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Fターム[5F031JA22]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 検出 (10,411) | 検出の目的 (2,253) | 存在の有無、存在位置(アドレス) (967)

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【課題】 載置される基板の加工または検査を高精度に行なう要求に応える。
【解決手段】 外側第1リニアガイド6aは、ステージベース5に接続された、第1方向に沿って直線状である外側第1レール11aと、外側第1レール11aに取り付けられ、外側第1レール11a上を第1方向に沿って移動可能であるとともに、第1テーブル7に接続された外側第1スライダ12aとを有する。内側第1リニアガイド12bは、ステージベース5に接続された、第1方向に沿って直線状である内側第1レール11bと、内側第1レール11bに取り付けられ、内側第1レール11b上を第1方向に沿って移動可能であるとともに、第1テーブル7に接続された内側第1スライダ12bとを有する。第2リニアガイド8の第2レール18の熱膨張率は、第1テーブル7の熱膨張率よりも大きい。内側第1スライダ12bの高さHbは、外側第1スライダ12aの高さHaよりも小さい。 (もっと読む)


【課題】長尺体が巻回されかつデータキャリアが設けられた軸芯部材を支持軸で支持する際に、データキャリアに対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要な長尺体の支持装置および支持方法を提供する。
【解決手段】基端部221Eと先端部221Tとを有し、軸芯部材27における中空部の一端側から挿入することで当該軸芯部材27を支持する支持軸221と、支持軸221を基端部221E側から支えるフレームとを備え、軸芯部材27には、中空部の他端側であって、軸芯部材27の軸線CFに直交する面271内に所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能なデータキャリア29が設けられ、支持軸221の先端面221Cには、ループアンテナ26が設けられている。 (もっと読む)


【課題】検査工程と整列工程を1台の設備で行うことによって工数削減と設備費のコストダウン及び設置スペースの縮小を図ることができるLED素子のソーティング装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハ2を裁断して得られる複数のLED素子3の各特性をそれぞれ検査するとともに、各LED素子3の位置をそれぞれ検出し、各LED素子3をその特性データと位置データに基づいて各ランク毎に整列させてシート4上に貼付するLED素子3のソーティング装置1を、放射状に延びる複数のアーム11を備えた回転可能且つ上下動可能なインデックスユニット10を設け、該インデックスユニット10の前記各アーム11を回転及び上下動させてその先端に前記LED素子3を吸着しつつ、該LED素子3の位置検出と特性の検査、各ランク毎の整列及びシートへの貼付を順次行うよう構成する。 (もっと読む)


【課題】不要シートの剥離や、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートWSが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段14と、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成し、切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、接着シートASを初期剥離領域(繰出方向先端部)Saから剥離する剥離板18とを備えてシート貼付装置10が構成されている。繰出手段14は、原反RSに付与する張力を増減可能な張力付与手段17を有し、張力の増加によって初期剥離領域Saの接着シートAS外縁と不要シートUSとの間に隙間SPを形成可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】不要シートの剥離や、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートWSが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段14と、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成し、切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、不要シートUSを巻き取る不要シート巻取手段16と、接着シートASを初期剥離領域(繰出方向先端部)Saから剥離する剥離板18とを備えてシート貼付装置10が構成されている。不要シート巻取手段16は、押え手段42で接着シートASを押さえ付けた状態で、回動モータDM5によって不要シートUSの張力を増大することにより接着シートASと不要シートUSとを切り離し可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行えるようにすること。
【解決手段】帯状シートWSが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段14と、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成する切断手段15と、接着シートASを初期剥離領域Saから次期剥離領域Sbに向かって剥離する剥離板18とを備えてシート貼付装置10が構成されている。切断手段15は、ダイカットローラ36と、プラテンローラ37と、これらローラ36、37の間隔を調整可能な調整手段38とを備え、切込CU形成中に前記間隔を調整手段38が調整することで、初期剥離領域(繰出方向先端部)Saに対応する初期切込CU1の深さが次期剥離領域(内側領域)Sbに対応する次期切込CU2の深さに比べて深い切込を形成する。 (もっと読む)


【課題】 ポッド最上段の予備位置にウエハを収容した場合であっても好適なウエハマッピングを可能なロードポート装置を提供する。
【解決手段】 センサを支持するマッピングフレームを、ポッド内のウエハの重ね合わせ方向に沿った第一の方向に駆動する第一の駆動手段と、センサがマッピングを行い始める側で鋭角を形成するように第一の方向と交錯する第二の方向に駆動する第二の駆動手段とにより駆動することとする。 (もっと読む)


【課題】基板裏面の反射率に関わらず、基板の有無を確実に検出することができる熱処理方法および熱処理装置を提供する。
【解決手段】フラッシュ加熱後に支持ピン70に支持された半導体ウェハーから放射された放射光は、支持ピン70の先端70aから入射して基端70bに向けて導かれる。その放射光は光ケーブル16を介して受光部12によって受光されて電気信号に変換されてからアンプ13によって増幅され、さらに積分回路14を通って高周波ノイズが除去された後、コンパレータ15に送信される。コンパレータ15は、その電気信号の電圧と予め定められた閾値との比較を行うことにより支持ピン70上の半導体ウェハーの有無を検出する。半導体ウェハーからの放射光を用いて検出処理を行っているため、ウェハー裏面の反射率に関わらず、半導体ウェハーの有無を確実に検出することができる。 (もっと読む)


【課題】経年変化に伴ってレーザー測長系のレーザー光源の出力特性が変化しても、移動ステージの位置を精度良く検出して、基板の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】移動ステージに複数の反射手段34a,34b,35を取り付け、複数のレーザー干渉計32a,32b,33により、レーザー光源31a,31bからのレーザー光と各反射手段34a,34b,35により反射されたレーザー光との干渉を複数箇所で測定する。各レーザー干渉計32a,32b,33の測定結果から、移動ステージの位置を検出し、検出結果に基づき、移動ステージによりチャック10a,10bを移動して、基板1の位置決めを行う。各レーザー干渉計32a,32b,33が受光したレーザー光の強度の変化を検出し、検出したレーザー光の強度の変化を補う様に、レーザー光源31a,31bへ供給する駆動電流を制御する。 (もっと読む)


【課題】安価な構成で、チャックのθ方向の傾きを精度良く検出して、基板のθ方向の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】第1のステージに搭載されY方向(又はX方向)へ移動する第2のステージに第2の反射手段(35)を取り付け、第2の反射手段(35)のθ方向の位置ずれを検出する。チャック(10a,10b)に複数の光学式変位計(41)を設け、複数の光学式変位計(41)により、第2のステージに取り付けた第2の反射手段(35)までの距離を複数箇所で測定する。第2の反射手段のθ方向の位置ずれの検出結果に基づき、複数の光学式変位計(41)の測定結果から、チャック(10a,10b)のθ方向の傾きを検出し、検出結果に基づき、第3のステージによりチャック(10a,10b)をθ方向へ回転して、基板(1)のθ方向の位置決めを行う。 (もっと読む)


【課題】 基板処理装置が備えるそれぞれの系への電力の供給を個別に制御することで、電力の消費量を低減する。
【解決手段】 処理室内に搬入された基板を処理する処理系と、処理室内に搬入された基板の処理位置を調整する処理室内搬送系と、少なくとも処理系及び処理室内搬送系に電力を供給する主電源と、処理系への電力供給路上に設けられた第1の開閉器と、処理室内搬送系への電力供給路上に設けられた第2の開閉器と、を備える。 (もっと読む)


【課題】基板を露光する途中での、基板の取り外しを前提とする基板保持部材の採用を可能にする位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 基板P上に複数の区画領域(SA1、SA2等)を形成するに当たり、基板P上に区画領域を形成する度毎に、基板Pを該基板Pの面に平行な面内でステップ移動し、該ステップ移動の前後で、基板Pの同一の検出対象部(例えばエッジ)の位置情報を例えば複数のセンサ122X、122X、122Yを用いて検出し、その検出結果に基づいて、区画領域の形成の際に、基板Pを露光領域IAに対して位置合わせする。 (もっと読む)


【課題】基板のロットに対応する処理液の種別ごとに用意された複数のノズルを含む液処理部を備えた液処理装置において、液処理部に発生したトラブルに対して処理効率の低下を抑えることができる技術を提供すること。
【解決手段】一のロットのウエハWの液処理に用いる薬液ノズル25aにおいてトラブルが発生した場合に、その一のロットに対応する薬液ノズル25aの使用を停止し、当該薬液ノズル25aとは別の薬液ノズル25bを用いて処理を行う次のロットについては処理を行うこととする。薬液ノズルにおけるトラブル発生の判断については、処理した各ウエハWの液処理状態を順次検査してその良否を判定し、同一の薬液ノズルを用いて異なる液処理部COT1〜COT3にて処理されたウエハWにおいて、例えば3回連続で不良判定となった場合に、薬液ノズルにおけるトラブル発生と判断する。 (もっと読む)


【課題】露光装置内への基板の搬入を効率よく行う。
【解決手段】 液晶露光装置内に基板Pを搬入する方法は、露光領域内で基板Pを保持可能な基板ステージ20に対して基板Pを搬送する基板搬入装置80aが有するフォークハンド83を上記露光領域外(ポート部60の上方の領域)に位置させることと、外部搬入ロボット90bが有するロードハンド91bに下方から支持された基板Pをフォークハンド83の上方に位置させることと、ロードハンド91bに下方から支持された基板Pをロードハンド91b上からフォークハンド83上に載せ替えることと、を含む。 (もっと読む)


【課題】基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供する。
【解決手段】動作データ生成部21bは、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報2Dに基づいて、基板支持具の検出動作データ4Dを生成する。抽出部21aは、基板処理装置に係るCADデータ1Dから基板支持具の形状データ5Dと設計動作データ6Dとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ5D及び設計動作データ6D並びに生成した基板支持具の検出動作データ4Dに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成部21eを備えている。 (もっと読む)


【課題】露光装置の構造部材の振動を抑制する。
【解決手段】 露光装置は、構造部材と、基板ステージの駆動に起因して発生する構造部材に対する駆動反力を相殺する第1カウンタマスステージと、レチクルステージの駆動に起因して発生する構造部材に対する駆動反力を相殺する第2カウンタマスステージと、構造部材と第1カウンタマスステージとの間に力を発生させる第1カウンタマス駆動部と、構造部材と第2カウンタマスステージとの間に力を発生させる第2カウンタマス駆動部と、制御部とを備える。制御部は、構造部材に作用する力の情報を取得し、第1カウンタマス駆動部により構造部材と第1カウンタマスステージとの間に力を発生させると同時に、第2カウンタマス駆動部により構造部材と第2カウンタマスステージとの間に力を発生させることによって構造部材に作用する力を相殺するように第1カウンタマス駆動部及び第2カウンタマス駆動部を制御する。 (もっと読む)


【課題】真空において熱をともなう処理を行う基板処理装置において、基板を高速で搬送しても基板の位置精度を高くすることができること。
【解決手段】熱をともなう真空処理が行われる真空処理ユニットに対して基板の搬入および搬出を行う基板搬送装置は、基板を位置決めする位置決めピンを有し、基板を位置決めした状態で保持するピックと、ピックにより真空処理ユニットに対して基板を搬入および搬出するようにピックを駆動させる駆動部と、ピックによる基板の搬送動作を制御する搬送制御部とを有し、搬送制御部は、基板を真空処理ユニットに搬入する際の、常温における基板の基準位置情報を予め把握しておき、実処理において、基板を真空処理ユニットに搬入する際に、その基板の基準位置からの位置ずれを算出し、位置ずれを補正して基板を真空処理ユニットに搬入するように駆動部を制御する。 (もっと読む)


【課題】走行中の基板を基板停止位置で停止させる時間を短くすることができ、タクトタイムが無駄に長くなるのを抑えることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板を搬送する搬送部と、前記搬送部を駆動させることにより、基板を加速、定速、減速走行させるとともに、基板を特定の割合で減速させる設定減速度が設定可能な搬送駆動部と、前記搬送駆動部を制御する駆動制御部と、を備える基板搬送装置であって、前記搬送部には、走行中の基板の位置を検知する位置センサーと、走行中の基板を停止させる基板停止位置が設定されており、前記駆動制御部は、前記基板停止位置と設定減速度とから減速開始遅延時間を演算し、前記位置センサーにより定速走行中の基板が検知された後、減速開始遅延時間だけ基板を定速で走行させ、減速開始遅延時間経過後、減速を開始させる。 (もっと読む)


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