【課題】低発塵性に優れるウェーハ搬送容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを収容する箱形の容器本体１１と、半導体ウェーハを間隔をおいて保持するラック１２と、上記容器本体１１に形成された開口部１１ａに着脱自在に装着可能な蓋体１３とを備える。容器本体１１を処理装置の搬送台に載置したときに載置台のガイドピンに当接して容器本体１１を位置決めするスライダ２０を、上記容器本体１１の底面１１ｄに備える。このスライダ２０は、上記容器本体１１とは別体でＰＴＦＥまたはＰＢＴで構成した。 （もっと読む）

【課題】優れた振動防止および保護効果を有するレチクルポッドのキャリアケースを提供すること。
【解決手段】トップカバーおよびボトムカバーがほぼ対応し、収納空間を形成する。ボトムカバーは、ボトムカバーの２つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込められる。収納空間を複数の収納空間に分割し、レチクルポッドを置くために用いる。挟持部と当接部とを有する固定部品をトップカバー内表面の最上面に設置する。トップカバーをボトムカバーにかぶせるときに、トップカバーの各固定部品がすべてキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。固定部品の当接部は、レチクルポッドを押さえる。 （もっと読む）

【課題】支持フレームのフレームから保持層が剥がれ落ちるのを抑制し、ウェーハの効率的な収納が期待できるウェーハの輸送容器を提供する。
【解決手段】フレーム２の中空４にテストウェーハＷを保持層５を介し収容した支持フレーム１用の収納容器本体１０と、収納容器本体１０に嵌合されて支持フレーム１を被覆する蓋体２０とを備え、収納容器本体１０を、支持フレーム１のフレーム２と保持層５の周縁部を搭載する搭載板１１と、搭載板１１に形成されて保持層５に空隙を介して対向する中空のすり鉢部１２と、搭載板１１に形成されてフレーム２を囲む複数の規制壁１３とから形成する。また、蓋体２０を、搭載板１１に嵌合される嵌合板２１と、嵌合板２１に形成されてテストウェーハＷに空隙を介して対向する中空の山部２２と、嵌合板２１と山部２２の間に介在されて支持フレーム１と収納容器本体１０の規制壁１３を被覆する被覆カバー２３とから形成する。 （もっと読む）

【課題】基板の傾きを一方向に揃えることができ、移載トラブルを低減できるようにした支持部材、半導体製造装置及び基板の支持方法を提供する。
【解決手段】基材１と、基材１の上面に形成された溝部３とを備え、ウエーハＷを溝部３に挟んだ状態で支持するプッシャー１０であって、溝部３の底面６は、当該底面６と接触したウエーハＷの縁端Ｗ１を溝部３の側面４の側へ片寄せする形状を有する。例えば、溝部３の底面６は、側面５から側面４に向かって下がる斜面となっている。このような構成であれば、ウエーハＷの縁端Ｗ１を底面６に沿って滑らせて側面４の側へ片寄せすることができ、ウエーハＷの傾きを一方向に揃えることができる。 （もっと読む）

【課題】容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難くする。
【解決手段】開口部３を有して精密基板Ｗを収納する容器本体２と、この開口部３に嵌め合わされる嵌合ケース２１を有して開口部３を閉鎖する蓋体４と、容器本体２と蓋体４との芯出しを行う芯出し手段とを有する。この芯出し手段は、開口部３の各コーナー部において、開口部３から露出するように開口部３と一体的に形成される複数の接触部材１２と、嵌合ケース２１の各接触部材１２に対応する位置に形成される複数の突起部２５とにより構成される。そして、突起部２５と接触部材１２とは、異なる材質により形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの表面に紫外線硬化樹脂の保護膜を均一の厚さに形成することができる半導体ウエハの保護膜の形成装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハの保護膜の形成装置であって、上下に貫通して紫外線が通過可能な開口を有する機台および定盤と、前記定盤の下部に装着されて紫外線を上方へ向けて反射する光反射体と、この光反射体の下部に装着されて紫外線を上方へ向けて照射する紫外線照射手段と、前記定盤の上方位置に昇降可能に配設された昇降部材と、前記定盤の上面に前記開口を被うようにして装着されるとともに前記半導体ウエハを載置可能な平坦状の上面を有する紫外線透過性の受圧部材と、前記昇降部材の下方側に位置してこの昇降部材に角度調整手段を介しかつ前記受圧部材と対向して装着されるとともに平坦状の下面を有する加圧部材と、前記昇降部材を昇降させる電動シリンダと、を具備している。 （もっと読む）

【課題】位置決め作業等に支障を来たすのを抑制し、位置決め精度の低下を招くことが少なく、位置決め具の滑り性を向上させることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体１の底板２に、一対の位置決めピン５１に嵌挿される位置決め具８を複数取り付け、各位置決め具８を、一対の位置決めピン５１にそれぞれ嵌挿されて相互に対向する一対の位置決めブロック９とから構成する。各位置決めブロック９を対向面１１が開口した平面略正方形に形成するとともに、断面略Ｖ字形に凹み形成してその傾斜した内面１２を位置決めピンの上部に接触可能とし、一対の位置決めブロック９の開口した対向面１１同士を突き合わせて連通させる。位置決め具８を後付けするので、位置決め具８の肉厚を薄肉化でき、しかも、成形時の冷却不足で位置決め具８の表面に凹凸が生じたり、変形して位置決め作業等に支障を来たすのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除できる処理治具用の収納ケースを提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを収納する収納ケースと、収納ケースの開口した前後面を開閉する一対の蓋体２０とを備え、各蓋体２０を、収納ケースの前後面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体２１と、カバー体２１の収納ケースの前後面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納されたリングフレームの周縁端部を挟持する複数の挟持リブと、カバー体２１の対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、リングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁２５とを備える。複数の挟持リブの両側部を膨出壁２５方向に円弧形に伸長形成して各膨出壁２５の側部２６とし、複数の挟持リブの両側部をリングフレーム２の周縁端部からその両側の間に沿わせる。 （もっと読む）

【課題】ポッドの安全性を確保しつつ、生産性を向上させる。
【解決手段】正圧移載装置が処理済みウエハＷをポッドＰに回収する際に、最適化プログラムはパラメータ記憶部から初回搬出開始時点のウエハ温度Ｔ１を読み出し（Ｓ１）、ポッドＰの耐熱保証温度Ｔ２を読み出し（Ｓ２）、単位時間当たりのウエハ低下温度Ｔ３を読み出し（Ｓ３）、次に、時刻記憶部から初回搬出開始時刻と現在時刻とを読み出す（Ｓ４）。経過時間演算部は初回搬出開始時刻と現在時刻との差を演算し、その値を搬出経過時間ｔ２とする（Ｓ５）。冷却所要時間演算部は最適低下温度Ｔ４を、Ｔ４＝（Ｔ１−Ｔ２）−（Ｔ３×ｔ２）、で演算し（Ｓ６）、ポッド耐熱保証温度までの冷却所要時間ｔ１を、ｔ１＝Ｔ４／Ｔ３、で演算する（Ｓ７）。 （もっと読む）

【課題】実装すべき半導体チップの位置決めを高精度かつ容易に実現する配線基板の製造方法、およびこれに用いられるチップトレイを実現する。
【解決手段】配線基板の製造方法は、半導体チップ１００を、シリコンで形成されたチップトレイ１上のチップ位置決めプレート１１に装着するステップと、チップ位置決めプレート１１に装着された半導体チップ１００を基点に配線形成処理を実行するステップと、配線形成済の配線基板をチップ位置決めプレート１１から取り外すステップと、を備えるものであり、このチップ位置決めプレート１１は、半導体チップを収容する収容部２１と、収容部２１の内側面を構成する４面のうち隣接する２面にそれぞれ設けられる弾性部材２２とを備え、これら各弾性部材２２が対向面の方向に向けて押圧力を発し、各弾性部材２２と対応する各対向面との間に半導体チップ１００が挟時される。 （もっと読む）

【課題】直径が４５０ｍｍ以上の半導体ウェーハを収納する際、半導体ウェーハが大きく撓んだとしても、半導体ウェーハを適切に支持することのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】φ４５０ｍｍの半導体ウェーハ１を収納するフロントオープンボックスの容器本体１０と、容器本体１０の開口した正面部に着脱自在に嵌合される蓋体とを備え、容器本体１０の内部両側に、半導体ウェーハ用の支持片１５を対設して各支持片１５の切り欠き１６に、半導体ウェーハ１裏面の周縁部２を除く内側領域３に接触する支持ピン１７を後付けする。また、容器本体１０の内部両側の後方に、支持片１５の後方に位置する半導体ウェーハ１用の突き当て壁１８をそれぞれ設けてその半導体ウェーハ１の周縁部２に接触する接触部１９を接触領域２０とし、接触領域２０に、半導体ウェーハ１の周縁部２を保持する複数の凹凸２１を配列形成する。 （もっと読む）

【課題】研磨後にウェーハを水没させて搬送する工程において、ウェーハの表面にウォータマークが形成されたり傷がついたりすることのないようなウェーハ収納装置を提供する。
【解決手段】先ず、水槽５の水面より上部に置かれたカセット４を水平にして、研磨後のウェーハ３を一枚ずつカセット４に収納する。次に、全てのウェーハ３がカセット４に収納されたら、傾斜手段８によってカセット４を１°〜２０°の範囲で傾斜させながら、カセット昇降機構７によって、カセット４を水槽５の内部の水中へウェーハ１枚分の間隔で沈める。セット４を水槽５から引き上げるときも、傾斜手段８によってカセット４を傾斜させながら引き上げる。これによって、ウェーハ３が浮き上がることなく、且つ上部のウェーハ３の水滴が下部のウェーハ３にたれることがなくなるので、ウェーハ３が傷ついたりウォータマークが形成されたりするおそれはない。 （もっと読む）

【課題】大きな差圧を生じる前に空気を拡散させることなく収納容器内に通気させて外気圧との均衡を図ることができる収納容器を提供する。
【解決手段】上面が開口して内部に精密基板５を収納する容器本体２と、この容器本体２の開口部に被せられる蓋体３と、この開口部と蓋体３の間に介在して容器本体２内に密閉空間を形成するガスケット４とからなる収納容器１であって、ガスケット４による容器本体２と蓋体３との閉鎖部は、ガスケット４が容器本体２および蓋体３に密着する密着部２０ｂと、ガスケット４が容器本体２およびまたは蓋体３に接する漏洩部２０ａとからなり、漏洩部２０ａから気密漏れし、外部圧力の変化によって生じる外部圧力と容器内部圧力との差圧を解消するようになされたものである。 （もっと読む）

【課題】金属部品からイオン成分が溶出して基板の汚染等を招くのを抑制し、構成の簡素化を図ることのできるバルブ機構及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】保持筒３１と、保持筒３１の部分的に開口した表面を被覆するフィルタ３７と、保持筒３１に内蔵される中蓋筒３８と、保持筒３１の開口裏面側に螺嵌される有底円筒形の固定筒４４と、中蓋筒３８と固定筒４４の間に介在されて気体の流通を制御する弁体５０とを備え、保持筒３１と固定筒４４を樹脂含有の成形材料により成形し、固定筒４４の底部５２に、気体流通用の通気口４５を穿孔する。また、弁体５０を、弾性材料により成形して保持筒３１と固定筒４４の螺嵌方向に伸縮可能にするとともに、弁体５０の底部５２を通気口４５に接離可能に接触させ、弁体５０を圧縮してその底部５２を通気口４５から離隔させることにより、保持筒３１と固定筒４４の間で気体をフィルタ３７を介して流通させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハが保持容器の中で動きにくく、ウエハを保持したときにたわみにくく、且つウエハに傷が入りにくいような保持容器を提供する。
【解決手段】この保持容器は、内部にウエハを収容する略円形の貫通穴状収容部を有するスペーサと、前記スペーサの一方の面に当接し且つ第１切欠きを有する第１保持板と、前記スペーサの他方の面に当接し且つ第２切欠きを有する第２保持板と、からなり、前記第１切欠きは、前記第１保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有し、前記第２切欠きは、前記第２保持板を前記ウエハの下側に位置させたときに前記ウエハを保持可能な形状を有する。 （もっと読む）

【課題】成形性の向上を図ることができ、しかも、基板と支持体との接触領域を減少させて塵埃の発生を抑制することのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】樹脂を含む成形材料により半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプに射出成形される容器本体１と、この容器本体１の内部両側にそれぞれ設けられて相対向する一対の支持体４とを備え、この一対の支持体４に半導体ウェーハの周縁部側方を支持させる基板収納容器であり、各支持体４を、容器本体１の前後方向に分割して複数のティース５を形成し、ティース５とティース５との間に半導体ウェーハに非接触の隙間６を形成する。各支持体４が短い複数のティース５からなるので、支持体４の成形性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器の貫通孔に収納保持されるハウジング部材が、移送・保管等の際の加速度や振動、洗浄乾燥の際の熱履歴等によっても、固定用の螺刻部が緩まない構造とした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 基板を収納する容器本体と、その開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている基板収納容器１であって、貫通孔には、フィルタを備えた通気部材を収納保持するハウジング部材が、回転方向に回転されて基板収納容器に取り付けられていて、ハウジング部材が回転方向に緩むことを防止する手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】重量物の搬送時にも発泡成形体が割れたり変形し難い基板搬送容器の提供。
【解決手段】メタロセン化合物を触媒として重合された、メルトフローレートが１．８以上の直鎖状低密度ポリエチレン系樹脂１００質量部に対して、３５０〜４５０質量部のポリスチレン系樹脂を複合して得られる樹脂粒子を型内発泡成形して得られる基板搬送容器であって、基板搬送容器を構成する発泡成形体は、５％圧縮強度が１５．０Ｎ／ｃｍ^２以上であり、対金型寸法変化率が６／１０００以下であることを特徴とする基板搬送容器。 （もっと読む）

【課題】棚板片の強度を向上させ、棚板片の洗浄時の水分残存を低減するとともに、乾燥作業の時間短縮を図ることができ、しかも、棚板片の厚さバラツキを防ぎ、基板の高精度な支持や基板の円滑な出し入れを実現できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１と、容器本体１に内蔵されて半導体ウェーハを支持する一対の支持体３０とを備え、各支持体３０を、容器本体１の側壁内面に対向する中間片３１と、中間片３１に形成されて容器本体１の正面部２側に位置する先端片３２と、中間片３１に形成される末端片３９と、中間片３１から末端片３９にかけて形成され、半導体ウェーハを支持するティース４５とから構成し、ティース４５を連続した波形に形成する。 （もっと読む）

【課題】堆積導電作用を有するマスク移載容器を提供する。
【解決手段】堆積時に静電の発生を防止できるマスク移載容器構造であり、底台１０、殻体２を含み、殻体２が底台１０上に選択的に覆蓋し、マスク５０を置く収容空間を形成し、底台１０および殻体２とマスク５０との間に静電を導通する通路を形成し、殻体上面に該通路と連通する把手２４を設け、底台１０が少なくとも１つの導電構造と触導ユニット４０を有し、そのうち導電構造が通路と連接し、下向きに突出する導電柱３２、３５を有し、触導ユニット４０は移載容器が隣接して堆積時、下層移載容器の把手２４に接触し、隣接する移載容器とマスク５０との静電が該触導ユニット４０と導電ユニット３０を経由して導出でき、マスクパターンを破壊することを減少させる。 （もっと読む）