずれか一つが測定されるべく設けられており、情報記憶部は、複数の結果のうちの一つを、基板ホルダを識別する識別情報に対応付けて記憶している。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープを使用せずにウエーハをハーフカット可能なウエーハ支持プレートを提供することである。
【解決手段】 ウエーハを支持し搬送するためのウエーハ支持プレートであって、円形凹部から形成されウエーハを収容して支持するウエーハ支持部と、該円形凹部の底に形成された複数の貫通孔と、該ウエーハ支持部を囲繞し加工装置の搬送手段が作用するフレーム部と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ表面から保護テープを精度よく剥離する保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置を提供する。
【解決手段】バックグラインド域を囲焼する環状凸部を裏面に残存形成されたウエハＷの当該環状凸部を第１保持テーブル６ａで吸着保持するとともに、環状凸部の内壁に近接する外周壁を有する第２保持テーブル６ｂを環状凸部内側の扁平凹部に挿入し、その扁平面を吸着保持した状態で、ウエハＷの表面の保護テープに剥離用の粘着テープＴを貼付け、当該粘着テープＴを剥離することにより，ウエハＷの表面から保護テープを一体にして剥離する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクへの塵の付着を抑制しつつ、フォトマスク表面に付着した有機化合物を除去可能なマスクケースを提供する。
【解決手段】内部空間にフォトマスクが収納されるケースである。前記フォトマスクに対向する底面に真空紫外光透過部（５）を有し、前記内部空間と連通したガス流入孔（７）およびガス流出孔（８）が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】デバイス製造の変種変量生産に柔軟に対応すること。
【解決手段】０．５インチサイズのウェハによる枚葉処理方式でのデバイス製造方法及び装置であって、可搬とされ、望ましくは規格化された外形を有し、製造プロセスの内の１つの処理プロセスを処理する密閉型の単位処理装置１を多数配置して製造ラインを形成し、当該デバイスの製造単位数が単位処理装置の数より多い場合には、当該デバイスの処理プロセスの順序に対応させて該単位処理装置をフローショップ方式により配置し、当該デバイスの製造単位数が単位処理装置の数と同等の場合には、該単位処理装置を工程の順序の大分類ごとにクラス分け配置したクラスショップ方式により配置し、さらに製造単位数が工程数を大きく下回る場合には、プロセス種１種類に１台程度の単位製造装置を１つのセル内に配置し、そのセルが複数で構成されるマルチセルショップ方式により配置する。 （もっと読む）

【課題】板状体の搬送容器として、板状体の側端部を容器本体の側壁に有する支持用溝に挿入して収納する際、下端部を底部上面の横方向の支持用溝に容易に嵌り込ませることができるようにする。
【解決手段】対向する両側壁１２ｂの内面に支持用溝１３を有する容器本体１と、側壁上端部に外嵌合する蓋体２と、底パッド４とを備え、容器本体１の縦方向の支持用溝１３の下端から連続して底部１１上面において内方に延びる横方向の補助溝１３ａを形成し、板状体Ｂの下端コーナー部を縦方向の支持用溝１３から連続して補助溝１３ａにより支持するようにし、底部内方に有する支持用溝に対して確実に嵌り込ませることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】 輸送中の発塵が極めて少なく、収納したペリクルが清浄に保たれる大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納する大型のペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体は金属製であるとともに、周縁で載置・固定する蓋体が接触する該ペリクル収納容器の表面に、保護部材が設けられ、ペリクル収納容器本体と蓋体とは該保護部材を介して載置・固定することを特徴とする。前記保護部材は、少なくとも２層からなっており、その蓋体と接する層（上層）は樹脂であり、ペリクル収納容器本体と接する層（下層）はシリコーン粘着剤であることが好ましく、中間層として弾性体層を有することがさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】半径ｒが既知である円形の被測定物の外周上の点の座標をセンサで測定し、前記測定値に基づき、被測定物の中心点の位置を特定する場合において、被測定物の中心点を特定する。
【解決手段】前記センサを被測定物の外側から内側へ走査して前記被測定物の内側に進入する位置の座標を検出し、前記センサが前記被測定物の内側であることを検知した所定の位置を屈曲点として、前記屈曲点で前記走査の方向を変更し、前記センサを走査して、前記内側に進入する位置および前記屈曲点からともに距離ｒである点のうち走査側にある点を中心点とする半径ｒの円である判定円から進出するより前または同時に、前記被測定物の外側に進出する位置の座標を検出し、前記進入した位置の座標、前記進出した位置の座標及び前記半径ｒから被測定物の中心点の座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】使用環境に応じて，収納された基板に異物が付着することを効果的に防止する。
【解決手段】基板収納装置１００内に外気を取り込む給気部１１０と，給気部に対向して配置された排気部１２０と，給気部と排気部との間に設けられ，これらの間を連通する連通孔１４２を有する基板載置板１４０と，給気部に設けられた給気フィルタ１１２と，給気部又は排気部に設けられたファン１２２とを備え，基板収納装置１００内の状態を検出する状態センサと，パーティクル帯電装置と，温調装置とのいずれか又は２つ以上の組合せを装着孔１５０に着脱自在に設けた。 （もっと読む）