【課題】本発明は、透明性に優れ、しかもアウトガスの発生が少ない新規な樹脂成形品及び樹脂成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】素材Ｐとしてのポリプロピレン系樹脂組成物を、加熱筒２の上流側から間欠的に供給し、供給された素材Ｐを加熱筒２の軸心に沿って加熱筒２内に配されたスクリュー３を回転させることによって加熱筒２の上流側から下流側に順次輸送し、加熱筒２を加熱すると共に加熱筒２内を減圧することによって、素材Ｐからガス成分を遊離させつつ、ベント孔４を介して除去する。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープを使用せずにウエーハをハーフカット可能なウエーハ支持プレートを提供することである。
【解決手段】 ウエーハを支持し搬送するためのウエーハ支持プレートであって、円形凹部から形成されウエーハを収容して支持するウエーハ支持部と、該円形凹部の底に形成された複数の貫通孔と、該ウエーハ支持部を囲繞し加工装置の搬送手段が作用するフレーム部と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板のセット時や搬送時の衝撃により被処理基板の被処理面に傷や割れが発生することを抑制できる基板ホルダー及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】被処理基板を支持するホルダー本体が、被処理基板Ｓの被処理面を露出させる第１開口２１２を有し、被処理基板Ｓの被処理面側の外周部に当接するマスク部材２１と、第１開口よりも広い第２開口１１３を有し、マスク部材の外周部に当接して被処理基板の被処理面を第１開口を介して第２開口から露出させた状態でマスク部材を支持して被処理基板を支持する支持部材１１と、支持部材とマスク部材とが当接する領域に設けられた衝撃吸収性を有する緩衝材１２とを備える。基板搬送装置はこれを有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触によるウエハ保護シートの有機物のウエハへの転写を防止したウエハ保護シートを提供する。
【解決手段】ウエハ保護シート１は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】板状物を撓んだ状態で保持するトレイで、板状物の機能を有する部分を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単に、効率的にでき、振動よる板状物の品質面の問題を解消できるトレイを提供する。
【解決手段】全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部２０と、枠部に支持され、枠部の枠内側領域において、板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部３０とを備え、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているもので、板状物保持部の板状物を載せない側の面である裏面の少なくとも一部に、板状物を載せたトレイを複数重ねた状態において、板状物と接触して振動を抑制する、振動抑制部材４０が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】板状体の搬送容器として、板状体の側端部を容器本体の側壁に有する支持用溝に挿入して収納する際、下端部を底部上面の横方向の支持用溝に容易に嵌り込ませることができるようにする。
【解決手段】対向する両側壁１２ｂの内面に支持用溝１３を有する容器本体１と、側壁上端部に外嵌合する蓋体２と、底パッド４とを備え、容器本体１の縦方向の支持用溝１３の下端から連続して底部１１上面において内方に延びる横方向の補助溝１３ａを形成し、板状体Ｂの下端コーナー部を縦方向の支持用溝１３から連続して補助溝１３ａにより支持するようにし、底部内方に有する支持用溝に対して確実に嵌り込ませることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】リブと半導体基板との間の貼り付きを防止し、洗浄液、エッチング液を半導体基板表面にスムーズに流し、均一なエッチングが実現できる方法を提供する。
【解決手段】基板カセットに設けられた複数のリブ１０の間に、単結晶シリコン基板を配置し、基板カセットをエッチング液が収容された槽内に浸漬し、単結晶シリコン基板の表面処理を行う半導体装置の製造方法であって、基板カセットのリブ１０の表面に単結晶シリコン基板との接触面積を低下させる穴部１０１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】コンテナ体内の気体を短時間で効率良く置換することのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能なコンテナ体１と、コンテナ体１の開口した正面２を開閉するドア体３０と、コンテナ体１の両側壁９前部に配設され、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０を施錠する施錠手段４０と、コンテナ体１内のガスと外部の不活性ガスとを置換する気体置換手段６０とを備えた基板収納容器であり、気体置換手段６０は、正面２にドア体３０が嵌合されたコンテナ体１の外部から内部に不活性ガスを供給する給気パージバルブ６１と、正面２にドア体３０が嵌合されたコンテナ体１の内部から外部にガスを排気する排気パージバルブ６５とを備え、給気パージバルブ６１をドア体３０に内蔵し、排気パージバルブ６５をコンテナ体１の底板４後方に装着する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板包装用ボックスを発泡性材質で構成することによる利点が得られると共に、有機物とその他異物の転写による基板の汚れ及び微細なスクラッチを防止でき、ボックスの再使用のための洗浄を簡便、かつ、完壁に行うことができる。
【解決手段】表示装置ガラス基板包装用ボックスは、ボックス本体１０とスロットプレート２０とを含んでいる。スロットプレート２０は、ボックス本体１０と分離構成された板状部材からなる。前記板状部材の両側高さ方向の隅部は、スロットプレート挿入溝１２ａ〜１２ｄに乗って上昇、下降し、ボックス本体１０に着脱式で結合される。ボックス本体１０は、発泡性樹脂材質で発泡形成され、スロットプレート２０は、ＰＥＴ、非晶質ＰＥＴ（Ａ−ＰＥＴ）又はＰＥＴ−Ｇ樹脂で形成されている。 （もっと読む）

【課題】ウェハーを横方向で収容した状態で確実に保持できるウェハーキャリヤを提供する。
【解決手段】容器とドアとを有するウェハー容器はウェハーの横方向の最小接触での支持を与え、また、前縁支持と後縁支持との間の一つの面的な支持を伴うことなく縦方向の支持を与える。ウェハーキャリヤは各ウェハーに対して互いに軸方向にずれた２つの異なる支持レベルを有している。第１の支持レベルは各ウェハーの左側及び右側において底面と接触するウェハー棚によって得られる。第２の支持レベルはウェハーを左側及び右側の縁部における一つの面的な支持を伴うことなく前縁及び後縁においてウェハーを保持するクッションによって与えられる。 （もっと読む）

【課題】 輸送中の発塵が極めて少なく、収納したペリクルが清浄に保たれる大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納する大型のペリクル収納容器であって、ペリクル収納容器本体は金属製であるとともに、周縁で載置・固定する蓋体が接触する該ペリクル収納容器の表面に、保護部材が設けられ、ペリクル収納容器本体と蓋体とは該保護部材を介して載置・固定することを特徴とする。前記保護部材は、少なくとも２層からなっており、その蓋体と接する層（上層）は樹脂であり、ペリクル収納容器本体と接する層（下層）はシリコーン粘着剤であることが好ましく、中間層として弾性体層を有することがさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングによるチップ分離法の特徴を生かしたチップ分離方法と搬送方法を提供する。
【解決手段】複数の半導体素子また半導体集積回路が形成されたウエハー１００から当該半導体素子または当該半導体集積回路を分離する方法であって、当該ウエハー１００の表面に、分離のために除去される線状の部分を露出させたマスク層を形成する工程と、当該露出部分をウエハーの厚みの３分の２以上の深さまでエッチングする工程とを含み、分離されたあとの個々の当該半導体素子または当該半導体集積回路の一つの群に他と識別できる形状を与えることを特徴とする方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】対象物の設置作業が比較的簡単であり、かつより確実に対象物を保持することができる保持部材を用いたホルダを提供する。
【解決手段】ホルダは、支持部と、該支持部に設けられた当接体と、支持部に設けられて、当接体に対象物を押し当てることにより、当接体との間で前記対象物を挟んで保持する保持部材とを有する。保持部材は、対象物に接触する接触部と、押し当て方向に垂直な方向において接触部の両側の位置で支持部に固定される複数の固定部と、接触部と複数の固定部とをそれぞれ接続し、押し当て方向に伸縮可能な複数の伸縮部とを有する。 （もっと読む）

【課題】既存設備の変更を要せずウェーハを確実に保護する充分な機械的剛性を保持しながら薄型、軽量化或いは低コスト化や作業性の向上を図る。
【解決手段】超高剛性合成樹脂材を素材とし、環状のキャビティ２３に対して外周縁部に近接した外側であり周方向に対して互いに等間隔を以って複数のゲート２８を配置しかつ各ゲート２８とキャビティ２３との間にそれぞれ湯溜り３０を設けてなる成形金型２０により、１ｍｍ乃至１．９ｍｍの厚みで外径が８インチ以下のウェーハ６を収納するウェーハ収納空間部７を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】揮発性炭化水素等の少ないプロピレン系樹脂組成物を用い製造され、特に半導体およびその関連部品を収納した場合に、特に揮発性物質などによる内容物への汚染や汚染による不具合の発生などの影響のないプロピレン系樹脂製の射出成形半導体関連部品搬送ケースを提供する。
【解決手段】 プロピレン系重合体１００重量部に対し、フェノール系酸化防止剤が０．０３〜０．２重量部の範囲で配合された、揮発性成分含有量が１０重量ｐｐｍ以下のプロピレン系樹脂組成物を成形材料として使用して、その材料の射出成形後の揮発性成分含有量を１５重量ｐｐｍ以下とすることにより、ケース内に収納した半導体関連部品の揮発性物質による汚染の影響を少なくした半導体関連部品搬送ケース。 （もっと読む）

【課題】レチクルとの接触箇所に弾性を有する複数の支持材を配置したレチクルポッドを提供すること。
【解決手段】上部蓋体、下部蓋体、及び、複数の下部蓋体の四隅に配置された支持部品からなり、支持部品は、垂直方法により一体的に相互連結し、且つ、両端にそれぞれ留め具が配置される座体と、それぞれ座体に配置され、各弾性部材が座体の縦方向から１つの段部を延伸した後、更に座体の内側横方向に沿ってもう１つの段部を延伸する１対の弾性部材と、それぞれ弾性部材の横方向延伸段部と連結した後、更に縦方向に凸起部を延伸して、凸起部の座体内側にある側面に第１傾斜面と第２傾斜面を形成する１対のガイド部材、及び、その第１端と第２端がそれぞれガイド部材の第２傾斜面と連結して、その第３端箇所に支持柱が配置される支持底板とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板や容器に付着している汚染物質及び容器内に存在する汚染物質を取り除くことができるだけでなく、二次的に発生する汚染物質が基板や容器に付着することを抑制することができる可搬容器を提供する。
【解決手段】基板１の容器であって、容器内を区画するための隔壁５を備え、前記隔壁５には前記基板１を収納する区画Ｋ１とその他の区画とを連通する孔５ａ，５ｂが設けられており、前記その他の区画Ｋ２には前記基板１を収納する区画に存在する汚染物質を取り除くための除去手段６を備えた。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のような板状体のための合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックスにおいて、搬送用ボックスが大型化する場合であっても、蓋体の天面に形成した各横溝内に、容器本体に収容した各ガラス基板の上縁を確実に挿入できるようにし、それにより、搬送中に収容したガラス基板などの板状体同士が接触したりするのを確実に防止する。
【解決手段】一方の相対向する側壁に板状体の左右の側縁を挿入して支持するための複数の縦溝２０が一定ピッチで形成されている容器本体１０と、容器本体１０に収容した板状体の上縁を挿入して支持するための複数の横溝３６を天面部に一定ピッチで形成している蓋体３０とからなる合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックス１において、蓋体３０を、横溝３６に交差する方向で２分割された第１の蓋部材５０と第２の蓋部材６０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 ハンドル、ペリクル固定部材、補強材などの機能部品をペリクル収納容器に取り付けた際でも、容器内部を清浄に保つことができるペリクル収納容器を得ることを課題とする。
【解決手段】 ペリクルを載置するペリクル収納容器本体２０と、ペリクルを被覆すると共にペリクル収納容器本体２０と周縁部で嵌め合い係止する蓋体からなるペリクル収納容器において、樹脂製の容器本体２０あるいは蓋体に、取っ手、ペリクルの固定部材、補強材のいずれかからなる機能部品がネジ締結手段により取り付けられているとともに、容器本体２０あるいは蓋体の内側にオスネジ及びメスネジの表面が露出していないペリクル収納容器である。 （もっと読む）

【課題】チップ管付きプラズマディスプレイパネル等の突起を有する板状体を安定した姿勢で収容することができ、かつ、板状体の周縁が他の部材と接触するのを効果的に回避することができ、さらに、板状体が搬送中の振動で面方向に移動するのを阻止することができる板状体搬送容器を得る。
【解決手段】突起を有する板状体のための搬送容器２０は、突起を有する形態の板状体を収容するものであり、収容凹部２３の１つの隅部であってチップ管付きプラズマディスプレイパネルを収容したときに突起が位置する隅部には貫通孔２５が形成されている。４周の側壁２２に沿って収容したチップ管付きプラズマディスプレイパネルが接触しない凹部２６ａ，２６ｂが形成されている。さらに、収容凹部２３の４つの隅部には収容したチップ管付きプラズマディスプレイパネルの隅部を側方から支持する入り隅状の隅部支持壁２４ａ〜２４ｄが形成されている。 （もっと読む）