【課題】 被ハンドリング体を静電破壊から保護するハンドリング治具及びハンドリング治具用スタンドの提供を目的とする。
【解決手段】 ハンドリング治具１は、グリップ２と、このグリップ２に回動又は往復移動自在に取り付けられたレバー３と、グリップ２に取り付けられた固定アーム４と、レバー３に取り付けられた回動アーム５と、固定アーム４及び回動アーム５に取り付けられ、フォトマスク基板１０と当接する爪６とからなるハンドリング治具1であって、グリップ２，レバー３，固定アーム４，回動アーム５及び爪６に、導電性材料又は帯電防止剤による帯電防止処理を施した材料を使用した構成としてある。 （もっと読む）

【課題】被ハンドリング体を支持する際、当接部材からの異物の発生量を低減するとともに、当接部材に取り付けられる衝撃緩衝部材を容易に交換することの可能なハンドリング治具の提供する。
【解決手段】 ハンドリング治具１は、フォトマスク用基板１０を保持する固定アーム４及び回動アーム５と、固定アーム４及び回動アーム５に取り付けられ、フォトマスク用基板１０と当接する当接部材としての爪６とを有し、爪６が、フォトマスク用基板１０を係止する係止溝と、この係止溝にフォトマスク用基板１０を導く線状の突起部と、フォトマスク用基板１０と当接するＯリングとを備える。 （もっと読む）

【課題】摺動面積を極小化し、さらに、ボールベアリングにより、擦れによる磨耗粉の発生を最少化するハンドリング治具の提供する。
【解決手段】 ハンドリング治具１は、グリップ２と、このグリップ２に回動自在に軸支されたレバー３と、グリップ２に固定された固定アーム４と、レバー３に固定された回動アーム５とからなり、レバー３に設けられたボールベアリングと、このボールベアリングに貫通され、両端がグリップ３に挟支された固定軸と、レバー３を、グリップ２との間に所定のクリアランスを確保するように、固定軸方向に対して位置決めする伸縮ばねとを具備している。 （もっと読む）

【課題】ウエハの擦れによる塵の発生が抑えられたウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハ搬送アーム１１０は、アーム本体１３０と、アーム本体１３０の先端部に設けられた二つの固定爪１４０と、アーム本体１３０に対して±Ｘ方向に移動可能な一つの可動爪１６０と、ウエハ１０の外周縁を光学的に検出するための二つのセンサー１５０とを備えている。二つのセンサー１５０は搬送基準軸を挟んでウエハ１０のノッチ１２の幅より広い間隔を置いて配置されている。固定爪１４０はウエハ１０を把持して心出しするためのウエハ心出し把持面１４２とを有し、可動爪１６０はウエハ１０を把持して心出しするためのウエハ心出し把持面１６２とを有している。ウエハ心出し把持面１４２とウエハ心出し把持面１６２の幅はいずれもウエハ１０のノッチ１２の幅よりも広い。 （もっと読む）

【課題】基板を安定して移送することができ、基板の収納状態も感知することができる 基板移送装置を提供すること。
【解決手段】基板移送装置はハンド１３０ａ、１３０ｂがピックアップ位置から溝の位置に戻った時、ハンド１３０ａ、１３０ｂのポケット部１３２に配置された基板Ｗを把持する把持部材１４０を含む。この把持部材１４０は基板Ｗのエッジと面接触する湾曲部１４４ａを有し、そして少なくとも一つのハンド１３０ａ、１３０ｂの移動方向と同一の方向に移動可能に前記ベース上に設けられるプッシャー１４４及びプッシャー１４４が基板Ｗのエッジを側方に押すように弾性力を加える弾性体１４６を含み得る。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの先端に設けられ、簡単な機構により旋回時及び伸縮時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除できるようなコンパクトな把持構造を実現する。
【解決手段】 基板Ｗを保持させた状態で直進運動可能な搬送アームを、旋回軸回りに旋回して基板Ｗを搬送可能な基板搬送装置の把持機構１０において、旋回軸と一体的に回転して搬送アームの先端に取り付けられた搬送ベースプレート８の直進運動方向と一致する磁性体からなる規制プレート３５を設ける。搬送アームの縮退に伴って搬送ベースプレート８が規制プレート３５に近接した際に、搬送ベースプレート８上のクランク３０の一部に取着された永久磁石３２が規制プレート３５に磁力吸引され、クランク３０が支点回りの回動し、スライド部１３が直進運動方向に変換され永久磁石３２の磁力吸引力が及ぶ規制プレート３５の範囲において、スライド部１３先端の基板把持アーム１２の先端で基板Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、把持部材が精密薄板材のエッジ部を把持する際の衝突力を小さくし得る精密薄板材の搬送装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、精密薄板材（１５）のエッジを把持する複数の把持部材（１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ，３２Ａ，３２Ｂ，３３）の移動速度を、前記精密薄板材（１５）のエッジに接触する直前に減速させる減速手段７を設けたのである。
上記構成とすることで、把持部材の精密薄板材への接触直前の移動速度を遅くできるので、把持部材の精密薄板材に対する衝突力は小さくなり、その結果、衝突による精密薄板材からの損傷粒子の発生を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、必要とする台車の数を低減して、機構の簡素化を図り、よってコストの低減に繋げられる基板処理装置および基板処理方法を提供しようとするものである。
【解決手段】互いに異なる雰囲気および／もしくは温度管理された複数のチャンバである、搬入側真空・大気室３０と、加熱室３１と、冷却室３２と、搬出側真空・大気室３３に順次基板１０を搬送し、各チャンバにおいて互いに異なる複数の処理をなす基板処理装置であって、互いに隣接するチャンバ相互間に設けられる開閉式のゲート３４ａ〜３４ｅと、１つ置きの各チャンバ（搬入側真空・大気室と冷却室）内に設けられ基板を把持し、かつ解除自在なリフタ機構４３Ａ，４３Ｂと、これらチャンバとは異なる１つ置きのチャンバ（加熱室と搬出側真空・大気室）をホームポジションとして、リフタ機構を備えた隣接するチャンバとの間のみに基板を授受し搬送する台車４０Ａ，４０Ｂとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 機構部が熱変形した場合であっても機構部間における搬送対象物の受け渡しを円滑に行う。
【解決手段】 高温環境下で搬送対象物を横行、昇降あるいは回転することによって搬送し、複数の機構部間において上記搬送対象物の受け渡しを行う搬送装置であって、受け渡す側の機構部の位置あるいは受け渡される側の機構部の位置を検出する位置検出部８ｃ，８ｄと、上記位置検出部８ｃ，８ｄの検出結果に基づいて上記受け渡す側の機構部あるいは上記受け渡される側の機構部の所定範囲に対する位置ズレを検出するズレ検出部１００とを有し、上記受け渡す側の機構部の位置あるいは上記受け渡される側の機構部の位置が上記所定範囲に対してずれている場合に、上記ズレ検出部１００の検出結果に応じて上記受け渡される側の機構部を上記受け渡す側の機構部に対して相対移動させる。 （もっと読む）

少なくも２個の処理ユニットの複数の少なくも１個の直線状に配列されたアレイを備え、各処理ユニットにおいて１個の枚葉ウエハ形物品を処理でき、更に、かかる各処理ユニットにおいて１個の枚葉ウエハ形物品を処理し得る前記処理ユニット、少なく１個の枚葉ウエハ形物品を内部に貯蔵している少なくも１個のカセットを保持するためのカセット保持ユニット、及びカセットからウエハ形物品を取り上げてこれを処理ユニットの一つの中に置くための輸送システムを備えたウエハ形物品の処理用の装置が明らかにされる。本装置は、直線状トラック上に取り付けられた輸送ユニットを備える。前記輸送ユニットは、枚葉ウエハ形物品を、直線状トラックと平行な実質的に垂直な平面内に保持する。
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【課題】 保持機構およびそれを用いた保持装置において、簡単な構造で、迅速な受け渡しができるようにする。
【解決手段】 端部に固定配置された保持面１６ａを有するステージ１６をその裏面側中央で支持台１９で支持し、ステージ裏面１６ｅと支持台１９との近傍に、被検体５を搬送するための一部がとぎれた環状のアーム部材が進退できるように退避空間２２を形成する。また、ステージ１６の外形は、アーム部材が囲うようにして上下に移動できる形状としておく。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化による装置の大型化及び設備コストの上昇、並びに、製造プロセスの長時間化による製造コストの上昇を生じることなく基板の角度位置を制御する。
【解決手段】基板受け渡し部材１２が基板把持部１のフィンガ３と干渉する場合には、フィンガ３を含む基板把持部１を基板Ｗとともにさらに補正角度値だけ回転させ、下限位置から搬出入位置まで上昇する基板受け渡し部材１２が基板把持部１のフィンガ３に当接しないようにする。演算処理部８は補正角度値をロボット制御部２２に伝送し、ロボット制御部２２は演算処理部８から伝送された補正角度値だけ基板把持部１の回転方向とは反対方向にロボットハンド１１を水平面内で回転させる。ロボットハンド１１における基板Ｗの相対的な角度は適正なままにされ、その後に基板Ｗを搬入すべきプロセス装置に対して適正な角度位置で基板Ｗが搬入される。 （もっと読む）

【課題】 大型で厚さが薄いガラス基板を、破損することなく水平から鉛直状態へ姿勢変更して鉛直状態での搬送を可能にする。
【解決手段】 基板搬送装置１０は、平面形状が矩形の基板１１を略水平な状態で保持する基板保持手段１２と、基板１１の一辺１１ａを成す部分を把持する把持手段１３と、把持手段１３によって把持され基板保持手段１２によって略水平に保持される基板１１が、略水平な状態から略鉛直な状態になるように把持手段１３を移動させる基板引起し手段１４とを備える。この基板搬送装置１０は、基板１１を水平から鉛直へと姿勢を変更し、搬送手段１５によって鉛直状態で搬送する。 （もっと読む）

【課題】基板を処理する処理槽と、処理槽に沿って設けられた搬送路と、搬送路上を移動して基板を搬送する基板搬送装置とからなる基板処理装置で、基板処理装置の設置面積を拡大することなく、基板処理のスループットを向上することが可能な基板処理装置及び基板処理装置における基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】同一搬送路上を移動可能な少なくとも２以上の基板搬送装置を具備し、基板を搬送する前記基板搬送装置は、互いに複数の処理槽を重複して移動可能するようにする。また、スケジューラにより生成されたスケジューリングデータで同時に複数の処理槽での基板搬送が生じた場合には、基板搬送分担処理条件と照合してスケジューリングデータを決定するようにする。 （もっと読む）

【課題】 基板洗浄装置の工程流れ方向に対するコンパクト化を図りつつ、基板の支持を確実化させると共に、基板のエッジ部分の異物残存を回避し、製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】 基板２を移送しつつ、スクラビング洗浄工程、リンス洗浄工程、および乾燥工程を順次実行する基板洗浄装置１において、スクラビング洗浄工程を実行する第一の槽４と、リンス洗浄工程および乾燥工程を実行する第二の槽５とを備える。そして、第二の槽５に、基板２を垂直姿勢に保持してスピンリンス洗浄およびスピン乾燥を行うための単一のスピン部５８を配備する。 （もっと読む）

【課題】 高速搬送ができ、しかも、被処理体の位置ずれも生ずることのない被処理体の搬送機構を提供する。
【解決手段】 薄い板状の被処理体Ｗを搬送するために比較的長い共通搬送エリア６内に設けられた搬送機構４０において、前記共通搬送エリアの長手方向に沿って設けられる案内レール４２と、前記案内レールに沿って移動可能になされた移動体４４Ａと、前記移動体に設けられて、前記被処理体の周縁部の下側角部に係合される断面Ｌ字状の係合段部８２，８４を有する複数の被処理体支持支柱８０とを備える。これにより、被処理体を上記係合段部により保持することにより、高速搬送ができ、しかも、被処理体の位置ずれが生ずることも防止する。 （もっと読む）