【課題】大幅なコスト増大を招来することなく、各処理工程毎に基板の欠損の有無の検査及び／又は基板の受け渡し完了の確認を行うことのできる機構及びそれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】前段の工程から基板を受け取って搬送し、後段の工程へと引き渡す基板搬送機構において、矩形基板８０の対向する２辺を保持する一対の支持アーム６１，６２を備えた基板支持手段と、前記基板支持手段を移動させる移動手段６５〜６８と、前記支持アーム６１，６２の先端に設けられ、基板８０を検出して信号を発生するセンサ７０ａ，ｂと、前記基板８０の受け取り又は引き渡しの際にセンサ７０ａ，ｂの前を通過する基板８０の辺縁部分について前記センサ７０ａ，ｂから出力される信号に基づいて基板の欠損の有無及び／又は基板の受け渡しの完了を判定する判定手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく、基板を搬送したり反転させることが可能な基板及びその搬送方法を提供する。
【解決手段】所定の厚さを有する平板であって表裏面Ａ１，Ｂ１を有する基板において、表面及び互いに対向する一方の側方面１ａに対してそれぞれ傾斜して表面と一方の側方面とを連結する第１の傾斜部２ａと、裏面及び一方の側方面に対してそれぞれ傾斜して裏面と一方の側方面とを連結する第２の傾斜部２ｂと、表面及び互いに対向する他方の側方面１ｂに対してそれぞれ傾斜して表面と他方の側方面とを連結する第３の傾斜部３ａと、裏面及び他方の側方面に対してそれぞれ傾斜して裏面と他方の側方面とを連結する第４の傾斜部３ｂと、を有する基板１とし、これら第１〜第４の傾斜部に基板搬送手段１１，１２を当接させることによって、基板を挟持して保持する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の安定な載置を確保しつつ装置全体の重量を抑制し、室内に気流がある場合にはその気流を妨げにくい。
【解決手段】棚ユニット１２０は、棒形状のフレーム部材１２１〜１２５から構成されている。フレーム部材１２１〜１２４は軌道９２に平行に配置されており、互いに離隔している。フレーム部材１２１〜１２４の間には、棚ユニット１２０を鉛直方向に貫通する貫通領域１２０ａ〜１２０ｃが形成されている。フレーム部材１２１及び１２２の間は被搬送物の幅より小さく離隔しており、フレーム部材１２１及び１２２の上面に被搬送物が載置される。棚ユニット１２０を軌道９２に固定する固定ユニット１１０も、一方向に長尺なフレーム部材１１１〜１１４で構成されており、固定ユニット１１０同士も離隔して配置されている。 （もっと読む）

【課題】板状部材の位置決めを行った効果を継続的に維持することのできるアライメント装置と、板状部材の位置を保ったまま搬送することのできる搬送装置と、これら各装置を用いたシート貼付装置を提供すること。
【解決手段】ベース部材２０と、当該ベース部材２０に着脱自在に支持される支持体２１と、当該支持体２１をベース部材２０に位置決めする第１の位置決め手段２２と、支持体２１の載置面２１Ａに半導体ウエハＷを位置決めする第２の位置決め手段２４とを備えてアライメント装置１１が構成されている。半導体ウエハＷは、前記支持体２１と共に搬送手段１３により搬送可能とされ、当該支持体２１は、テーブル部材１２に第３の位置決め手段４５を介して支持されるようになっている。テーブル部材１２に支持された半導体ウエハＷには貼付手段１５を介して接着シートＳが貼付される。 （もっと読む）

【課題】処理液の使用量を低減することができるとともに処理液の温度変動を抑制することができ、かつ、単純化された装置構成を有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１０は、一つの基板Ｗを保持し保持した一つの基板を処理する処理ユニット６０と、複数の基板Ｗを同時に収容可能な処理槽であって、基板を浸漬して処理するための処理液を循環供給されながら貯留する処理槽と、前記処理槽の基板収容可能数未満の数の基板を同時に搬送可能な搬送装置と、を備える。搬送装置は、少なくとも前記処理液が貯留された前記処理槽へ基板を搬送する。前記処理ユニットと前記処理槽との少なくともいずれか一つを用いて基板が処理される。 （もっと読む）

【課題】並列的に基板の処理を行う枚葉装置において、デッドロックを発生させることなく、効率的な運用規制を実現する半導体基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板が所定の搬送シーケンスに従って複数のチャンバ１１ａ，１１ｂ…１１ｎへ搬送されるとき、戻りブロック処理実行手段１２は、それらの複数のチャンバ１１ａ，１１ｂ…１１ｎのうち少なくとも一つのチャンバに対して複数回に亘って搬送処理を行う戻りブロック処理を実行する。ここで、戻りブロック処理が実行されるときは、所定枚数判定手段１３が、その戻りブロック処理が実行される範囲内にあるチャンバに搬入された基板が所定の枚数に達したか否かを判定する。そして、判定結果において基板が所定の枚数に達したとき、搬送制御手段１４は、戻りブロック処理が実行された範囲内にあるチャンバへの基板の搬送を停止させ、基板の投入規制を行う。 （もっと読む）

【課題】カセットに収納された複数のウェーハに対し、簡単な構造でオリフラ合わせを正確に行うことができるウェーハの整列冶具、ウェーハの整列装置およびウェーハ処理装置を提供する。
【解決手段】複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面５０を平坦に形成した整列プレート３３と、整列プレート３３を支持すると共に、整列プレート３３の上下動をガイドする上下動ガイド機構と、上下動ガイド機構を介して、待機位置と整列位置との間で整列プレート３３の進退動をガイドする進退動ガイド機構３１と、整列プレート３３を後退方向に付勢する付勢手段３４と、進退動ガイド機構３１を支持する機台３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】薬液処理時に発生する薬液蒸気が処理槽を有するシンク外へ飛散するのを効果的に抑えて高品質の基板処理を可能にした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】上方が開口した有底の容器からなる処理槽２Ａ〜２Ｄと、ウェーハＷを把持する把持機構１１と、把持機構が連結されてウェーハの処理槽内に貯留された処理液への浸漬及び処理槽内からの引き上げを行う昇降装置１０と、昇降装置が連結されてウェーハを処理槽へ搬送する搬送装置７と、を備える基板処理装置１において、処理槽から蒸気が平常時よりも多量に発生上昇するときに処理槽の開口部を覆うことができる搬送装置に連結された飛散防止カバー８を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハハンドリング装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハを移送するためのベルヌーイ・ワンド（５０）であり、そのワンド（５０）は、ウエハの上方表面と下方表面との間に圧力差を生成するために、ウエハの上方表面に沿ってガスの流れを生成するように構成された、複数のガス出口（７４、７５）を有するヘッド部（５４）を有する。圧力差は、ベルヌーイの原理を用い、略非接触状態にて、ワンドのヘッド部（５４）の下方にてウエハを支持する持上げ力を生成する。ワンド（５０）は、異なるセットのガス出口穴（７４、７５）に流れを提供するように構成された、独立して制御可能なガス流路（７０、８０）を有する。ガス出口穴（７４、７５）およびガス流路（７０、８０）はベルヌーイの原理を用い、ウエハを支持するように構成される。 （もっと読む）

【課題】
ディスクハンドリングロボットとの間でのディスクの受け渡しが容易で、搬送中のディスクを確実に保持することができるディスクのチャック機構およびディスクキャリアを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、チャックアームを肘部分で曲がった一対のＬ字形のアームにより構成し、このアームのＬ字の胴の部分が足の部分より長く、足の部分に第１のローラを設けて、各第１のローラが上下に重なり合うようにＬ字形を向かい合わせて各アームを配置し、ロック機構には第２のローラを設け、この第２のローラの中心が第１のローラの回動方向において第１のローラの中心を越えた位置に配置しているので、搬送時には、第１のローラの回動を容易にロックできる。 （もっと読む）

【課題】複雑なアライメント機構を用いずに搬送位置精度を高精度に維持し、ガラス板を清浄に維持しながら、水平コロコンベアでは得られない高速搬送、及び瞬時の停止を実現するガラス板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス板９の下面側よりエアーを吹き付け、ガラス板９を浮上させる多孔質パッド１１を配置した保持部位１０と、その外側位置には搬送方向にガイド３１及びレール３２を配置した駆動部位３０と、駆動部位３０の一部表面上には駆動連結アーム２３とアーム２２及びハンド２１を一体構造とした移動部位２０とからなり、ガラス板９を保持部位１０により浮上させて保持し、搬送軸センター３近傍に整列したガラス板９ｃをハンド２１が補助的に板端面から挟み込むように把持し、ガラス板９ｃを駆動部位３０により搬送方向に高速に移動、停止する駆動機能を装備した。 （もっと読む）

本発明は、製造設備においてワークピースを保管するための改善されたストッカに関する。ワークピースがロボット把持アセンブリの周囲に固定的に保管されている。３つの自由度を有するようにロボットハンドラが設計されている。ストッカには周端グリップロボット把持アセンブリが設けられており、このロボット把持アセンブリはワークピースにアクセスし、周端部からワークピースを取り出し、したがって密にワークピースを保管することができる。
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【課題】最小単位の装置のブロック構成化を図ることにより装置の配置構成に自由度を向上させ、装置構成上の問題を伴うことなく装置全体の小型化が向上し装置全体のフットプリントを小さくすること。
【解決手段】被処理基板Ｇに対して所定の処理を施す処理部を一方向に複数配置して構成された処理部配置部２１〜２３と、この処理部配置部内に設けられ前記被処理基板を搬送する第１の搬送機構と、この処理部配置部外かつ前記一方のほぼ延長線上に固定してまたは前記一方向のほぼ延長線上に対して直交する方向に固定してまたは／及び前記一方向の延長線上と平行する線上を移動自在に設けられ前記第１の搬送機構に対して直接或いは間接的に前記被処理基板を受け渡し自在に構成された第２の搬送機構１１〜１５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 省スペース化や装置の負荷増大防止を図ることができ、基板の撓みに伴う弊害を解消することのできる基板の給排装置及び基板の給排方法を提供する。
【解決手段】 基板収納容器１に対して半導体ウェーハＷを投入・払い出し装置２０により給排する装置であって、基板収納容器１を、ベース板２上に半導体ウェーハＷを収納する収納カセット３を備えた容器本体４と、容器本体４のベース板２に嵌合されて収納カセット３を被覆する被覆ケース５とから構成する。また、投入・払い出し装置２０を、基板収納容器１を立てて搭載して半導体ウェーハＷを起立させるロードポート２１と、ロードポート２１に搭載された基板収納容器１に対して進退動し、被覆ケース５に対して容器本体４を着脱する着脱搬送機構２７と、被覆ケース５から取り外された容器本体４の半導体ウェーハＷを突き上げる突き上げ機構３０と、突き上げられた半導体ウェーハＷをハンドリングするハンドリングロボット３１とから構成する。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気の下で用いることができるとともに、軽量かつ簡素な構成とすることができ、搬送時におけるワークの横ずれを確実に防いで搬送速度向上にも寄与することができるワーク保持機構を提供する。
【解決手段】平板状のワークＷを水平に保持するためのワーク保持機構は、ワークＷが載せられるベース部材１と、ベース部材１の所定箇所に設けられた複数のガイド部材２とを備え、ガイド部材２は、ベース部材１に対して回転自在に支持される軸部２０と、ベース部材１にワークＷが載せられる際、このワークＷの周縁部における下面一部に当接することにより、軸部２０を支点として下方に押し下げられる当接部２１と、当接部２１が下方に押し下げられると、軸部２０を支点として上方に押し上げられることにより、ワークＷの周縁部における側面一部に対向した姿勢をとる規制部２２とを有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】ハンドを用いた半導体ウエハを搬送する工程において、異物の発生を低減することのできる技術を提供する。
【解決手段】ロッド１７はピストン１６に固定されており、シリンダ１５には第１空間１８に接続されている第１圧力ライン１９および第２空間２０に接続されている第２圧力ライン２１が設けられており、ピストン１６には貫通穴２２およびこの貫通穴２２に嵌め込まれたネジ２３が設けられている。第２圧力ライン２１を閉じた状態で第１空間１８を第１圧力ライン１９から真空引きすることによって、ピストン１６が移動して可動部１３が可動し、第１圧力ライン１９を閉じた状態で第２空間２０へ第２圧力ライン２１から空気を流入することによって、ピストン１６が移動して可動部１３が可動する。 （もっと読む）

【課題】 基板を枚葉単位で取り扱うことができ、しかも、収納や搬送時には複数枚同時に取り扱うことのできる基板収納カセット及び収納ケースを提供する。
【解決手段】 口径４５０ｍｍタイプの半導体ウェーハＷの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Ｓに対向するベースプレート２と、ベースプレート２との間に半導体ウェーハＷの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Ｓを隙間を介して挟持する保護プレート１０と、ベースプレート２と保護プレート１０とを接続し、半導体ウェーハＷの周縁部の一端側を接触支持する支持ホルダ２０と、ベースプレート２に設けられて半導体ウェーハＷの周縁部の両側に対向し、半導体ウェーハＷを複数の支持ホルダ２０方向に案内する一対のスライドガイド３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送の都度にジョイント機構の着脱を行うことを必要とせず、基板をスムーズに搬送する。
【解決手段】隣接して配置された２以上の搬送ステージ４Ａ，４Ｂを備え、基板Ａを水平状態に維持しつつ搬送する基板搬送システム１であって、搬送ステージ４Ａ，４Ｂの少なくとも１つに、該搬送ステージ４Ａの高さを調節するレベル調節機構７が備えられるとともに、該レベル調節機構７により搬送ステージ４Ａを下降させた位置で該搬送ステージ４Ａの下面を突き当てる突当部材８が設けられ、該突当部材８は、該突当部材８に下面を突き当てた状態の搬送ステージ４Ａによる基板の搬送高さが、隣接する他の搬送ステージ４Ｂによる基板Ａの搬送高さと略一致する位置に配置されている基板搬送システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板を移送する際の時間を短縮でき、かつ形状がコンパクトな基板移送装置を提供すること。
【解決手段】基板移送装置１２は、可動アームアセンブリ１８と、２つの基板ホルダ２２、２３と、同軸駆動軸アセンブリとを有する。可動アームアセンブリ１８は、ほぼＸ字形の軸アセンブリを有する。基板ホルダ２２、２３は、Ｘ字形部材の異なる対のアーム部３０、３１、３２、３３に接続される。同軸駆動軸アセンブリは、伸張位置と収縮位置と間の反転一斉運動で、Ｘ基板ホルダ２２、２３のアームを動かす。 （もっと読む）

【課題】基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく、基板を搬送したり反転させることが可能な基板及びその搬送方法を提供する。
【解決手段】重心を通り端面を貫く直線が端面１ａ，１ｂと交わるそれぞれの部分に凹み部２をそれぞれ設けた基板１を搬送する際に、凹み部に挿入可能な爪部１１を有する基板保持手段１２を、凹み部と爪部とが向かい合うように凹み部それぞれに対応させて配置し、基板保持手段を移動させて爪部を凹み部にそれぞれ挿入し、爪部が凹み部にそれぞれ挿入された状態で基板保持手段をそれぞれ連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、基板を任意の方向に移動または反転させる。 （もっと読む）