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Fターム[5F031EA02]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 容器の構造 (2,912) | 材質 (672) | 樹脂(材料が特定されているもの) (515)

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【課題】 ウエハの両面を順次処理する場合、ウエハを確実に保持して所定の処理や搬送をできるようにする。
【解決手段】ウエハの一面に第1の固定治具3aを密着固定し、その他面に対し所定の処理を行った後、ウエハの他面に第2の固定治具3bを密着固定し、第1の固定治具3aを脱離して第2の固定治具3bにウエハを受け渡す。両固定治具は、治具本体31と、その片面に設けた密着層32とからなる。治具本体は、密着層を支持する複数の支持突起33及び側壁34を有し、側壁の端面に密着層が接着されて密着層と治具本体との間に側壁で囲われた区画空間35が画成され、区画空間に連通する通気孔36が形成され、区画空間内の空気の吸引により密着層が変形される。脱離の際、第1の固定治具の密着層を変形させ、両固定治具を相互に離間する方向に相対移動させる。 (もっと読む)


【課題】薄いウエハの周縁部を確実に固定し収納する枚葉式ウエハケースを提供する。
【解決手段】下ケースに適合する上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえ、下ケースおよび上ケースから構成されるウエハケースにおいて、上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえによりウエハ周縁部を押さえ、それ以外のウエハ領域にはウエハケースやウエハ押さえは接触しない。上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえとウエハとの接触部は、ウエハ上面および下面で同一のウエハ内領域である。ウエハ押さえは弾性構造および/または弾性材料で構成されている。 (もっと読む)


【課題】ワークに力が加わるような処理を行う場合にもワークを確実に密着固定できると共に、処理後のワークの脱離も容易な固定治具並びにこの固定治具を用いたワークの処理方法を提供する。
【解決手段】治具本体2に、密着層3側の外面に開口する、区画空間6に連通しない吸着孔8が形成される。そして、吸着孔8に連通する貫通孔9を密着層3に形成し、吸着孔8の真空引きによりワークWに吸着力を作用させる。 (もっと読む)


【課題】リングフレームのがたつきを抑制することができ、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれの少ない処理治具用の収納ケースを提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体10と、容器本体10の両側壁14内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片20とを備え、容器本体10の上下方向に一対の支持片20を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片20と支持片20の間をリングフレーム用の挿入溝21に形成する。そして、各支持片20の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ22を設け、ストッパ22には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23を形成する。傾斜面23が挿入溝21を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、リングフレームの損傷を防止できる。 (もっと読む)


【課題】容器本体の背面側が突出しピンにより突き破られ、損傷することのない基板収納容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】三枚以下の半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスタイプで背の低い容器本体1が射出成形され、この射出成形された容器本体1の内部背面側に複数の突出しピン2が突き出されることにより容器本体1が金型から脱型される基板収納容器であって、容器本体1の背面壁と両側壁とにリブフランジ20を一体成形し、背面壁のリブフランジ20Aを容器本体1の金型からの脱型時に複数の突出しピン2に外側から対向させる。金型の突出しピン2に容器本体1の背面壁のリブフランジ20Aが外側から対向して障害物となり、補強機能を発揮するので、突出しピン2が突き出されて大きな負荷が作用しても、容器本体1の背面側が突出しピン2により突き破られることがない。 (もっと読む)


【課題】剥離工程におけるウエハのセンサ認識部のセンサ認識性が良好で、位置決め不良等が起こりにくく、かつ、基材フィルム裏面と剥離テープとの接着力が高いことから、剥離不良、ウエハの欠けや割れ等を起こさずにウエハ表面から良好に剥離することができるウエハ表面保護テープを提供する。
【解決手段】基材フィルムの表面側をセンサ認識部を具備するウエハの表面に貼り合わせてウエハの裏面を研削する工程に用いるウエハ表面保護テープであって、基材フィルムの裏面が、中心線平均粗さ(Ra)が1〜9μmの粗化領域20と、中心線平均粗さ(Ra)が0.5μm以下の平坦領域22、24とを有するウエハ表面保護テープ10とする。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、又は複雑な装置を必要とせず、粘着保持した薄板状物を変形させることなく剥離することのできる保持治具及び薄板状物の剥離方法を提供する。
【解決手段】保持治具1は薄板状物5を粘着保持することのできる粘着部14を頂面に有する突出部材12と、非粘着部32を表面に有する板状部材30とを備え、板状部材30は、突出部材12に対して相対的に前後進可能に配置される。この保持治具1に粘着保持された薄板状物5を剥離させるには、板状部材30を、突出部材12に対して相対的にその軸線方向に前進させて、薄板状物5を突出部材12の粘着部14から引き離す。 (もっと読む)


【課題】枚葉状の可撓性基板を、処理中に抜け落ちることなく湾曲、撓み又はしわ等の発生を防止し、容易に固定出来る可撓性基板保持具及びこの可撓性基板保持具を使用した有機ELパネルの製造方法の提供。
【解決手段】矩形状の可撓性基板を平面状態に保持する可撓性基板保持具であって、前記可撓性基板は前記可撓性基板保持具への取り付け孔を有し、前記可撓性基板保持具は、矩形枠状の枠体と、前記枠体に取り付け部材を介し片持ち状態で一体に形成された梁構造の梁部とを有し、前記枠体の前記取り付け部材と対向する辺の2隅に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第1係止ピンと、前記梁部の両端に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第2係止ピンとを有することを特徴とする可撓性基板保持具。 (もっと読む)


【課題】半導体装置のコーナー部とトレイとの接触に起因する、半導体装置の接続用端子の破損を防止することができ、また、量産性に優れた半導体集積回路装置用トレイおよび当該トレイを使用した半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の収納部が、トレイ10の表面側にトレイ表面から突出して形成され、平面視において、半導体装置の1辺の長さより短い辺を有する長方形状の複数のブロック14を備える。当該複数のブロック14の半導体装置の設置部側には、半導体装置を設置したときに、半導体装置のコーナー部を除く外縁部を下方から支持する支持面17と、半導体装置の水平方向の移動を規制する規制面16とを有するステップ部が形成されている。 (もっと読む)


【課題】半導体装置の製造において、使用済みの酸化膜等のマスクを、汎用の粘着フィルムを使用して、例えばフッ酸等のエッチング液を微粒子化して除去することができるミストエッチング方法を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハの表面にマイクロミストを噴霧してウエハ上の既存構造物をエッチングする際、ウエハの表面に露出した、先行するエッチング工程において耐エッチング性を有するマスクとして使用されたマスキング材を既存構造物として選択し、半導体ウエハの表面に形成された回路等の機能素子を粘着フィルムからなる保護材で少なくとも被覆し、かつエッチング液を微粒子化し不活性ガス中に霧状に分散させることによって形成されたマイクロミストを使用するように構成する。 (もっと読む)


【課題】
チップトレイや電子部品用トレイに半導体チップを収納した場合、トレイの表面に付着した微小な半導体片などの無機物屑が半導体チップ表面に再付着し、パッケージへの組立工程でのボンディングの際に半導体表面に形成されたボンディングパッドとワイヤとの接続が良好になされず、剥がれてしまうという問題がある。
【解決手段】
紫外線の照射により粘着性が低下する粘着性樹脂を表面に備えたチップトレイに半導体チップを搭載し、チップトレイの半導体チップ搭載面に紫外線を照射することにより、ボンディング時のワイヤ剥がれを抑制する。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板などの脆弱な物品を搬送する場合に、破損させることなく極めて効果的に搬送することができる物品の固定ジグを提供すること。
【解決手段】複数の突起物36、複数の突起物36を囲繞するように外側および内側に形成された一対の側壁35,39、および突起物36を形成した部分に少なくとも1つの貫通孔38を備えたジグ基台30と、
ジグ基台30の上面に密着されたときに一対の側壁35,39との間に区画空間37が画成されるとともに、その上面に板状の物品が載置される柔軟な密着層31と、を備え、ジグ基台30の貫通孔38から区画空間37を吸引した場合に、密着層31が変形される物品の固定ジグ3であって、
区画空間37の形成範囲がジグ基台30の中央部を囲繞する外側にのみ形成されていることを特徴とする。
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【課題】 簡易な構成で軽く安価な基板収納トレイを提供する。
【解決手段】 口径450mmの半導体ウェーハWを収納するトレイ本体1と、トレイ本体1に着脱自在に嵌合されて半導体ウェーハWを覆うトレイ蓋10とを備え、トレイ本体1とトレイ蓋10を、樹脂を含む成形材料を使用してそれぞれ熱成形する。トレイ本体1とトレイ蓋10をそれぞれ平面略矩形に形成してその平坦な対向面のいずれか一方には凹部6を、他方には凸部12をそれぞれ形成し、凹部6と凸部12を相互に嵌合可能とする。また、トレイ本体1の中央部に、半導体ウェーハWを隙間を介して収納する収納穴2を凹み形成してその周壁には半導体ウェーハW用の取り出し溝5を形成し、トレイ蓋10の中央部に、半導体ウェーハWを隙間を介して覆う中空の被覆部11を膨張形成し、トレイ蓋10の表面四隅部には、操作用の係止部13をそれぞれ突出形成する。 (もっと読む)


【課題】耐食性、耐熱性を有し、安価な材料で複数枚の矩形ウェーハを収容するのに十分な強度を保つことができる構造でありながら、ウェーハにテクスチャーをムラなく形成する妨げとならず、かつ、洗浄液のはけがよく、その上乾燥工程がより短時間となるウェーハキャリヤを提供し、そしてこれを使用したウェーハのエッチング方法を提供する。
【解決手段】上面及び底面が開放され、互いに対向する側壁2a、2bの内側に複数枚の矩形ウェーハWを立てた状態で所定の間隔で並列させて収容するためのガイドレール3が複数本縦に平行に形成された箱型の容器本体2と、該容器本体2の底部に固定されてウェーハWが抜け落ちないように支持する支持棒5とを具備し、容器本体の対向する側壁は液体が出入り可能な開口部10を有し、個々のガイドレールは縦方向で断続するように切れ目部4が形成されたものであることを特徴とするウェーハキャリヤ1。 (もっと読む)


【課題】レチクル収納容器内部に設置する汚染物質等を吸着し除去するケミカルアブソーバーを容易に交換可能とする手段を提供する。
【解決手段】ケミカルアブソーバーを挟持するカートリッジ本体およびストッパーからなるカートリッジをレチクル収納容器の蓋体の側面にピン部および溝部の結合により固定する。カートリッジはケミカルアブソーバー抜け防止機構を有し、ケミカルアブソーバーは抜け防止機構で確実に抑えられてカートリッジに固定される。抜け防止機構は、少なくとも1つ以上の突起を有する抜け防止突起部、および突起を受け、突起に対応する少なくとも1つ以上の凹部または平面を有する抜け防止溝部からなる。さらに、カートリッジはヒンジ部を有し、レチクル収納容器の蓋体角部にも設置することが可能である。連結部を介してカートリッジ本体とストッパーを一体として成形することもできる。 (もっと読む)


【課題】洗浄が可能で、洗浄した後に水分が残り難く、乾燥が簡便に行い得るような、防水プラグ、基板収納容器、及び基板収納容器の洗浄方法を提供する。
【解決手段】プラグ本体部分25の一端に基板収納容器の連通部を封鎖するシール形成部26を有し、他端に小判状に形成される接続部27と、接続部27に連続する、係止つば部29を先端に有するプラグ側壁部28からなる。防水プラグ24が、プラグ本体部分25の外側に弾性変形可能に形成されるプラグ側壁部28と、プラグ側壁部28の先端に、外向きに突出する係止つば部29を有し、好ましくはボトムプレート4に設けられるボトムプレート貫通孔23に係合可能とし、シール形成部26が、プラグ本体部分25に2色成形によって一体的に形成される。防水プラグを水密に着脱自在とする構造を有する容器構造であり、基板収納容器の洗浄は、防水プラグを水密に装着させて、洗浄槽に投入する洗浄方法である。 (もっと読む)


【課題】収容された半導体ウエーハの破損の防止と、輸送(搬送)効率の向上と、を両立させることができる半導体ウエーハ収容トレイを提供する。
【解決手段】半導体ウエーハWを収容し、かつ半導体ウエーハWを搬送する半導体ウエーハ搬送容器20に収容されて半導体ウエーハ搬送容器20の内部で位置決めされる半導体ウエーハ収容トレイ10であって、半導体ウエーハWが載置される平面状のトレイ本体部12と、トレイ本体部12の外縁部から突出して設けられトレイ本体部12に載置された半導体ウエーハWをトレイ本体部12に対して位置決めする突出部14と、を有する構成とした。 (もっと読む)


【課題】容器本体の変形を低減し、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することが可能な基板収納容器及びそのハンドルを提供する。
【解決手段】基板収納容器1のハンドル10を、容器本体2の側壁21の互いに対向する周縁部分21a,21bに取り付け可能な構成とする。容器本体2の側壁21の周縁部分21a,21bは、側壁21面より剛性が高く変形し辛いので、側壁21の周縁部分21a,21bにハンドル10を固定可能な構成とすることで、ハンドル10を容器本体2に固定して使用した際に、従前に比して容器本体2の変形が低減される。これにより、容器本体2と容器本体2内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制する。また、容器本体2の変形が低減され、容器本体2内の基板の位置精度が向上される。 (もっと読む)


【課題】解放式のカセットへのダストの侵入を防止し、クリーン度の低い空間でもカセットを保管・搬送できるようにする。また、シート材でラップしたカセットを用いて、処理装置へ物品を搬入するための具体的な構成を提供する。さらに、シート材のラップやアンラップを容易にできるようにする。
【解決手段】開放式のカセットにラッピング装置14でシート材をラップして周囲から気密にするとともに、アンラッピング装置10でシート材を剥がし、カセットに物品を出し入れできるようにする。 (もっと読む)


【課題】 真空成形後の外周加工において適切な加工方法を確立し、端面にバリ等の欠陥が無い清浄なペリクル収納容器を低コストで得る。
【解決手段】 樹脂のシート材を真空成形後、シート材周囲の余剰部分を切削除去してペリクル収納容器部材とし、次いで、前記余剰部分除去後の表面部分に有機溶剤の塗布等の溶解処理を施す。切削加工後の表面に生じたバリを容易に溶解除去し平滑にできるため、端面が清浄なペリクル収納容器を低コストで得ることができる。 (もっと読む)


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