ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理時の固着、保持 (16,861)

ステージ、チャック、サセプタ (15,090)
熱処理用ボート (438)
液槽への浸漬処理に関するもの (171)
テープ、フィルム (976)
その他の固着・保持 (186)