【課題】基板の横ぶれや位置ずれを抑制してクランプハンドのハンドリングの円滑化を図ることができ、しかも、基板の取り出し作業の作業性を向上させることのできる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスタイプに形成してその内部下方には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の内部上方には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方に隙間を介して左右横方向から対向する上部規制板２１を設けるとともに、容器本体１０の内部後方には、半導体ウェーハ１の周縁部２後方を縦に支持する後部支持ブロック２４を設ける。容器本体１０を左右方向に傾斜させた場合に上部規制板２１に傾斜した半導体ウェーハ１の周縁部２上方を支持させる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ毎に使い捨てることができるように低コストで製造することができるウェハ保護部材と、そのウェハ保護部材を用いて半導体ウェハを保護する方法を提供する。
【解決手段】ウェハ保護部材２は、熱硬化前の熱硬化性樹脂で形成されており、柔軟性を有している。ウェハ保護部材２は、長尺であり、長手方向Ａに沿って半導体ウェハの周縁部に嵌め込む溝４が形成されている。ウェハ保護部材２を、溝４に半導体ウェハの周縁部に嵌合させながら取り付け、その後にウェハ保護部材２を熱硬化させる。これによって、半導体ウェハを保護することができる。ウェハ保護部材２は樹脂材料で形成されているため、低コストで製造することができ、半導体ウェハ毎に使い捨てることができる。 （もっと読む）

【課題】導電性や帯電防止性等の電気的特性に優れ、アウトガスが少なく、低脱落特性を有する芳香族ポリカーボネート樹脂組成物及びその成形体を提供する。
【解決手段】（Ａ）アスペクト比１０以上１０００以下、平均外径が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下のカーボンナノチューブ：０．２５質量部を超えて５０質量部以下、（Ｂ）芳香族ポリカーボネート：１００質量部、を含む芳香族ポリカーボネート樹脂組成物であって、８５℃、６０分間放置におけるトータルアウトガスが１０ｐｐｍ以下、表面抵抗が、１０^-2Ω以上１０¹³Ω以下、ＪＩＳ Ｋ ５４００による硬度評価機器を用いて測定した時のカーボンナノチューブの脱落指数が１００を超えている芳香族ポリカーボネート樹脂組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】粘着層から物品を取り外すまで、排気装置の排気等により粘着層を連続して変形させる必要がない保持治具を提供する。
【解決手段】トレー１の表面に中空のフレーム１０を着脱自在に搭載し、フレーム１０の表面に、ＬＥＤデバイス６を保持する変形可能な可撓性の粘着層１１を粘着した保持治具であり、トレー１の表面からフレーム１０に包囲される複数の支持突起３を粘着層１１方向に突出させ、トレー１の厚さ方向に、複数の支持突起３間と外部の排気装置５を連通する排気孔４を穿孔する。粘着層１１を、ＬＥＤデバイス６を着脱自在に粘着保持する第一の粘着層１２と、第一の粘着層１２の裏面に貼着されて複数の支持突起３に着脱自在に粘着する第二の粘着層１３とから形成する。第二の粘着層１３が粘着層１１の変形状態を維持するので、複数のＬＥＤデバイス６全てを取り外すまで粘着層１１を排気装置５の排気により常時変形させておく必要がない。 （もっと読む）

【課題】ポリオレフィン系発泡体を用いたことによる好ましい特徴を有していることはもとより、ガラス基板のボックス本体からの突出部分が保護される上、ガラス基板を縦挿したボックス本体に蓋体をかぶせるときに溝外れを生ずることがなく、しかも、ボックスからのガラス基板の取り出し操作をアンパッカーを用いて自動的に行うことができるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【解決手段】相対向する内壁に溝（ｇ）が形成された構造を有するポリオレフィン系製のボックス本体（１）と、ガラス基板（Ｇ）のボックス本体（１）からの突出部分を保護する溝（ｇ）付きのサポート部材（３）と、ポリオレフィン系発泡体製の蓋体（２）と、これらのサポート部材（３）および蓋体（２）に相対応するように設けた雌雄の面ファスナ（４），（４）とからなるガラス基板搬送用ボックスである。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハへの良好な密着性、粘着性を有し、耐薬品性、耐熱性、低透湿性に優れ、かつ、使用後は半導体ウエハ表面に残存せずに容易に剥離できる半導体ウエハの保護膜、ならびに該保護膜を利用する半導体ウエハ表面の保護方法および半導体ウエハの加工方法を提供する。
【解決手段】硬化性フルオロポリエーテルエラストマー組成物の硬化皮膜からなる半導体ウエハの保護膜；半導体ウエハの片面または両面を上記保護膜で被覆することを含む半導体ウエハ表面の保護方法；（ａ）半導体ウエハの片面を上記保護膜で被覆して保護膜被覆半導体ウエハを得る工程を有する半導体ウエハの加工方法。上記加工方法は、（ｂ）裏面研削工程、（ｃ）貫通孔形成工程、（ｄ）貫通電極作製工程、および（ｅ）保護膜剥離工程の特定の組み合わせを更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】 ガスケットが挿入された嵌合溝に入り込んだ洗浄水を効率よく排水および乾燥可能であり、洗浄水の残留に起因した基板の汚染を防止する。
【解決手段】 一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、前記基部には、前記嵌合溝に挿入される嵌合部が形成されていて、前記嵌合部と前記嵌合溝の何れかに、連通溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シート状体へのレジスト液塗布時の飛散による問題を解決した搬送具を提供する。
【解決手段】シート状体１１を載置するための針状の複数の支持体１２と、その基部を固定するベース部１３とから構成する。ベース部１３は三角錐状の支持体受け部１４を有する。針状の支持体１２は、尖端がほぼ一線をなすように、かつ適宜間隔及び適宜配置で直立させて設ける。支持体受け部１４は、シート状体１１への塗布物が付着しにくいポリテトラフルオロエチレン等の樹脂製とする。塗布物（例えばレジスト）が飛散しても拭い取りやすい。ベース部１３の皿状の受け基部１５の隅部に、シート状体１１に塗布されずに支持体受け部１４上に落ちた塗布物を外へ引き出すための真空引き口１６を備える。レジスト等の塗布物は、針状の支持体１２、特にその尖端には付着、再付着しにくく、良好な搬送状態を実現できる。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】複数枚の丸く薄い半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２の下方を縦に支持する第一の支持ブロック１６を設け、容器本体１０の背面壁２４内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２の上部後方を縦に支持する第二の支持ブロック２３を設ける。容器本体１０内に半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】薄くて大きい面積であり、重量が大きなガラス板の中央部における大きな撓みを確実に防止してガラス板を支承し、移送時または保管時において、ガラス板の破損、亀裂を生ぜず、歩留まりが良く、またトレイ自体の薄形化がはかれ、小型化、軽量化がはかれ、構造簡単であり、製作および組付けが容易な板状物品搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ガラス板１、または自重により撓み易い金属薄板よりなる板状の被搬送物品Ｇを移送、運搬し、積み重ね可能に設けられるトレイＴが、被搬送物品の周囲を囲むフレーム枠２と、複数本の線条部材３と、フレーム枠に線条部材の両端を固定してフレーム枠の内域に線条部材を張設する固定手段と、により構成される。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク基板などの基板を収容して搬送または保管する際に用いられる基板ケースにおいて、ケース本体内に収容された基板の脱ガスによる汚染を低減する。
【解決手段】基板ケース１は、樹脂製の板材５１〜５５を接着剤で接合した一方のケース片５に対して、樹脂製の板材６１〜６５を接着剤で接合した他方のケース片６が着脱自在に取り付けられたケース本体２を有している。ケース本体２内には、基板収容空間３が形成されている。ケース本体２には、接着剤から発生する脱ガスをケース本体２の外部へ排出する排気孔７が設けられている。これにより、接着剤から発生する脱ガスを排気孔７からケース本体２の外部へ排出して除去することができる。 （もっと読む）

【課題】コンテナ部材内の汚染防止、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化、ドア部材の薄型化を図る。
【解決手段】ドア部材２をコンテナ部材１に係合する係合手段３を、ドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段３を、シャフト部材４と、シャフト部材４をコンテナ部材１側に軸支する支持部５と、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂとを有する構成とし、シャフト部材４の軸線方向の移動に連動しシャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する係合位置と解除位置とを移動する構成とし、このように係合手段３をドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段をドア部材に内蔵する構成としないことで、ドア部材２内に汚染物が溜まるのを無くし且つドア部材２を分解しないで係合手段３の点検、補修、洗浄を行い且つドア部材２内に係合手段を収容する空間を不要とする。 （もっと読む）

【課題】デバイス歩留を改善し、不具合の発生が少ない改善された処理作業に好適なウエハキャリアを提供する。
【解決手段】複数のウエハを垂直に支持するウエハキャリア１であって、前記ウエハキャリア１は、少なくとも第１，第２および第３の支持部材１０、１２、１４並びに、前記複数のウエハを受け入れる複数のスロット１６を備え、前記各第１，第２および第３の支持部材１０、１２、１４は、前記ウエハを支持および接触するために設けられ、前記各スロットは、それぞれ前記第１，第２および第３の支持部材１０、１２、１４に沿って延びる第１，第２および第３のスロットセグメント１８，２０，２２を有し、クレードル２はシリコンカーバイドで構成されるとともに前記シリコンカーバイドを覆う酸化物層を有している。 （もっと読む）

【課題】簡単な加工で高い寸法精度が得られ、液処理後の液残りを少なくしてウォーターマーク等のしみの発生を抑制することができ、かつウエハを安定した状態で保持することができ、スループットの向上を図れるようにする。
【解決手段】半導体ウエハＷを複数の保持体で垂直に保持した状態で搬送する搬送手段であるウエハボートを具備する基板処理装置において、ウエハボート５は、ウエハの下端部を支持する下側保持体２０と、ウエハの下部側端部を保持する左右一対の上側保持体３０とを具備し、少なくとも一つの保持体は、該保持体の長手方向に対して所定角度に傾斜する略Ｖ字状の保持溝２１，３１を形成してなる。保持溝を構成する第１の傾斜面４１でウエハの一方の面を保持すると共に、保持溝を構成する第２の傾斜面でウエハの他方の面を保持する。 （もっと読む）

【課題】バリの発生に伴うダイシングテープの切断を抑制し、冷却エキスパンド法により冷却してエキスパンドする場合にも、ダイシングテープの損傷を防ぐことのできるダイシングフレーム用金型を提供する。
【解決手段】相対向する第一、第二の型１・２を型締めし、この型締めした第一、第二の型１・２に成形材料を充填することにより、半導体ウェーハをダイシングテープを介して収容するフレーム１１を中空板形に射出成形する金型で、第一、第二の型１・２のパーティングライン３を、フレーム１１のダイシングテープが粘着される下面１２から上面方向に０．３〜０．６ｍｍ移動させる。また、フレーム１１の内周面下部と下面１２とが形成するコーナ部３０を半径０．２〜０．５ｍｍの形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】液処理後の液残りを少なくしてウォーターマーク等のしみの発生を抑制することができ、かつウエハ等の転倒を防止でき、スループットの向上を図れるようにする。
【解決手段】半導体ウエハＷを垂直に保持した状態で搬送する搬送手段を具備する基板処理装置において、搬送手段であるウエハボート５は、ウエハの下端部を支持する下側保持体２０と、ウエハの転倒時に該ウエハの下部側端部を保持する左右一対の上側保持体３０とを具備し、下側保持体は、ウエハの下端部を直接支持する保持溝２１を有する保持溝部２２と、該保持溝部に隣接して設けられ、保持溝によるウエハの支持が解かれた際にウエハを保持する転倒防止溝２３を有する転倒防止溝部２４と、を一体に形成してなる。 （もっと読む）

【課題】処理装置の管理の負担を軽減する半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】プレートに形成され、一方の面側が他方の面側よりも広いウェーハ収納開口部１ａと、一方の面側のうちウェーハ収納開口部１ａとその周辺を含む領域に設けられるテープ貼り付け領域とを有し、ウェーハ収納部１ａには半導体ウェーハ２０を取り付けた後に、テープ貼り付け領域にテープ１０を貼り付けて半導体ウェーハ２０を固定し、仕様に合わない半導体装置ウェーハの処理を可能にする。 （もっと読む）

【課題】物品の汚染を抑制し、容器本体や蓋体に関する水分放出量を低減し、しかも、十分な機械的強度を確保できる収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体２０とを備え、容器本体１を樹脂混合物含有の成形材料により射出成形する。成形材料の樹脂混合物を、溶融粘度が相対的に高い樹脂と低い樹脂とを混合することにより調製し、溶融粘度が相対的に低い樹脂を低吸水率及び低透湿性の樹脂とし、この溶融粘度が相対的に低い樹脂により、容器本体１の周壁３の内外面を形成する。 （もっと読む）

【課題】密閉容器への装着が容易で、しかも、密閉容器への装着が仮に多少不完全であってもシール性が損なわれることがない密閉容器の蓋部シール構造を提供する。
【解決手段】容器本体と蓋体との間に介装される弾性シール部材１４を備えたものであって、蓋体の閉成時に蓋体の着脱方向で互いに対向しかつ近接する蓋体の外周部１３Ａと容器本体の開口端部１２Ｂとの何れか一方にシール部材１４を嵌入するための嵌合溝１３Ｂが凹設され、嵌合溝１３Ｂに嵌入されるシール部材１４は、嵌合溝１３Ｂに嵌入されかつ嵌入方向前方側が先細り形状を呈した本体部１４Ａと、本体部１４Ａの嵌入方向後方側から延びかつ開口の外周側に湾曲形成される舌片部１４Ｂと、を有して、嵌合溝１３Ｂを構成する一対の対向した溝側壁１３Ｂａ，１３Ｂｂに回動可能かつ摺動可能に保持される回動摺接部１４Ａａが本体部１４Ａの嵌入方向後方部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】優れた振動防止および保護効果を有するレチクルポッドのキャリアケースを提供すること。
【解決手段】トップカバーおよびボトムカバーがほぼ対応し、収納空間を形成する。ボトムカバーは、ボトムカバーの２つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込められる。収納空間を複数の収納空間に分割し、レチクルポッドを置くために用いる。挟持部と当接部とを有する固定部品をトップカバー内表面の最上面に設置する。トップカバーをボトムカバーにかぶせるときに、トップカバーの各固定部品がすべてキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。固定部品の当接部は、レチクルポッドを押さえる。 （もっと読む）