【課題】密着層から基板を容易に取り外すことができ、耐熱性を付与したり、構成の簡素化を図ることのできる基板用保持治具を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷと略同じ大きさの積層保持体２に薄い半導体ウェーハＷを保持させる基板用保持治具１で、積層保持体２を、剛性を有する複数の基材層３と、基材層３に着脱自在に積層されて半導体ウェーハＷに密着可能な複数の自己密着層４とから積層構造に形成し、積層保持体２の表面に自己密着層４を位置させ、積層保持体２の裏面には基材層３を位置させる。また、複数の基材層３と自己密着層４とに可撓性と耐熱性とをそれぞれ付与する。積層保持体２が複数の基材層３と自己密着層４の多層化により十分な抗張力を有するので、半導体ウェーハＷのハンドリングや搬送の便宜を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を排除し、基板を高精度に支持でき、しかも、基板に関する作業の簡素化や容易化を図り得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】ガラスウェーハＷ収納用の容器本体１と、ガラスウェーハＷをサポートするサポート治具３０とを備え、容器本体１の内部両側に、ガラスウェーハＷとサポート治具３０を水平支持可能な支持体５を配設したもので、支持体５は、ガラスウェーハＷ用の支持片７を備え、支持片７の前部に、ガラスウェーハＷの飛び出しを規制する段差部８を形成し、支持片７の後部に、ガラスウェーハＷの収納位置を規制する位置規制壁９を形成する。サポート治具３０は、ガラスウェーハＷに対向する治具本体３１と、治具本体３１に形成されて容器本体１の上下方向に湾曲する屈曲支持部３２・３２Ａと、治具本体３１の両側端部に突出形成されて支持片７に支持される平坦なレール３６とを備え、段差部８と位置規制壁９に挟持される。 （もっと読む）

【課題】ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送する手法を提供すること。
【解決手段】本発明では、ガラス基板搬送用ケース（１０）の４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部の中央部のそれぞれに、ガラス基板（１１）を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜可能とするための旋回治具（１８ａ、１８ｂ）を設け、この旋回治具（１８ａ、１８ｂ）を搬送用台車３０の枠体３１の柱部の頂部に設けられた治具（３２）で支持し、所定の角度範囲での傾斜を可能とした。これにより、高さおよび幅方向どちらも制限された通路でもケース（１０）を傾斜させて搬送することが可能となり、ケース（１０）内に収納された大型ガラス基板（１１）の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納容器は、所定の挿入方向に前記基部を擦動可能に案内する一対のレール溝７と、ストッパーリブ８とほぼ平行に形成される係合リブ９と、基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブ９に当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部１４と、前記ハンドル３の基部をレール溝７に挿入して摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブ９を超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材とを備え、前記係止部材の貫通穴への挿入により、当該係止部材と前記脚部で前記係合リブ９を挟持して、前記ハンドル３を前記容器本体１に固定する。 （もっと読む）

【課題】加工装置のセンサが被検出領域を誤検出するのを防ぎ、後の作業にエラーが生じたり、プロセスの停止を招くおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート１上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体１０と、この容器本体１０の底部に形成されてロードポート１の複数の位置決めピン４上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具１４とを備え、容器本体１０の底部に、ロードポート１の位置決めピン４に位置決め芯出し具１４が適正に嵌合する場合にロードポート１のセンサ３に対向して検出される被検出領域５０と、この被検出領域５０の周囲に位置する非検出領域５１とを配設し、被検出領域５０の高さを非検出領域５１よりも相対的に高くしてロードポート１のセンサ３が被検出領域５０を誤検出するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】 剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることができるサポートバー、及びそのようなサポートバーを備える基板収納カセットを提供する。
【解決手段】 サポートバー１０においては、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と外側層１３との間に、内側層１１の周方向において連続し且つ基端１０ａから先端１０ｂに渡って延在するように制振弾性層１２が配置されている。これにより、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層１１が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる内側層１１と外側層１３とで制振弾性層１２が挟まれている。これにより、制振弾性層１２の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】容器本体を成形するための設備の大型化を抑制し、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体の大型化を図ることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】開口２ａを有し基板Ｗを収納する容器本体２と、容器本体２の開口２ａを閉鎖する蓋体３と、搬送用のフランジ部品４とを有する基板収納容器１において、容器本体２を、複数のパーツ７〜９に分割して形成し、分割された複数のパーツ７〜９を組み立てることで一体化する。このように、容器本体２を複数のパーツに分割することで、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体２の大型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】容器本体内にウエハーを収納して搬送を行なう場合に、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動により、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうことがある。
【解決手段】半導体ウエハー３０を保護する防塵シート３１と前記半導体ウエハー３０とを、容器本体内に収納された摩擦シート２１上に交互に積層して収納する。この摩擦シート２１は、当該摩擦シート２１と当接する防塵シート３１の回転を防止する摩擦係数を有する。 （もっと読む）

【課題】フロントリテーナの基板に対する押圧力を増大させる必要がなく、蓋体取り外しの際、基板が飛び出すおそれを排除できる基板収納容器及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を水平に収納する容器本体と、容器本体を開閉する蓋体を備え、容器本体に、半導体ウェーハ１の後部周縁２をＶ溝１８の谷２０に接触させて保持するリヤリテーナ１７を内蔵し、Ｖ溝１８を一対の傾斜面により区画してその間の角度を４５〜１３５°の範囲とし、蓋体に、半導体ウェーハ１を掬い上げてその前部周縁３を保持するフロントリテーナ３３を装着する。容器本体内にロボットハンドを進入させて半導体ウェーハ１の下方に位置させ、ロボットハンドを容器本体の正面方向に向け斜め上方に移動させつつ半導体ウェーハ１を容器本体の支持片１２から持ち上げ、ロボットハンド上に半導体ウェーハ１を吸着して後退させる。 （もっと読む）

【課題】複雑な施錠機構を簡素化するとともに、施錠時の回転トルクが大きくなって開閉装置側に負担が掛かり、最悪の場合、停止してしまうといった問題を解決する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体には、一対の施錠機構９が配設されていて、前記施錠機構９が、カム溝１９を有し、外部からアクセス可能な操作凹部を中央に有する回転部材１３と、前記カム溝１９に係合する一対の細長形状をしたラッチバー部材１４と、ラッチバー１４の先端に位置して蓋体側壁の内部から外部へと出没する係止部３１を有し、係止部３１が蓋体の幅方向にスライドして係止する。 （もっと読む）

【課題】薄膜が支持片と接触して剥離したり、クラックが発生するのを抑制し、基板に設計通りの加工等を施すことができ、基板の汚染や製品の歩留まり低下を防止できる基板用支持体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】表面から裏面の周縁にかけて金属薄膜が積層された半導体ウェーハ１を挟んで対向する一対の支持枠４１と、各支持枠４１に形成されて半導体ウェーハ１の側部周縁に沿う複数の支持片４６とを備え、複数の支持片４６に半導体ウェーハ１を水平に支持させる。各支持片４６を、支持枠４１の前部に形成される前部支持片４７と、支持枠４１の後部に形成されて前部支持片４７の後方に位置する後部支持片５１に分割し、前部支持片４７と後部支持片５１に支持突部６０を形成する。各支持突部６０の表面の一部を湾曲させて半導体ウェーハ１の裏面に接触可能とし、表面の残部を半導体ウェーハ１の裏面に非接触の傾斜面とする。 （もっと読む）

【課題】容器本体の部品点数を減らし、容器本体の生産性を向上して当該容器本体の製造コストを廉価にできる、精密基板収納容器を提供すること。また、容器本体の側壁における取っ手箇所の変形を無くし、その結果、容器本体と精密基板との擦れを無くして、所謂コンタミの原因となる容器本体内での粉塵の発生を防止すると共に、容器本体内で精密基板を位置精度良く支持できる、精密基板収納容器を提供すること。
【解決手段】本発明の精密基板収納容器１０は、内部に複数の精密基板Ｗを整列収納する容器本体１２を備える。容器本体１２の相対向する左右両側壁の内面には、精密基板Ｗを支持する支持部が設けられている。一方、容器本体１２の相対向する左右両側壁の外面には、精密基板収納容器を持ち上げる際に把持される取っ手３０が設けられている。この取っ手３０は、容器本体１２に一体に成形されている。 （もっと読む）

【課題】トレイに収納したままで複数のＩＣパッケージの連続的な検査を容易にするとともに、ハンドリング時等にＩＣパッケージに誤って触れることがなく破壊等が生じにくくする。
【解決手段】厚さ方向に貫通しかつ格子状枠体１１により区画された空所４内に、ＩＣパッケージ３のパッケージ本体６が載置されるステージ部１６と、ＩＣパッケージ３の端子部７を避けた位置でステージ部１６を格子状枠体１１に連結する複数のアーム部１７とからなるパッケージ支持体１５が設けられてなり、パッケージ支持体１５は、ＩＣパッケージ３を支持したときに端子部７の下端面７ａを格子状枠体１１の下端面１８のレベルから浮かせた状態とする高さ位置に設けられるとともに、少なくとも一部は、ＩＣパッケージ３を上方から押圧したときに端子部７の下端面７ａが格子状枠体１１の下端面１８のレベルを超える位置まで変位可能な弾性材料により形成されている。 （もっと読む）

【課題】継続的な応力の作用に伴い、ポリアミド系樹脂製の保持フレームに残留歪みが生じて変形するのを抑制し、保持フレームをリユース等することのできる基板用保持フレームの製造方法を提供する。
【解決手段】中空の保持フレーム１内に半導体ウェーハを収容する基板用保持フレームの製法であり、保持フレーム１を、少なくともポリアミド系樹脂を含む成形材料により成形し、その後、樹脂製の保持フレーム１に電子線を照射するとともに、この電子線の照射量を、保持フレーム１に対する電子線の照射深さ１０ｍｍ当たり１０〜５０ｋＧｙとする。保持フレーム１に電子線を照射してポリアミド系樹脂の架橋密度を調整し、ポリアミド系樹脂の特性を改善して形状回復能力を向上させるので、保持フレーム１に残留歪みが生じて永久変形するのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】被貼着体の上面にシートを簡単に且つ効率良く貼り付けることができるシート貼付装置及びシート貼付方法を提供する。
【解決手段】テーブル２を二台以上備え、装置本体１にはテーブル２をスライド移動させるためのガイドレール１１が設けられ、テーブル２は、押圧ローラ３の上流側において装置本体１に装着可能で且つ押圧ローラ３の下流側において装置本体１から取り外し可能である。テーブル２を押圧ローラ３の上流側に順次装着して押圧ローラ３の下方を連続的に通過させることにより、各テーブル２上の被貼着体８０に長尺状の粘着シート８０を連続的に貼り付けていく。装置本体１の下流側から外したテーブル２は再び上流側にセットして循環的に使用する。 （もっと読む）

【課題】薄い電子部品を面方向でテスト等することができ、しかも、電子部品が剥がれて脱落するおそれを排除できる電子部品保持具及びその使用方法を提供する。
【解決手段】保持フレーム１０の中空部１１に可撓性の保持層２０を覆着し、保持層２０の表面に薄い半導体ウェーハ１を保持させる電子部品保持具で、保持層２０に半導体ウェーハ１用の露出口２１を穿孔してその周縁には半導体ウェーハ１の周縁部４を粘着保持させ、保持層２０の表面には、半導体ウェーハ１を包囲してその周縁部４に干渉する中空の抑え層３０を貼着し、保持層２０と抑え層３０とに、半導体ウェーハ１の周縁部４を挟持させる。保持層２０と抑え層３０とに半導体ウェーハ１の周縁部４を挟持させるので、電子部品保持具を表裏逆にしたり、起立させても、半導体ウェーハ１のシャープエッジの欠けや割れを招いたり、半導体ウェーハ１が剥がれて脱落するおそれを排除できる。 （もっと読む）

【課題】保護テープの剥離方向がいずれの方向であっても、適正な圧力でワークの表面の保護テープに剥離テープを貼着すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態において、保護テープ剥離装置は、表面に保護テープ２３が貼着されたワーク２を保持する保持手段１上にワーク２が保持されていない状態で、保護テープ２３の剥離方向に応じた基準面の位置と圧着部材３５との接触による通電を検知することによって剥離方向に応じた基準面の高さ位置を検出する高さ位置検出機構を備える。また、剥離方向に応じた基準面の高さ位置と、予め定められる剥離テープ３１、ワーク２、ダイシングテープ２２および保護テープ２３の厚みとをもとに、下端面によって保護テープ２３の非粘着面を押圧する際の圧着部材送り機構の駆動量を制御する制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】吸湿性や水分透過性を低減し、基板の有機汚染を抑制することのできる安価な基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面６にシール用のガスケットを介し着脱自在に嵌合される蓋体２０とを備え、これら容器本体１と蓋体２０とを、吸水率が０．１％以下、８０℃で２４時間加熱してダイナミックヘッドスペース法により測定した総アウトガス量が１５ｐｐｍ以下の合成樹脂を含有する成形材料でそれぞれ射出成形する。成形材料の合成樹脂を、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、若しくはポリエチレンテレフタレートから選択された少なくとも一種、又はこれらのアロイ樹脂とする。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対する蓋体の固定力の低下を生じることなく、常に安定した開閉作業を行なうことができる精密基板収納容器を提供する。
【解決手段】上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部２０に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の開口内周縁にカム挿入口２０ｂが設けられ、蓋体３には蓋閉じ時に前記カム挿入口２０ｂに対向する側壁面に貫通孔３１が設けられ、貫通孔３１から出没する締め付け用カム５が設けられた精密基板収納容器１であって、締め付け用カム５のカム軸部４６（回転軸中心）の外側には、締め付け用カム５が貫通孔３１から出た際に、締め付け用カム５の底面５１ａに線接触し、貫通孔３１内に納まった際には接触解除されるリブ４１が設けられたものである。また、リテーナ２３の載置面２３１に精密基板１０との接触面積を減らす凸部２３１ａを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】がたつきなどを防止して摩擦による発塵を防止することができる精密基板収納容器と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】内部に精密基板５を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の底面に、精密基板５を保持するリアリテーナ４が設けられた精密基板収納容器１であって、容器本体２は、ポリカーボネート樹脂からなり、底面のリアリテーナ固定部から、複数の貫通孔を有する固定片が突設され、リアリテーナ４は、サーモプラスチックエラストマーからなり、この固定片を被覆し、貫通孔に成形樹脂が回り込んで固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に設けられたものである。リアリテーナ４のＶ溝４１の溝底に支持溝４１０が設けられたものである。リテーナの載置面に、精密基板５との接触面積を減らす凸部２３１ａが設けられたものである。 （もっと読む）