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Fターム[5F031FA13]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送の形態 (16,275) | 移送手段⇔移送手段での受渡し (1,450)

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【課題】処理装置側の処理速度が速くなった場合でも対応することが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る高速マルチローダーを提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、ガラス基板を収納したカセットとガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダー。 (もっと読む)


【課題】 搬送ワークの搬送中に生じるヨーイングを搬送しながら補正できるヨーイング補正機構を提供すること。
【解決手段】 搬送ワーク5の側部を保持する保持装置3と、レール6に沿って保持装置3をワーク送り方向Xに搬送する走行装置2と、保持装置3を走行装置2のワーク送り方向前部及び後部で支持する支持機構31,32とを備え、支持機構31,32は、走行装置2に設けた駆動軸の軸線O1 ,O2 に対して所定の偏心量eで前部又は後部の一方がワーク送り方向Xに偏心した位置で、他方がワーク送り方向Xと交差する方向に偏心した位置で保持装置3と係合する軸線O3 を具備した偏心軸38を有し、搬送ワーク5のヨーイングを、偏心軸38の軸線O3 を駆動軸36,37の軸線O1 ,O2 を中心に回動させることで保持装置3と走行装置2との位置を相対移動させて補正する。 (もっと読む)


【課題】設備を策定する設備策定作業の簡素化を図ることができ、しかも、物品の搬送効率を向上できる天井設置型の物品搬送設備を提供する。
【解決手段】物品搬送車が同じ方向に向けて走行する複数の走行経路4A,4Bが、経路横幅方向に並べた状態で天井側に設けられ、複数の走行経路4A,4Bにおける隣り合う一対の走行経路4A,4Bのうちの一方側走行経路4Aから他方側走行経路4Bに物品搬送車が分岐走行する第1分岐経路5A及び他方側走行経路4Bから一方側走行経路4Aに物品搬送車が分岐走行する第2分岐経路5Bが、平面視において走行経路4A,4Bに対して傾斜する傾斜姿勢で、一方側走行経路4Aと他方側走行経路4Bとを接続するように設けられ、第1分岐経路5Aと第2分岐経路5Bとが、平面視にて、交差する形態で設けられている。 (もっと読む)


【課題】各生産装置の稼働率が低下することを抑制することができると共にリードタイムの増加を抑制することができる搬送システムおよびその制御方法を提供する。
【解決手段】複数の生産装置それぞれに対する保管庫に収容されている合計カセット数を示す保管庫データを作成し、保管庫データに基づいて合計カセット数が閾値以上である場合には当該カセットを処理する生産装置を特定装置とする特定装置データを作成する。そして、特定装置データに基づいて搬送元移載箇所または搬送先移載箇所が特定装置である搬送指示の優先度を高いものに変更し、搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がなく、選択した搬送指示の優先度が搬送指示変更部で高いものに変更され、かつ搬送元エリアに搬送指示が割付けられているがカセットを搭載せずに搬送元エリアを搬送している搬送台車がある場合、当該搬送台車に改めて選択した搬送指示を割付ける特別割付けを行う。 (もっと読む)


【課題】板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供する。
【解決手段】第1送出装置10から第2送出装置11へ板材101が受け渡される前においては、第1送出装置10は搬送部20と加圧部40の流体104とによって板材101を挟むように保持しながら搬送するとともに、第2送出装置11の搬送部20は板材101と接触しないようにし、第1送出装置10から第2送出装置11へ板材101が受け渡された後においては、第2送出装置11は搬送部20と加圧部40の流体104とによって板材101を挟むように保持しながら搬送するとともに、第1送出装置10の搬送部20は板材101と接触しないように構成されている。 (もっと読む)


【課題】複数のウェーハを自動的に搬送して連続的に加工を行うための搬出入装置について、部品点数が少なく、簡易な構成にて実現可能であり、更に、安価な製作コストを実現できる搬出入装置を提供する。
【解決手段】ユニット支持部には、複数の該被加工物ユニットを重ねて収容可能なユニットケースが着脱自在に配設され、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット通過部と、保持手段が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることで保持手段に対する被加工物ユニットの搬入又は搬出が行われ、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット支持部が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることでユニット支持部に対する被加工物ユニットの搬出又は搬入が行われる、ユニット搬出入装置とする。 (もっと読む)


【課題】ワークの板厚が薄く形成されたとしても、簡易な構成で、ワークの利用部位を非接触状態に維持したまま安定してチャックできる。
【解決手段】チャック装置1は、ワークWと対向する本体2と、本体に配され、ワークと接触する突出部3と、本体と突出部とワークとで囲繞される囲繞空間Nから気体を吸引する吸引手段5と、ワークまでの相対距離dを測定する測定センサ6と、相対距離に基づいて、相対距離が所定の目標値で安定化するように吸引手段の吸引力を制御する吸引制御部7と、を備える。 (もっと読む)


【課題】基板検査を短いタクトタイムで行うことができる基板検査装置および基板搬送方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置1は、検査する基板を搬入する基板搬入部3と、基板を検査する基板検査部4と、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部5とを有し、さらに気体を吐出することによって前記基板を浮上させる浮上プレート20と、基板搬入部3に搬入され、浮上プレート20により浮上した基板を保持し、個別の搬送軸上を個別に移動して搬送する基板搬送部6,7と、基板を保持した基板搬送部6、7が、基板搬入部3と、基板検査部4と、基板搬出部5とに分割された各ブロックに重複して位置しないよう制御する制御部10と、を備える。 (もっと読む)


【課題】ウェーハ搬送室内に搬送可能なウェーハの数を効果的に増大させることができ、EFEMに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能な装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ搬送室B及びロードポートCとともにEFEMを構成し、載置テーブルを、ロードポートCがFOUP搬送装置との間でFOUPxを受け渡す位置と同一直線L上に設定したFOUP受渡位置と、ウェーハ搬送室Bの側面にFOUPxを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で移動させる移動機構を備えたサイド用ロードポート1を案出した。 (もっと読む)


【課題】短時間で基板を交換できる基板供給装置を提供する
【解決手段】基板供給装置1は、一体に回転および昇降可能に設けられ、回転軸周りに対称に配置された複数のアーム4と、それぞれ、アーム4に遊びを有するように支持され、且つ、基板を保持可能な複数の小定盤6と、アーム4の回転および昇降によって小定盤6が載置され、且つ、小定盤6を遊びの範囲内で位置決めして保持する定盤保持機構9,10を備える主定盤7とを備える。 (もっと読む)


【課題】露光装置内への基板の搬入を効率よく行う。
【解決手段】 液晶露光装置内に基板Pを搬入する方法は、露光領域内で基板Pを保持可能な基板ステージ20に対して基板Pを搬送する基板搬入装置80aが有するフォークハンド83を上記露光領域外(ポート部60の上方の領域)に位置させることと、外部搬入ロボット90bが有するロードハンド91bに下方から支持された基板Pをフォークハンド83の上方に位置させることと、ロードハンド91bに下方から支持された基板Pをロードハンド91b上からフォークハンド83上に載せ替えることと、を含む。 (もっと読む)


【課題】複数の検査室によって共有することによりフットプリントを削減することができるウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ搬送装置10は、筐体Fを収納するウエハ収納室11と、ウエハ収納室11の下側に配置されたプリアライメント室12と、ウエハ収納室11及びプリアライメント室12に沿って上下方向に配置され且つウエハ収納室11とプリアライメント室12との間で半導体ウエハを搬送する第1のウエハ搬送機構13を有する第1のウエハ搬送室14と、第1のウエハ搬送室14とでプリアライメント室12を挟む位置に配置されアライメント室15と、第1のウエハ搬送室14、プリアライメント室12及びアライメント室15の配列方向に沿って移動すると共に上下方向に移動する第2のウエハ機構16を有する第2のウエハ搬送室17と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】ダミー処理を極力廃止することができる基板処理時間設定方法を提供する。
【解決手段】他の基板処理装置11におけるプラズマ処理の終了予想時刻に基づいて、次ロットの当該基板処理装置11への供給予想時刻が算出され、本ロットの全てのウエハのプラズマ処理の終了予想時刻が算出され、次ロットの供給予想時刻及び本ロットのプラズマ処理の終了予想時刻に基づいて、本ロットの全てのウエハのプラズマ処理の終了後に続く予想アイドル時間が算出され、予想アイドル時間がダミー処理必要アイドル時間以上である場合、本ロットの未処理の各ウエハのプラズマ処理の間に補助アイドル時間が追加されて設定される。 (もっと読む)


【課題】インゴットをスライスして形成されるウエハを1枚ずつ分離して、ウエハの表裏面を容易かつ均一に洗浄可能にするウエハの分離装置の提供。
【解決手段】支持台Cに接着剤により貼着されたインゴットが支持台Cの一部まで含めて短冊状にスライスされて形成されたウエハWを、当該ウエハWが支持台Cにぶら下げられた状態で保持するホルダ20と、ウエハWを1枚ずつ吸着して、支持台Cの部分で分離するための分離ハンド22とを含む分離装置2である。 (もっと読む)


【課題】基板上の塗布膜に乾燥ムラが生じるのを抑えて基板を搬送することができ、また、装置の製造上及び組付上の誤差が大きい場合でもパーティクルの発生を抑えることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ステージの表面から浮上させた基板を基板ガイドでガイドしつつ搬送する基板搬送装置であって、基板ガイドは、基板の側面に当接することで基板を拘束するとともに、ステージの表面と垂直な方向に変位可能な基板ガイド本体と、基板ガイド本体をステージの表面から浮上させる浮上ユニットと、基板ガイド本体をステージの表面側に付勢させる付勢手段と、を備えており、基板ガイド本体は基板の側面に当接する基板当接部を有しており、この基板当接部の高さ位置が、浮上ユニットと付勢手段により、ステージの表面から浮上する基板の高さ位置に維持される構成とする。 (もっと読む)


【課題】収納容器内の搬出対象物を精度よく判別してリングフレームと半導体ウエハの両裏面にわたって支持用の粘着テープを貼り付けてマウントフレームを作成する。
【解決手段】ウエハ収納容器からワークを持ち上げて取り出し、表面側を第1識別センサで検出し、ワークがウエハまたはスペーサのいずれであるかを判別する。ワークがウエハの場合、当該表面における保護テープの有無も判別する。表面に保護テープが無い場合、さらにウエハ収納容器の外周近傍に配備された第2識別センサによってウエハ裏面を検出し、保護テープの有無を判別する。 (もっと読む)


【課題】コンパクトな構成でワークを汚すことなく搬送することができるワーク搬送装置及びワーク加工装置を提供する。
【解決手段】移動可能な第1アーム60には、ウェーハ把持機構72と、第1吸着保持機構74とが備えられる。また、移動可能な第2アーム66には、トレイ76と位置決め機構78と、第2吸着保持機構80とが備えられる。カセットCに格納されたウェーハWは、縁部をウェーハ把持機構72に把持されてカセットCから引き出され、トレイ76の上に載置される。トレイ76に載置されたウェーハWは、位置決め機構78によって位置決めされた後、第1吸着保持機構74によって吸着保持されて、ワークテーブル30に搬送される。加工後、ウェーハWは第2吸着保持機構80に吸着保持されて、ワークテーブル30から回収され、ワーク洗浄装置56に搬送される。 (もっと読む)


【課題】 板状部材の移載に要する動作を最小限に抑え、板状部材を高速で移送することができる板状部材移送システムを提供する。
【解決手段】 複数の板状部材12を順次移送する板状部材移送システムは、収納カセット11と、送出側昇降装置22と、第1移送装置35とを有している
収納カセット11には、複数の板状部材12が水平姿勢で上下方向に並べて収納されている。送出側昇降装置22は、収納カセット11が装着され、収納カセット11を下降させるようになっている。また、第1移送装置35は、送出側昇降装置22により収納カセット11を下降させると収納カセット11に収納されている複数の板状部材12が順次載置され、載置された前記板状部材12を水平姿勢で前方に順次移送するようになっている。 (もっと読む)


【課題】板状ワークに対する可動膜の加圧分布を均等化して板状ワークの部分的な変形を防止する。
【解決手段】可動膜2に、支持部材3の通路3aと対向する肉厚な板状部2aと、通路3aを囲む表面部位3b1と対向する肉薄な変形可能部2bをそれぞれ形成し、通路3aからの流体で変形可能部2bを板状ワークWへ向けて変形させることにより、剛性の高い肉厚な板状部2aが形状保持されながら平行移動し、板状ワークWに対する可動膜2の押圧力が分散されて、板状ワークWの一部に集中して荷重がかかることなく、粘着部材1の粘着面1aから板状ワークWが剥離される。 (もっと読む)


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