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Fターム[5F031EA10]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 容器の構造 (2,912) | 押え,スペーサ,クッション(がたつき防止) (235)

Fターム[5F031EA10]に分類される特許

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【課題】液晶ディスプパネル部材等の、表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、輸送および保管する基板用トレイで使用する基板保持部材であって、固定治具を用いることなく、容易にかつ安定に設置が可能な基板保持部材を提供する。
【解決手段】四角形状で剛性のある板状物からなる基板111の面方向を水平方向として、基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、基板をその下側から保持する枠部に支持された基板支持部13を備えた基板用トレイ11において、基板支持部に固定され、基板を保持する基板保持部材14であって、固定治具を用いることなく、嵌合部を嵌合させることにより固定する、もしくは、嵌め込みにより固定することが可能である。 (もっと読む)


【課題】基板を保持した基板ホルダを搬送装置内に高精度に収納する。
【解決手段】複数枚のウエハを収納可能なポッド(フープ)にウエハホルダによって保持されたウエハを収納する際に用いられる治具であり、台座部91と位置決めブロック92とグリップ部93とを有しており、台座部91に一段下がったザグリ面91bが形成され、ザグリ面91bにウエハホルダの回転方向を位置決めする3つの突起部91fが設けられ、位置決めブロック92の突出部92aとポッドとで位置決めを行ってポッドに前記ウエハホルダを収納する。 (もっと読む)


【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体11とカバープレートの間に介在され、回転操作リール31の回転で施錠爪41が出没する施錠機構30と、回転操作リール31の回転位置を制御する位置制御手段50とを備え、位置制御手段50を、回転操作リール31の回転に応じて揺動するリンク51と、回転操作リール31とリンク51に連結されるバネ55と、リンク51の接触溝52と接触する位置規制ピン57とから構成する。回転操作リール31が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク51を揺動させてその回転途中の回転操作リール31に対する向きを変化させ、回転操作リール31に作用する付勢力の方向を回転操作リール31の回転方向に変更する。 (もっと読む)


【課題】 基板収納容器等の内容品の輸送に適し、梱包体のサイズの大型化を招くことがなく、しかも周囲の汚染のおそれ、保管スペースの拡大、リユースやリサイクルに支障を来たすおそれを抑制できる梱包体を提供する。
【解決手段】 梱包体1は、包装箱2と、基板収納容器10を挟むように包装箱2に配置される上下一対の緩衝体30、31と、基板収納容器10と各緩衝体30、31との間に介在される弾性体50、52とを備え、弾性体50、52を、間隔を開けて複数個所に設ける。 (もっと読む)


【課題】ウェハ搬送容器を外気に晒すことなく運搬可能で、ウェハ搬送容器の収容・取り出しが容易なウェハ搬送容器保護ケースを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ウェハ搬送容器としてのFOUP400を収容し、積載型搬送装置によって搬送されるウェハ搬送容器保護ケースとしてのFOUP保護ケース100である。FOUP保護ケース100は、積載型搬送装置へ積載される底板1と、底板1上に設置される防振部材2と、天面が開放された箱状であり、防振部材2を介して底板1に支持され、ウェハ搬送容器を載置して収容する下ケース4と、取っ手51を有し、下ケース4に上方から装着されて下ケース4を密閉する上ケース5と、を備える。 (もっと読む)


【課題】開口角度を安定して再現でき、高いクランプ力を長期間にわたって維持することが可能で、更にクランプアームやプッシュピンの変形や劣化が起こりにくい基板クランプ装置を提供する。
【解決手段】基板の保持、解除をクランプアームの開閉によって行う基板クランプ装置であって、土台に設けられたブラケットと、ブラケット略両端に、それぞれ設けられた回転軸と、上記回転軸の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプアーム押込み部と、上記回転軸の他の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプ枝部と、上記クランプアーム押込み部及び上記クランプ枝部と、上記回転軸とは別の回転軸を介して取り付けられ、基板を保持するクランプアーム部と、を備えたことを特徴とする基板クランプ装置。 (もっと読む)


【課題】ウエハ収納容器を誤って横向きに落下させてしまったような場合でも、その内部に収納されている半導体ウエハが破損し難いウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】複数の半導体ウエハ(W)が格納された状態のウエハ収納容器に複数の半導体ウエハ(W)の自重の35倍の荷重が側方から半導体ウエハ(W)の面と平行方向に作用したときに、ウエハ仮置部(10)が半導体ウエハ(W)との当接部(12A)において変位量2.5mm〜10mmの範囲で弾性変形するよう、ウエハ仮置部(10)の弾性変形量を増大させるための弾性変形幇助部(11X,12X)がウエハ仮置部(10)に形成されている。 (もっと読む)


【課題】大径基板に対応した搬送系を構成する基板収容器(フープ)に、サイズダウンした基板を格納できるようにする。
【解決手段】8インチウェーハを支持し得る第1支持溝16eに支持される上部板401および下部板402と、上部板401および下部板402に設けられ、2インチウェーハであるウェーハ14(必要に応じて、ウェーハホルダ100およびホルダ部材405を介して)を支持し得る第2支持溝404を有する各保持柱403a〜403cとを備える。8インチウェーハに対応したポッド16に、2インチウェーハであるウェーハ14を格納でき、搬送系であるポッド16を共通化して半導体製造装置のコストを削減できる。各ガス供給ノズルから各ウェーハ14までを遠ざけて、各ウェーハ14に到達する前に反応ガスを充分に混合させることができ、各ウェーハ14への成膜精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】 蓋体の開閉時に容器本体と蓋体とが擦れやすくなるのを抑制し、パーティクル等の塵埃が基板を汚染するおそれを有効に排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハWを整列収納する容器本体1の開口した正面2に蓋体10を着脱自在に嵌合し、容器本体1の正面内周に蓋体10の周壁を接触させる基板収納容器であり、容器本体1の正面内周と蓋体10の周壁の少なくともいずれか一方に、断面視で略半紡錘形あるいは略台形の回避部30を凹み形成し、この回避部30により、容器本体1の正面内周と蓋体10の周壁との擦れに伴うパーティクルの発生を抑制する。例え基板収納容器の内部が減圧状態になっても、容器本体1正面2の変形し易い上部中央、下部中央、両側部中央がそれぞれ内側に湾曲して反るのを抑制防止することができる。 (もっと読む)


【課題】パーティクルの発生を抑制しつつレチクルを容器に位置決めするのに有利な技術を提供する。
【解決手段】容器は、レチクルを収容するインナーケースと、アウターケースとを含む。インナーケースは、ベースプレートと、インナーカバーと、レチクルの面取り部と接触してレチクルを位置決めする第1位置決め部材と、を含む。第1位置決め部材は、面取り部との接触面がベースプレートの上面に対して同一方位での仰角をもって傾斜し、第1位置決め部材が押し付け部で押されて面取り部と最初に接触する第1傾斜面122と、第1傾斜面122より上方に形成されて第1傾斜面122より後に面取り部と接触する第2傾斜面121と、を含み、第1傾斜面122と第2傾斜面121とが第1位置決め部材の外に成す角は180°未満である。 (もっと読む)


【課題】 基板収納容器を自動で梱包可能であり、簡単な構造で、輸送時の振動や衝撃に対して確実にウェーハを保護できる基板収納容器の輸送箱を提供する。
【解決手段】 上部に開口部を有し基板収納容器を収納可能なコンテナと、該コンテナの開口部を閉鎖する上蓋とを有し、前記コンテナの内底部には、基板収納容器を載置する支承部材が設けられ、該支承部材の上面に、基板収納容器を所定の位置に誘導する位置決め機構と、輸送時の振動を吸収するための防振部材とが設けられ、前記開口部の上縁に第一の固定手段を有し、前記上蓋が、該第一の固定手段と係合する第二の固定手段と、基板収納容器を上部から固定する手段とを有していることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】大型の平板状基板を個別に安全かつ清浄さを保ち、簡便な方法で収納・開梱するための基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】平板状の基板を略水平に載置するための複数の基板受けピンを設け縁辺部に側壁を付設した下底部と、前記下底部の側壁と係合する縁辺部を有する蓋部と、からなる基板収納ケースであって、下底部の所定の位置に接続して基板の各辺の端部を保持するための基板保持治具を設けてあり、前記基板保持治具の内、少なくとも1コーナーを挟む2辺に関わる2つの基板保持治具が、基板の中央に向けて基板端部を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具であり、前記スライド式基板保持治具に対向する蓋部の所定の位置に、スライド式基板保持治具をスライドさせる押し込み治具を蓋部に垂直に設け、蓋部を閉めた時に押し込み治具がスライド式基板保持治具を基板の中央方向に押し付ける機構を有する。 (もっと読む)


【課題】ラミネーティング過程で発生する接触面上の気泡を除去できるようなエアープレッシングパターンを形成できるラミネーティング装置及びそのラミネーティング方法を提供する。
【解決手段】ラミネーティング装置は、キャリア装置及び正圧プレス装置を含み、キャリア装置は、被加工物である基板などを収容し、真空を形成して基板と基板とを固定圧着させ、正圧プレス装置は、キャリア装置の弾性膜に向かってエアーを噴射して基板間の接着力を高めると同時に、噴射されたエアーがまるで基板をその中心から縁部に掃き出すような効果を持たせることによって、ラミネーティング過程で発生しうる基板間の気泡を除去する。このようなエアープレッシングによる加圧では、基板などをチャンバーではなく別の移送可能なキャリア装置に収容するため、正圧プレス装置が複数個のキャリア装置に対して反復的なエアープレッシング工程を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】各種電子装置の製造で、基板に対して加熱処理や成膜処理等の表面処理を施す真空処理装置の基板の搬送方法であって、基板移載時におけるトレイへの基板移載機構の精度が低い場合においても、トレイに対して基板を常に安定して保持させることが可能な基板の搬送方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置の設置面に対して水平の位置にある第一のトレイに基板を搭載し保持するステップと、基板を保持した第一のトレイを設置面に対して鉛直方向に傾いた第二のトレイに装着するステップと、第一のトレイが装着された第二のトレイを、基板処理装置が有する減圧したチャンバー内に搬送機構により搬送するステップと、を有することを特徴とする基板の搬送方法である。 (もっと読む)


【課題】容器本体の側壁の撓み変形や歪みを抑制でき、ガラス基板等の板状体の撓みを防ぎ、溝外れ及び干渉による破損を防止でき、板状体の薄肉化にも対応できる、板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】相対向する側壁12bの内面に板状体の側端部を支持する支持用溝13を設けた容器本体1と、蓋体3と、中蓋5とを備え、中蓋5を、四周各辺部51a,51bを側壁上端部の内側に嵌合することにより容器本体1の側壁12a,12bの変形を抑制できる板体よりなるものとし、少なくとも一方の相対向辺部51bの側端面に突設した突縁5a,52bを、容器本体1の側壁上端部の内側に形成された切欠段部22a、22bに嵌合して所定位置に位置決めするように設ける。 (もっと読む)


【課題】基板のセット時や搬送時の衝撃により被処理基板の被処理面に傷や割れが発生することを抑制できる基板ホルダー及びこれを用いた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板ホルダー1は、被処理基板S1の被処理面側の外周部に当接する当接部112と、被処理基板の被処理面を露出させる開口部113とを有し、被処理基板の被処理面を開口から露出させた状態で当接部で前記被処理基板を支持する支持部材11を備え、当接部には、少なくとも前記被処理基板に対向する位置に、衝撃吸収性の高い緩衝材12が設けられている。基板搬送装置はこれを備える。 (もっと読む)


【課題】基板のセット時や搬送時の衝撃により被処理基板の被処理面に傷や割れが発生することを抑制できる基板ホルダー及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】被処理基板を支持するホルダー本体が、被処理基板Sの被処理面を露出させる第1開口212を有し、被処理基板Sの被処理面側の外周部に当接するマスク部材21と、第1開口よりも広い第2開口113を有し、マスク部材の外周部に当接して被処理基板の被処理面を第1開口を介して第2開口から露出させた状態でマスク部材を支持して被処理基板を支持する支持部材11と、支持部材とマスク部材とが当接する領域に設けられた衝撃吸収性を有する緩衝材12とを備える。基板搬送装置はこれを有する。 (もっと読む)


【課題】転写マスクが高い位置精度でマスクホルダーに収容された転写マスク収容体を提供する。
【解決手段】マスクホルダー30は、転写マスク20を収容するための凹状収容部33と、該凹状収容部33に形成された内部面34とを有する。転写マスク20は、開口パターン3が形成された薄膜2と、前記薄膜2を支持する、シリコンからなる支持枠1とを有し、前記薄膜2の端部5には、開口パターン3の形成と同時にエッチング加工された、マスクホルダー30内における転写マスクの移動を規制するガイド面が形成されている。転写マスクのガイド面が、マスクホルダーの凹状収容部33に形成された内部面34と対向して、マスクホルダー30に収容されている。 (もっと読む)


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