【課題】堆積導電作用を有するマスク移載容器を提供する。
【解決手段】堆積時に静電の発生を防止できるマスク移載容器構造であり、底台１０、殻体２を含み、殻体２が底台１０上に選択的に覆蓋し、マスク５０を置く収容空間を形成し、底台１０および殻体２とマスク５０との間に静電を導通する通路を形成し、殻体上面に該通路と連通する把手２４を設け、底台１０が少なくとも１つの導電構造と触導ユニット４０を有し、そのうち導電構造が通路と連接し、下向きに突出する導電柱３２、３５を有し、触導ユニット４０は移載容器が隣接して堆積時、下層移載容器の把手２４に接触し、隣接する移載容器とマスク５０との静電が該触導ユニット４０と導電ユニット３０を経由して導出でき、マスクパターンを破壊することを減少させる。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの輸送時に半導体チップの破損を低減することができる半導体チップの収納容器、その収納容器を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チップトレイ１０では、第１の板１１に形成された第１の凹部１１Ａに第１の緩衝材１２が設けられ、第１の凹部１１Ａと対向した第２の板１３の面には第２の緩衝材１４が設けられている。半導体チップ１５は、第１の板１１と第２の板１３が重ね合わされると、第１の凹部１１Ａの空間１１Ｃにおいて、第１の緩衝材１２と第２の緩衝材１４との間に収納される。これにより、チップトレイ１０の輸送時における衝撃は、半導体チップ１５に加わりにくくなり、半導体チップ１５の破損を防ぐことができる。また、第１の緩衝材１２、第２の緩衝材１４の少なくともいずれか一方は導電性材料からなるため、静電気による半導体チップ１５の破損や損傷を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】例え数ｋＰａ程度の圧力差でも、拡散による酸素の逆流を防止することのできる基板収納容器の排出用ポートを提供する。
【解決手段】容器本体１に供給用ポートと排出用ポート２０とをそれぞれ複数配設し、各排出用ポート２０を、容器本体１に取り付けられる中空のケース２１と、ケース２１に内蔵されるフィルタ２４と、ケース２１に内蔵される逆止弁２５とから構成する。ケース２１の両端面にそれぞれ通気孔２２を穿孔し、ケース２１の一端面を容器本体１から露出させ、このケース２１の一端面とフィルタ２４との間に逆止弁２５を介在させるとともに、ケース２１の一端面に被覆体３０を重ねて装着し、被覆体３０の内部には、ケース２１の一端面の通気孔２２と連通する細長い流通路３１を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来のウェハ収納容器は、３００ｍｍ以上の大口径ウェハや０．３ｍｍ以下の薄型ウェハなどのタワミを最小限に抑えて、多数枚のウェハを効率良く収納することができないという課題を有していた。
【解決手段】本発明のウェハ収納容器は、少なくとも１つの容器開口を有する収納容器本体と、前記収納容器本体内部に設けられたウェハ支持構造を有しており、前記ウェハ支持構造は、前記収納容器本体に取り付けて固定する固定部と、前記固定部に連結され開閉自在に構成された一対のウェハ支持体とからなり、前記一対のウェハ支持体にはスリット状開口が互いに対向して等間隔に形成されており、前記固定部は固定部側取り付け部を有しており、前記収納容器本体の内面には収納容器側取り付け部が設けられている構造とした。 （もっと読む）

【課題】基板を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる梱包方法を提供する。
【解決手段】梱包方法は、基板５０に吸着可能な吸着部２５を有し基板を吸着保持可能な搬送装置２０を用い、鉛直方向に沿って延びる収納領域６５へ、基板を収納する方法である。梱包方法は、基板の少なくとも一側領域に吸着部を吸着させ、基板を吸着保持する工程と、基板の反りを評価する工程と、鉛直方向に沿った上面視において基板が収納領域内へ位置するように、収納領域の上方へ基板を位置決めする工程と、基板を前記収納領域へ搬送する工程と、を備える。基板の反りは、一側領域の吸着部によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして基板が保持されている状態で、評価される。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。
【解決手段】ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有することにより、クッションとウエハ設置部４のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部４のトレイ下面を通じて半導体ウエハ３に伝達されることを防ぎ、半導体ウエハ３の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 仕切り壁を設けて複数に区画した各収納部に板状体を上下に積み重ねて収納する板状体の搬送容器において、仕切り壁の破損を防いで繰り返し使用に耐えうる耐久性の高い搬送容器を提供する。
【解決手段】 発泡樹脂からなる蓋体２と容器本体１とを備えて、容器本体１の収納部１４に板状体を上下に積み重ねて収納するように構成された板状体の搬送容器であって、容器本体２の底部１０の内面１０ａには複数の収納部１４を形成すべく仕切り壁１３が突設され、蓋体２の内面には仕切り壁１３の横倒れを防止すべく仕切り壁１３の上部をその厚み方向に支持可能な仕切り壁支持部としての凹部３１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ラフクリーン環境で用いてもワークの汚染が生じにくいワーク搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ワーク搬送用トレイ１は、基板Ｓの搬送に用いられるものであって、桟４と、外枠２と、樹脂ブロック８と、シール部材５１とを備えている。桟４は、基板Ｓを載置するワーク載置面を有する。外枠２は、桟４を支持する。樹脂ブロック８は、外枠２に設けられ、他のワーク搬送用トレイ１に積まれた状態で上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の重量を支持する。シール部材５１は、外枠２に沿って配置され、外枠２と上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の外枠２との間の隙間を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のワークを搬送する際の帯電を抑制することが可能な搬送システムおよびコンベア装置を提供する。
【解決手段】搬送システム１００は、ガラス基板Ｗをトレイ１に載置して搬送する搬送システムであって、ローラ２５と、トレイ１とを備えている。ローラ２５は、搬送方向に並んで複数配置されている。トレイ１は、絶縁性のガラス基板Ｗを載置する。そして、トレイ１とローラ２５とにおいて、少なくとも互いの接触部（外側フランジ１１およびローラ２５）が導電性を有しており、接触部は接地されている。 （もっと読む）

【課題】例え高速で搬送されても、基板と容器本体が擦れて塵を発生させることがなく、構成部品の損傷を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハからなる基板を必要枚数整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部を開閉する着脱自在の蓋体１０と、容器本体１の天井部に別体の構成部品として螺着される搬送用のフランジ２０とを備え、容器本体１の天井部にフランジ２０を複数の防振ゴム３０を介して螺着する。容器本体１の天井とフランジ２０の間に防振ゴム３０が介在するので、基板収納容器が高速で搬送され、従来の加速度よりも大きな加速度が作用したとしても、振動や衝撃を有効に吸収・減衰することができる。 （もっと読む）

【課題】閃光照射時の基板損傷やパーティクル付着などを効果的に抑制すること、また、かかる基板保持具を安価に提供すること。
【解決手段】基板保持具１０の本体部は下本体部１１とこの上に載る上本体部１２とからなり、複数の基板支持部材１３が本体部に着脱可能に装着されている。基板２０は、複数の基板支持部材１３の基板支持面によって支持され、下本体部１１の内側の平坦な基板載置面上に載置される。この基板保持具では、本体部に装着された状態での基板支持部材１３の基板支持面は上記基板載置面よりも高い位置にあるため、この基板支持面で支持された状態の基板２０の裏面は基板載置面とは接触しない。基板支持部材１３が本体部に着脱可能であるため、仮に基板支持部材１３に傷がついたり破損したりした場合にも、当該基板支持部材１３のみを取り替えることができ、その他の部分は継続して使用することができる。 （もっと読む）

【課題】清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適な収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、ケース本体５及び蓋体６のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランク１を内部に収納するケースである。ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成され、マスクブランク１の各辺を少なくとも１箇所で支持する支持部材８をケース内部に設け、該支持部材８は樹脂材料で形成され、上記嵌合部に弾性部材７を介在させることにより該弾性部材７より内方では上記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされる。 （もっと読む）

【課題】シールガスケットの保持力低下を抑制してその一部が蓋体と共に外れてしまうおそれを排除し、シールガスケットの嵌入具合にバラツキが発生するのを抑制できる基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口上部に嵌合される蓋体１０と、この開口上部に形成される嵌入溝２０と、嵌入溝２０に嵌入されて容器本体１と蓋体１０の間をシールするシールガスケット３０とを備え、シールガスケット３０に、容器本体１の開口上部に対する蓋体１０の嵌合方向と平行に位置する嵌合突起部を形成する。シールガスケット３０を、嵌入溝２０に嵌入される枠体３１と、枠体３１から伸びて蓋体１０に接触するシール形成部３２とから形成し、嵌合突起部を、枠体３１の直線部に複数形成される第一の嵌合突起部と、枠体３１のコーナ部に形成される第二の嵌合突起部とから形成する。 （もっと読む）

【課題】ケース内のマスクブランクを均一な固定荷重でしっかりと固定でき、しかもケースの気密性を向上させたマスクブランクの収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランク収納ケースである。ここで、ケース本体５に蓋体６を被せたときの接合部の全周にわたって囲繞する固定用枠１０と固定片１１から構成される固定部材を係合させることにより、接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように蓋体５とケース本体６とを固定する。 （もっと読む）

大口径半導体ウエハを収容する前開きウエハ容器は、容器部分（４０）とドア（４２，４０６）を有する。容器部分（４０）は、空洞内部（４８）を区画形成する左閉鎖側面（４３）、右閉鎖側面（４４）、閉鎖背面（４５）、および前開き部分（６０）を有する。空洞内部（４８）は、ウエハを受容と収容するための複数のスロットを有する。ドア（４２，４０６）は、前開き部分（６０）を閉じるべく容器部分（４０）に取付可能であるように、容器部分（４０）に選択的にラッチ可能である。容器部分（４０）は、大口径ウエハ、特に４５０ｍｍウエハに対応するウエハ対応手段を有する。最適化弛み制御が提供され、同様に強化構造的硬直性とウエハ着座形状構成が提供される。
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【課題】半導体チップ同士の位置精度を確保することで、高精度の加工が可能な半導体チップの加工方法を実現する。
【解決手段】本発明の半導体チップの加工方法では、粘着テープ２上に配置された複数の半導体チップ１上に接合用樹脂４を形成し、接合用樹脂４を半導体チップ１間に入り込ませて、半導体チップ１間に入り込んだ部分以外の不要な接合用樹脂４を除去する。これにより、半導体チップ１の相対位置は固定されるため、位置ズレが生じることなく、半導体チップ１に対して高精度の加工が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウエハをダイシングする際のチッピングの発生を抑制し、チップの抗折強度を向上させることができるチップ保護用フィルムを提供すること。
【解決手段】本発明のチップ保護用フィルムは、硬化後の鉛筆硬度が５Ｈ以上である硬化性保護膜形成層２を有する。 （もっと読む）

【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】搬送や保管の際に、広大なスペースを必要とせず、まて、輸送パッケージが縮小化され、コスト低減が計れ、さらに、基板にゴミや異物が付着し難く、且つ、基板の大型化ないし超大型に対応できる基板収納用トレイおよび基板の搬送保管方法を提供することである。
【解決手段】平面形状が矩形フレームからなる周枠の枠内に基板を載置する基板用トレイであって、一方の対向するフレームはフレームの中央位置でフレームの左右が上方に折り曲げ可能な折り曲げ部と、他方の対向するフレームは対向するフレームを接続し、基板を載置する複数のワイヤーまたはワイヤーロープと、を具備していることを特徴とする基板収納用トレイである。 （もっと読む）

【課題】薄板状品と横桟との接触面積を減らして、横桟に載置した薄板状品への汚れの付着や傷発生のない薄板状品載架用カセットを提供する。
【解決手段】ほぼ直方体型フレーム10の左右両側面部間に、薄板状品載架用横桟A,B,Cを構成する複数本の金属製の線状体20を前後に間隔をもって横向きに張設した薄板状品載架用カセットで、線状体20に、協働して薄板状品載置面Fを構成する玉部30を設けた。薄板状品Wと各玉部30間の接触面積が小さく、薄板状品Wへの汚れの付着および傷の発生が少ないので、薄板状品Wの品質が保証される。 （もっと読む）