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Fターム[5F031EA14]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 容器の構造 (2,912) | 気密構造(換気機能を有するものを含む) (404)

Fターム[5F031EA14]に分類される特許

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【課題】気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができ、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にして基板を円滑に加工等できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体1と、容器本体1の開口した正面7に嵌合される蓋体20と、容器本体1と蓋体20の間に介在される変形可能なシールガスケット30とを備え、容器本体1の正面内周にシールガスケット30用のシール形成面8を形成し、蓋体20の裏面周縁部にシールガスケット30用の取付溝25を形成する。また、シールガスケット30を、取付溝25に嵌入される基体31と、基体31から突出する延出片33と、延出片33の先端部から伸びてシール形成面8に圧接する第一のシール片35と、延出片33から突出する第二のシール片37とから形成し、第二のシール片37を延出片33に直交させてシール形成面8に隣接する隣接面9に接触させる。 (もっと読む)


【課題】清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の洗浄を良好に行えるようにすることができる清浄気送風ユニットを提供する。
【解決手段】直方体状の基板収納器Kを収納する複数の収納部、基板収納器Kに対して基板1の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、収納部と基板搬出入部との間で基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される基板収納器Kに対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットJであって、基板収納器Kの4つの側面のうちの一つの側面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニットF、及び、基板収納器Kの4つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた2つの側面を覆う一対の遮蔽板10が装備されている。 (もっと読む)


【課題】接着層を介して互いに接合された第1及び第2の剛性部材を互いに剥離する際に、より簡易な手法で迅速かつ安全に剥離できるようにする。
【解決手段】部材剥離方法は、第1の剛性部材14の少なくとも一部分を第2の剛性部材16から離れる方向へ弾性的に撓ませるステップと、弾性的に撓んだ第1の剛性部材14の少なくとも一部分と第2の剛性部材16との間で、接着層12の外縁領域12aを第1の剛性部材14又は第2の剛性部材16から部分的に剥離するステップとを含む。部材剥離装置10では、第1の剛性部材14の表面14aに当接される壁18を有する治具24を用いて、第2の剛性部材16を収容する室20を形成し、真空装置26により、室20を、第1の剛性部材14の裏面14bに加わる気圧P1よりも減圧する。この差圧により、第1の剛性部材14の略全体が、室20に押し込まれるように一様に撓曲する。 (もっと読む)


【課題】平板状の基板を収納する基板収納ケースの内部に基板が収納されているかどうかの判別を基板収納ケースの外部から容易に認識できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】収納される基板が平行に載置される底面部と、少なくとも一部が底面部に支持されて該基板を保持できる基板固定治具と、底面部と咬合して基板を密封収納できる蓋部とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われる。 (もっと読む)


【課題】複数枚の基板とともに処理部を移動することにより、流体の使用量を低減することができる槽キャリアを提供する。
【解決手段】筐体3内の支持部材11に複数枚の基板Wを支持させた槽キャリア1を所望の処理部に移動させる。そして、筐体3に処理液を供給されることにより、複数枚の基板Wに対する処理を行うので、処理液の供給量を低減できる。したがって、処理に要する処理液の使用量を低減することができる。また、基板Wの受け渡しの機会を少なくできる。 (もっと読む)


【課題】基板搬送効率を向上できる熱処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板が互いに第1の間隔をあけて重なるように複数の基板を収容する基板容器が載置される容器載置部と、第1の間隔よりも狭い第2の間隔をあけて複数の基板が互いに重なるように複数の基板を保持する基板保持具と、基板支持可能な少なくとも2つの基板支持部を含み、基板保持具と基板容器との間で複数の基板を受け渡す基板搬送部であって、少なくとも2つの基板支持部が、第1の間隔で互いに重なるように配置され、基板容器に対して共に進退し、基板保持具に対して独立に進退する基板搬送部と、少なくとも2つの基板支持部のうちの下方の基板支持部が基板を支持しているときに、上方の基板支持部が動作しないように上方の基板支持部を制御する制御部とを備える熱処理装置により上記の課題が達成される。 (もっと読む)


【課題】 FOUP固定時に被クランプ部に付与される負荷荷重が増加した場合でも該被クランプ部の変形を抑制し得るロードポート装置を提供する。
【解決手段】 FOUPの底面に対して傾斜した回転軸の周りに回動して退避位置とクランプ位置をとの両位置を取り得るクランプアームを配し、該退避位置では該クランプアームを載置台表面よりも下となるように収容し且つ該クランプ位置では載置台表面から突出して被クランプ部と係合可能となる収容凹部内に該クランプアームを収容したロードポート装置とする。 (もっと読む)


【課題】ウェハ搬送容器を外気に晒すことなく運搬可能で、ウェハ搬送容器の収容・取り出しが容易なウェハ搬送容器保護ケースを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ウェハ搬送容器としてのFOUP400を収容し、積載型搬送装置によって搬送されるウェハ搬送容器保護ケースとしてのFOUP保護ケース100である。FOUP保護ケース100は、積載型搬送装置へ積載される底板1と、底板1上に設置される防振部材2と、天面が開放された箱状であり、防振部材2を介して底板1に支持され、ウェハ搬送容器を載置して収容する下ケース4と、取っ手51を有し、下ケース4に上方から装着されて下ケース4を密閉する上ケース5と、を備える。 (もっと読む)


【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体10と、蓋体10施錠用の施錠機構40を備え、施錠機構40を、蓋体10に支持されてカバープレート30側から操作される回転操作体41と、回転操作体41の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部65を接離させる施錠バー64とから構成し、回転操作体41を第一、第二の回転操作体42・42Aに分割し、第一、第二の回転操作体42・42Aに、カムを形成する第一、第二のカム部51・60を形成し、第一、第二のカム部51・60に、蓋体10の厚さ方向に揺動する施錠バー64の末端部を挟持させる。 (もっと読む)


【課題】施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体1と、容器本体1の開口した正面5に嵌合される蓋体10と、嵌合された蓋体10を施錠する施錠機構30とを備え、施錠機構30の回転操作リールに、進退動リンク38の進退動用のカム溝部を形成し、カム溝部の変形を変形防止リブに防止させるようにする。施錠機構30の施錠時に、回転操作リール31が施錠方向に回転して進退動リンク38を蓋体10の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ45が案内補強ブロック51に案内されながら蓋体10から容器本体1の施錠穴7内に直線的に進入し、この容器本体1の施錠穴7内に進入した施錠ラッチ45が案内補強ブロック51に案内されながら蓋体10の厚さ方向に揺動して施錠穴7を区画する正面側壁面8に接触する。 (もっと読む)


【課題】より好適にウェーハを支持することによって、パーティクルの発生を効果的に防ぎ、ウェーハの更なる汚染防止を図ることができるウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】前側に開口3を有すると共に、円盤状のウェーハ2を支持する支持部材25を備える容器本体4と、開口3を塞ぐと共に、ウェーハ2を保持するリテーナ21を備える蓋体5と、からなるウェーハ収納容器1であって、ウェーハ2の外周部のうち、結晶方位に起因してエッジが形成される領域を非接触領域Aとして設定し、リテーナ21及び支持部材25は、非接触領域Aを避けた位置でウェーハ2と接触する。 (もっと読む)


【課題】FOUPの搬送領域のパーティクルが当該FOUPの蓋体を介して基板搬送領域に混入することを防ぐこと。
【解決手段】FOUPの蓋体の前面が開閉ドアにより開閉される搬送口に向くように当該FOUPを載置する載置台と、FOUPに対向する対向面部に設けられるガス吐出口と、前記載置台に載置されたFOUPを、前記対向面部に対して相対的に進退させる進退機構と、を備えるように蓋体開閉装置を構成し、ガス吐出口から前記FOUPの蓋体までの距離が5mm以下であるときに蓋体へパージガスを供給する。これによって蓋体と対向面部との間を流れるパージガスの流速が高くなり、蓋体のパーティクルが容易に除去される。 (もっと読む)


【課題】内部空間の雰囲気を仕切ることによって、相互汚染が生じるのを抑制することができる基板収容器を提供する。
【解決手段】FOUP1に仕切り板DP1を装着すると、収容器本体3の内部空間5を複数の雰囲気(第1の空間SP1,第2の空間SP2)に仕切ることができる。したがって、内部空間5の仕切られた各雰囲気を使い分けることにより、基板の相互汚染を抑制することができる。また、特殊なFOUP1ではなく、規格化された標準的なFOUP1を用いることができるので、コストの上昇を仕切り板DP1に相当する分だけですませることができる。したがって、FOUP1内における内部空間5の雰囲気を容易に低コストで分離することができる。 (もっと読む)


【課題】パターニング前工程にて半導体製造基板の歩留りへの影響を受けず、SEMレビューを可能とする半導体装置の製造方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】製造装置30aにて所定の製造処理が施されたウェハWは、検査装置10にて欠陥が検査された後、評価装置20に搬送される。評価装置20では、検査装置10にて検出された欠陥がSEMレビューされる。そのSEMレビューされたウェハWは、洗浄装置40に搬送され、その表面に有機溶剤が塗布されて洗浄される。その洗浄後のウェハWは、製造装置30bに搬送され、次工程の製造処理が施される。 (もっと読む)


【課題】供給側と排気側の何れにも用いることができるパージ用の開閉バルブを備えた基板収納容器及びこれを用いた気体の置換方法を提供する。
【解決手段】貫通孔42が形成された円筒状のボール開閉弁40を、下筒10に回転自在に軸支し、ボール開閉弁40を収容する保持筒30を、下筒10に対して軸線方向に移動可能に収容し、保持筒30の内壁に、下筒10を軸線方向に案内する第一カム溝44と、下筒10の移動に伴いボール開閉弁42を回転させる第二カム溝45とを形成する。そして、第一カム溝44及び第二カム溝45の案内によりボール開閉弁40を回転させ、通常時は、貫通孔42が軸線方向に対して垂直な方向を向かせることで、容器内部を気密に保持し、保持筒30に対して下筒10が容器内部側に移動させて、貫通孔42が軸線方向に対して平行な方向を向かせることで、容器内外を連通させる。 (もっと読む)


【課題】容器本体と蓋体とが張り付いても蓋体を容器本体から容易に取り外すことができる薄板収納容器を提供する。
【解決手段】薄板収納容器1は、正面に開口部4を有する容器本体2と、開口部4に嵌め合わされて当該開口部4をシール可能に閉鎖する蓋体3と、を備えており、蓋体3は、蓋体本体11と、蓋体本体11に形成された出没孔13から出没する係止部8を備えた施錠機構7と、を備えている。そして、蓋体本体11のシール用溝27に、容器本体2と蓋体3との間をシールする枠体30及びリップ部31と、リップ部31に接続されて出没孔13に延び、出没孔13を出没する係止部8のローラ部25に変位される被操作リブ32と、を備えるガスケット26を嵌め込む。 (もっと読む)


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