【課題】温度の高い比較的大型の搬送対象物を搬送する場合であっても、熱の影響による軸受の摩耗や損傷を抑制すること、熱の影響によるアームの変形を抑制すること、および、ハンドの重量を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】この産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される搭載部２７を有するハンド３と、その先端側でハンド３を保持するアームと、アームの基端側を保持する本体部と、搭載部２７の少なくとも上面を覆うカバー部材３０とを備えている。カバー部材３０における輻射熱の反射率は、搭載部２７における輻射熱の反射率よりも高く、カバー部材３０の熱伝導率は、搭載部２７の熱伝導率よりも低く、搭載部２７の比重は、カバー部材３０の比重よりも小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】高温環境下における劣化を防止すること。
【解決手段】繊維強化プラスチックによって形成されたフォークを備え、かかるフォークは、外周面にポリイミドをコーティングすることによって形成したコーティング層を有するようにハンドおよびロボットを構成する。なお、コーティング層は、たとえば、ポリイミドを含むフィルム素材であるポリイミドフィルムがらせん状に巻回されることで形成され、外周面の一部のみであってもよい。 （もっと読む）

【課題】剥離時の損傷を抑制できる剥離装置を提供すること。
【解決手段】基板２と、基板２を補強する補強板３との界面８を一端側から他端側に向けて順次剥離する剥離装置１０において、基板２及び補強板３を含む積層体６の第１主面６ｂを支持する支持手段２０と、積層体６の第２主面６ａを吸着する可撓性板３０と、可撓性板３０上に間隔をおいて固定され支持手段２０に対して独立に移動可能な複数の可動体４０と、複数の可動体４０の移動を制御する制御装置８０とを備え、複数の可動体４０のうち剥離時に最初に支持手段２０に対して離間する可動体４０は、剥離開始前に界面８に対して垂直な方向から見たときに界面８の剥離開始端８ｂの後方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面に残った水の表面張力によりウェハが貼り付くことを防ぐウェハカセット搬送装置を得ること。
【解決手段】対向する一対の側面の内壁に設けられた複数のリブが形成する複数の保持溝の各々によって、複数のウェハ２を立てた状態で前後に並べて収容するウェハカセットを搬送するウェハカセット搬送装置１０であって、ウェハカセット１を把持する把持装置６と、一対の側面と略同じ間隔で二列に配列され、複数の保持溝と同じピッチで配置された複数の歯を有するクシ５と、把持装置６及びクシ５を移動させる移送装置４と、を備え、移送装置４は、把持装置６がウェハカセット１を把持するのに先だって、複数の保持溝の各々において、ウェハ２とリブとの間に歯が挿入されるように把持装置６及びクシ５を移動させる。 （もっと読む）

【課題】セラミックス等の脆性部材で構成された基板保持部材を備えた基板搬送装置において、破損した場合に破片の飛散を抑えること。
【解決手段】多関節アームの最上段の基板保持部材２の基体としてセラミックスからなるフォーク状の板状体を用いる。この板状体の周縁に沿って板状体の中に埋設した状態で延性部材である金属線５を配置する。また板状体の裏面側に延性部材である樹脂フィルムを貼着するようにしてもよい。このような構成では、基板保持部材が構造物に衝突し破損した場合にも、金属線によって破片を繋ぎ止めることで、破片の飛散防止あるいは抑制をすることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板を保持することによる保持体の撓みを抑えること。
【解決手段】 基板を保持するために搬送基体に進退自在に設けられた板状の保持体４１の下面に、薄膜状の圧電体５を設ける。この圧電体５は、電圧を印加すると伸長するように構成され、これにより、保持体４１に上向きに反る方向の曲げ応力が与えられる。保持体４１にウエハＷを保持させると、ウエハＷの自重により保持体４１の先端が下方に垂れるように撓むが、圧電体５に電圧を印加すると、保持体４１の下面側が伸長するので、ウエハＷの自重による保持体４１の撓みに抗して、当該保持体に上向きに反る方向に曲げ応力が与えられ、保持体４１の撓みが抑えられる。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで吸引保持した基板を、規制体で所定姿勢に位置保持する基板移載装置において、規制体の規制機能の回復をより少ない手間で簡便に行うことができるようにする。
【解決手段】基板Ｗの表面に平行な方向の滑り移動を規制するガイド５３をガイド取付部材５１に対して着脱自在に構成する。これにより、規制体５０の全体の交換を要することなく、ガイド５３のみを交換するだけで、規制体５０の規制機能を回復することができる。従って、規制体５０の全体を交換する形態に比べて、規制体５０の規制機能の回復に要する費用や手間を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性基板などの半導体部品の受け渡しの際、特にその搬送アームから該絶縁性基板などを分離する際の剥離帯電の問題を簡単な構成により解消することができ、しかも、加湿空気の噴き付けによる除電に伴う結露や異物の付着といった弊害を招くことのない基板処理装置を得る。
【解決手段】スパッタ処理の対象となる絶縁性基板Ｗ５を搬送する基板搬送装置１００において、該絶縁性基板を載置して一枚ごと搬送するセラミックなどからなる搬送アーム１５１を備え、該搬送アーム１５１は、その基板載置部の表面を、絶縁性基板Ｗ５と該基板載置部との接触面積が小さくなるよう微細な凹凸形状にし、さらに、搬送アーム１５１を構成するセラミック材料の表面に導電樹脂を導電性コート膜１５１ａとしてコートした構造を有している。 （もっと読む）

【課題】外縁部に凸部を有する被着体に対しても、空隙を生じさせることなく接着シートを貼付できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】シート貼付装置１は、被着体Ｗに対向して配置した接着シートＭＳを支持するシート支持手段６，７と、支持している接着シートＭＳを被着体Ｗ側に撓ませて被着体Ｗに貼付するシート変形手段８Ａ，８Ｂと、被着体Ｗを平面視したときに被着体外縁よりも外側に位置する接着シート領域が被着体Ｗ側へ変形することを規制する変形規制手段４Ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】
ワークを固定し、搬送する真空吸着装置などの吸着面に使用し、安価でワークに皺や吸着跡が残らず、また吸着汚れを発生させることのない不織布製吸着プレートを提供する。
【解決手段】
低融点繊維９０〜１００重量％と、低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維が１０〜０重量％からなる目付５０〜２００ｇ／ｍ²、嵩密度０．６０〜１．２０ｇ／ｃｍ³の熱接着タイプの不織布Ａを吸着面とし、低融点繊維２０〜９０重量％、低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維８０〜１０重量％からなる熱接着された目付３００〜８００ｇ／ｍ²で嵩密度０．１０〜０．５０ｇ／ｃｍ³の熱接着タイプの不織布Ｂを真空吸引側として、上記両不織布Ａ，Ｂを積層し、外周を熱プレスにて融着して吸着プレート１を形成すると共に、非融着部の通気量を５０〜１５０ｃｃ／ｃｍ²／ｓｅｃ、融着部の通気量をが５ｃｃ／ｃｍ²／ｓｅｃ以下とした。 （もっと読む）

【課題】大口径の半導体ウェーハであっても安定に吸着保持することが可能な吸着保持装置を提供すること。
【解決手段】使用者が片手の掌全体で把持可能な支持部と、上記支持部側面の長手方向に一列に立設配置され、かつ該支持部内部に設けられた吸引流路と連通する吸引流路を内部に有する連結管部と、上記連結管部の先端に取り付けられ連結管部からの吸引負圧により被吸着物を吸着する吸着板と、を有し、かつ、全吸着板は同一方向から半導体ウェーハの一主表面を吸着保持する、半導体ウェーハ吸着保持装置。 （もっと読む）

【課題】平板状の基板を着脱自在に搬送するロボットハンドに使用する基板載置用パッドおよびそれを用いたパッド機構に関し、基板の保持力を高めると共に、耐久性が高く長寿命の新しい基板載置用パッドを提供すること。
【解決手段】弾力性のある外郭層２の内部に閉じた空間３を有することを特徴とする基板載置用パッド１であって、特に、外郭層の基板に接する側の面４が外側に凸な曲面を有し、平坦な基板が載置された際に、基板の荷重により基板との接触面積が増加する。 （もっと読む）

【課題】フレームに対する加工を増やすことなく、フレームに対するフォークの本数や位置を変更することができる基板搬送用ハンドを提供すること
【解決手段】基板１１６を載置するフォーク１１２と、フォーク１１２の基端を固定するフレーム１１１と、を備え、フォーク１１２が、フレームに対してスライド可能に固定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】高効率のマテリアル自動化取扱システム（ＡＭＨＳ）を提供する。
【解決手段】本発明は、マテリアル自動化取扱システムであり、複数の貯蔵容器を含み、各貯蔵容器は、少なくともマテリアルの１ユニットを保持するようになっている少なくとも一つの貯蔵ユニット、及び、少なくとも一つのオーバーヘッドホイストを含み、このオーバーヘッドホイストは、所定の位置へ搬送するために複数の貯蔵容器の選ばれた一つにおける少なくとも一つのマテリアル・ユニットに直接にアクセスできるオーバーヘッドホイスト搬送サブシステム、を備える。 （もっと読む）

【課題】極薄のウェーハを安全、簡単、確実かつ迅速に単離させることができ、かつ従来と比べて処理スピードが改善されたウェーハ単離方法及びウェーハ単離装置を提供する。
【解決手段】多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体を液体中に浸漬させて準備するステップと、前記最上層のウェーハの一端部を吸着し、前記最上層のウェーハの他端部は吸着せずにおさえ、前記最上層のウェーハを水平方向で傾斜させる吸着ステップと、前記最上層のウェーハの下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に流体を吹き込む流体吹き込みステップと、前記傾斜させた最上層のウェーハを、その傾斜の延長線上に沿って変位させて液中から前記最上層のウェーハを取出せしめるウェーハ変位ステップと、を含み、ウェーハを単離するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットのハンド部のフォークに対して要求される耐熱性要求、剛性要求、軽量化要求を満たすと共に、長尺化要求をも満たすフォーク構造を提供する。
【解決手段】基板に薄膜処理を施す際に使用する基板を搬送するロボットのハンド部に使用されるフォーク構造において、幅方向に複数枚の板状部材１１，１２，１３を連ね、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に複数段継ないだ梁状構造物をなし、当該連ねられた複数枚の板状部材を長手方向に継ぐ位置において、基端側の複数枚の板状部材と先端側の複数枚の板状部材が互い違いに重なり合っており、当該複数の板状部材が互い違いに重なり合っている部位の少なくとも２箇所において、複数個のボルト・ナット５１ａ等による機械的な締結部品や凹凸面の嵌合によるせん断荷重伝達手段５１を設けた構成のフォーク構造とした。 （もっと読む）

【課題】 高温下で使用することができるロボットハンド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ロボットハンド１は、冷媒を流通させるための貫通溝５が延在する板状部材３と、貫通溝１５を覆うように板状部材３の一方の主面３ａに配置されたＦＲＰ成形体２と、貫通溝１５を覆うように板状部材３の他方の主面３ｂに配置されたＦＲＰ成形体４と、を備えている。このロボットハンド１においては、板状部材３及びＦＲＰ成形体２，４によって冷媒が流通する流路が形成される。従って、その流路に冷媒を流通させることにより、炉に対してガラス基板を搬入及び搬出するなど、高温下で使用することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】接着剤層の厚さを均一にすることにより、吸着面の平面度と金属ベースの表面に対する吸着面の平行度とを高めることができる静電チャックを提供すること。
【解決手段】静電チャック１は、セラミック絶縁板１０及び金属ベース３０を備える。金属ベース３０は、接着剤層２０を介してセラミック絶縁板１０に接合される。静電チャック１は、吸着用電極層５１に電圧を印加させた際に生じる静電引力を用いて被吸着物をセラミック絶縁板１０の第１主面１１に吸着させる。また、接着剤層２０内には、セラミック絶縁板１０の第２主面１２と金属ベース３０の第１面３１とに接触して接着剤層２０の厚さを保持する複数のセラミック球２１が配置される。 （もっと読む）

【課題】基板の対する処理を高精度で行う。
【解決手段】 基板Ｐの下方には、基板Ｐの下面にエアを噴出する複数のエア浮上ユニット５０が配置され、基板Ｐは、概ね水平となるように非接触支持される。また、基板Ｐは、定点ステージ４０により被露光部位が下方から非接触保持され、その被露光部位の面位置がピンポイントで調整される。従って、基板Ｐに高精度で露光を行うことができ、かつ基板ステージ装置ＰＳＴの構成を簡単にすることができる。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに基板を真空吸着して搬送する場合において、容易に交換することができるとともに、長時間吸着してもウェハに固着することがなく、安定してウェハを真空吸着することができる真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】基板を真空吸着して搬送する基板搬送装置１６の搬送アーム１７（１９）に形成された取付孔２２又は貫通孔に取り付けられて、搬送アーム１７（１９）に設けられた真空吸引路２１と連結されて基板を真空吸着する真空吸着パッド２０であって、第１の開口部４４が形成された上面部４１と、取り付けられたときに取付孔２２または貫通孔と対向し、シール部材３２を装着する装着部４６が形成された側周面部４２とを有する。 （もっと読む）