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Fターム[5F031JA38]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 検出 (10,411) | 検出する情報 (3,081) | 形状の情報 (1,435) | 特徴的なパターン (541) | 位置合わせマーク (431)

Fターム[5F031JA38]に分類される特許

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【課題】2つのウエハを高精度で位置合わせする。
【解決手段】 基板貼り合わせ装置100において、第1及び第2テーブルT1,T2がそれぞれ保持するウエハW1,W2を張り合わせるために第1及び第2テーブルT1,T2を互いに接触した際に、X干渉計40X(第1計測器)が設置された第2テーブルT2(ステージ装置30)が示す共振モードに対して逆相の共振モードを示す第1テーブルT1(第1テーブル装置20)にX干渉計45X(第2計測器)が設置されている。これらの計測器を用いて1入力2出力系(SIMO系)のフィードバック制御系を構築することにより、第1及び第2テーブルT1,T2間の接触状態に拠らず、制御系を切り換えることなく、高帯域でロバストな第2テーブルT2(ステージ装置30)の駆動を制御する駆動システムを設計することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】ウエハの円周位置を簡易且つ確実に精度良く検出し、ウエハカット部品の位置を高精度に認識することができる部品供給装置および部品位置認識方法を提供すること。
【解決手段】部品供給装置20は、部品突上げ装置70の第2移動装置71に装着されたウエハ照明装置80で部品供給位置Aに搬送されたウエハUに対し下方から光を広角に照射し、部品装着装置30の第1移動装置31に取付けられたカメラ39でウエハUの円周の一部を撮像する。このため、画像にはウエハUの表面に形成された回路等は写り込まず、ウエハUは影として写ることになる。これにより、ウエハUの円周位置を簡易且つ確実に精度良く検出し、ウエハカット部品Pの位置を高精度に認識することができる。よって、従来の光センサは不要となり、部品供給装置20の低コスト化および小型化を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】移動方向に直交する方向に複数個の露光対象領域が設けられた露光対象基材を一方向に連続的に供給して露光する露光装置において、露光対象基材がその移動方向に直交する方向に伸縮した場合に、マスクの位置を精度よく補正できる露光装置を提供する。
【解決手段】フィルム2には、その移動方向に直交する方向に複数の露光対象領域4が設けられている。光源から出射された露光光は、フィルム移動方向に直交する方向に複数枚配列されたマスク3のパターンを介してフィルムに照射される。フィルム2の露光対象領域間及び両端部には、伸縮確認用マーク2cが設けられており、この伸縮確認用マーク2cをマスクアライメントマークと共にカメラ51により観察し、制御部7は、伸縮確認用マーク2cがフィルム移動方向に直交する方向にずれたときに、駆動部6により、このずれに応じてマスク3の位置を補正する。 (もっと読む)


【課題】露光装置の経時変化等の原因により、露光時におけるマスク位置が露光対象基材の移動方向に直交する方向にずれたときに、マスク位置を精度よく補正することができる露光装置を提供する。
【解決手段】光源とマスク3との間に介在するように基準板4が配置されており、基準板4には、各マスク3毎に、マスク3が配置されるべき位置の基準を示す第1基準マーク41が設けられている。カメラ51により第1基準マーク41及びマスクアライメントマーク(スリット32)を検出し、制御部7は、検出された両者間の距離aに基づいて、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク3のずれを検出し、駆動部6によりマスク3の位置を補正する。 (もっと読む)


【課題】表示基板が大型化しても表示基板の位置決めの精度が低下することのないパネルアライメント装置及びFPDモジュール組立装置を提供する。
【解決手段】パネルアライメント装置80は、表示基板の下面を保持する基板保持部82と、基板保持部82を水平方向に移動及び回動させる移動機構83を備える。移動機構83は、基板保持部82により保持した表示基板101の処理が施される端部側の下方に配置されている。移動機構83は、従動回転軸94A及び従動直線軸94Bからなり基板保持部82を支持する従動軸部94と、従動軸部94を直線移動させる駆動直線軸93とを有する3つの支持デバイス91A,91B,92から構成されている。そして、2つの支持デバイス91A,92の駆動直線軸93は、互いに交差する方向に延びている。 (もっと読む)


【課題】既にボンディングしたダイに対してダイを180度回転させて積層しても、製品品質の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供する。
【解決手段】ピックアップヘッド21でウェハからダイDをピックアップしアライメントステージ31に前記ダイDを載置し、ボンディングヘッド41で前記アライメントステージ31から前記ダイDをピックアップし基板又は既にボンディングされたダイD上にボンディングするダイボンダ又はボンディング方法において、前記ボンディングヘッド41が前記アライメントステージ31から前記ダイDをピックアップする前に前記ダイDの姿勢を前記ボンディングする面に平行な面で所定角度で回転させる。 (もっと読む)


【課題】安価な構成で、チャックのθ方向の傾きを精度良く検出して、基板のθ方向の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】第1のステージに搭載されY方向(又はX方向)へ移動する第2のステージに第2の反射手段(35)を取り付け、第2の反射手段(35)のθ方向の位置ずれを検出する。チャック(10a,10b)に複数の光学式変位計(41)を設け、複数の光学式変位計(41)により、第2のステージに取り付けた第2の反射手段(35)までの距離を複数箇所で測定する。第2の反射手段のθ方向の位置ずれの検出結果に基づき、複数の光学式変位計(41)の測定結果から、チャック(10a,10b)のθ方向の傾きを検出し、検出結果に基づき、第3のステージによりチャック(10a,10b)をθ方向へ回転して、基板(1)のθ方向の位置決めを行う。 (もっと読む)


【課題】基板を露光する途中での、基板の取り外しを前提とする基板保持部材の採用を可能にする位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 基板P上に複数の区画領域(SA1、SA2等)を形成するに当たり、基板P上に区画領域を形成する度毎に、基板Pを該基板Pの面に平行な面内でステップ移動し、該ステップ移動の前後で、基板Pの同一の検出対象部(例えばエッジ)の位置情報を例えば複数のセンサ122X、122X、122Yを用いて検出し、その検出結果に基づいて、区画領域の形成の際に、基板Pを露光領域IAに対して位置合わせする。 (もっと読む)


【課題】静電チャックに基板をより確実に保持させること。
【解決手段】ジグ41は、第1基板51に固定される。静電チャック14は、静電力によりジグ41を保持することにより、第1基板51を保持する。接合機構15は、ジグ41が静電チャック14に保持されているときに第1基板51を第2基板31に接触させることにより、第1基板51を第2基板31に接合する。このような常温接合装置は、第1基板51が静電チャック14に直接に保持されにくい場合でも、ジグ41が静電チャック14に直接に保持されるように作製されているときに、静電チャック14に第1基板51をより確実に保持させることができ、第2基板31に第1基板51をより適切に接合することができる。 (もっと読む)


【課題】部材の位置合わせに係る工程数を減少させ、位置合わせに要する時間を短縮し、半導体製造装置の生産性を向上させる。
【解決手段】基板保持部材1は、半導体基板11を保持する保持面を備えたベース2と少なくとも1つの開口部を有していて保持面と対向するようにベース2上に支持されたマスク9とを備えている。さらに、基板保持部材1は、保持面とマスク9との間に、半導体基板11が挿通される基板挿通部14を備えている。 (もっと読む)


【課題】歪みの発生を抑えつつ基板を搬送すること。
【解決手段】帯状のシート基板FBを搬送する搬送装置30であって、シート基板FBを案内する表面を有し、表面とシート基板FBとの間に液状媒体LQを介してシート基板FBを案内するローラー部材Rを備える。ローラー部材Rは、外周面Ra上のうち支持領域Rbで基板FBの裏面を支持した状態で、基板FBを案内する。この場合、基板FBとローラー部材Rの外周面Raとの間に液状媒体LQが介在しているため、液状媒体LQの表面が基板FBを案内する案内面となる。基板FBが液状媒体LQを介して案内されるため、基板FBとローラー部材Rとの間における摩擦力の発生が抑制される。 (もっと読む)


【課題】精度よく位置決めされた積層基板を製造する基板貼り合わせ装置。
【解決手段】基板貼り合わせ装置であって、複数の基板を互いに位置決めする位置決め部と、位置決め部により位置決めされた複数の基板を接合する複数の接合部と、位置決め部により位置決めされた複数の基板を複数の接合部に搬送する搬送部と、複数の接合部のうち位置決め部により位置決めされる複数の基板が搬送される接合部を特定する特定部とを備え、位置決め部は、特定部により特定された接合部における接合過程で基板間に生じる位置ずれ量に対応して位置決めする。 (もっと読む)


【課題】従来のステージ装置では、処理効率を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークWを支持するワークテーブル25と、ワークテーブル25の移動を案内する第1ガイド部81と、第1ガイド部81につなぎ合わされており、ワークテーブル25の移動経路を延長する第2ガイド部82と、第1ガイド部81と第2ガイド部82との継ぎ目77よりも第1ガイド部81側に設けられ、ワークテーブル25が継ぎ目77よりも第1ガイド部81側に位置している状態で、ワークWのワークテーブル25に対する位置精度を検出する第1検出装置14と、継ぎ目77よりも第2ガイド部82側に設けられ、ワークテーブル25が継ぎ目77よりも第2ガイド部82側に位置している状態で、ワークWのワークテーブル25に対する位置精度を検出する第2検出装置15と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 (もっと読む)


【課題】物体の位置の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】第1ヘッド112a、112c又は第2ヘッド113aで第1物体に対する第2物体の相対的な位置を測定する第1測定部110と、第1物体に対する第2物体の相対的な位置を求める処理を行う処理部と、を有し、処理部は、第1ヘッド112a、112c及び第2ヘッド113aのうち一方のヘッドで以前に検出された回折格子111a、111b上の位置を他方のヘッドの視野の中心に位置決めした状態で一方のヘッドで以前に検出された回折格子上の位置とは別の位置を一方のヘッドで検出する処理を、一方のヘッドが回折格子の全面を検出するまで繰り返して回折格子の変形量を求める第1処理と、回折格子の変形量に基づいて、第1ヘッド112a、112c又は第2ヘッド113aで測定された第1物体に対する第2物体の相対的な位置を補正する第2処理と、を行う。 (もっと読む)


【課題】マスクをプリアライメントする際に、マスクとマスクが接する面との間の摩擦によってマスクが損傷するのを防止することが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】基板Wに対してマスクMを介して露光用光ELを照射し、基板WにマスクMのパターンPを露光する近接スキャン露光装置1は、マスクチェンジャー120のマスクトレー部121は、マスクMの下面にエアを供給して、マスクMを浮上させるエア供給機構125と、浮上したマスクMの端面と当接して、マスクMを位置決めするマスク用位置決めピン196と、浮上したマスクMの端面をマスク用位置決めピン196に向けて押圧する押圧機構198と、を有する。 (もっと読む)


【課題】吸着ノズルで吸着するダイの位置を判定するダイ位置判定システムにおいて、生産能率向上とダイの歩留まり向上とを両立させる。
【解決手段】ウエハパレット22の上面の2箇所に基準位置マーク41を設けると共に、予め、基準位置マーク41の位置を基準とするウエハパレット22の座標系で作成されたダイ配列位置情報を記憶手段に記憶しておく。ダイピックアップ装置の所定位置にセットされたウエハパレット22上の2つの基準位置マーク41をカメラで撮像して、その撮像画像を処理してダイピックアップ装置の機械座標系における2つの基準位置マーク41の位置を認識して、ダイピックアップ装置の機械座標系に対するウエハパレット22の座標系の位置ずれ量を演算し、その位置ずれ量で前記ダイ配列位置情報を補正することでダイピックアップ装置の機械座標系における各ダイ21の配列位置を求める。 (もっと読む)


【課題】ウエハの冷却による反りを検出し、ウエハの落下または破損を未然に防ぐことができるロードロックモジュール、該ロードロックモジュールを備えるウエハ加工処理システム、該ウエハ加工処理システムで行われるウエハの加工処理方法を提供する。
【解決手段】ウエハ10を冷却する冷却部12を備えるロードロックモジュール1において、前記冷却部12の冷却によって前記ウエハ10に生じる反りを検出する検出部を備えることを特徴とするロードロックモジュール1を提供する。 (もっと読む)


【課題】サセプタの交換の際にサセプタの位置ずれの問題が生じない気相成長装置を得る。
【解決手段】本発明に係る気相成長装置は、サセプタ3が着脱可能に設置されて気相成長を行う反応炉5と、サセプタ3を搬送する搬送ロボット7と、搬送ロボット7及び反応炉5が収容されるグローボックス9と、グローボックス9内に設置されてサセプタ3の交換時にサセプタ3を一時的に載置する交換テーブル11と、グローボックス9の側壁に設けられてサセプタ3の交換を行う交換ボックス13とを備えた気相成長装置1であって、交換テーブル11は、サセプタ3が載置されると回転して所定の回転位置で停止することでサセプタ3の回転方向の位置を決める位置決め装置15を備えてなることを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】簡便な構造かつ制御によって貼付位置精度を向上させることができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】剥離手段4に設けた基準標識SPと接着シートSに設けた個別標識BMとに基づいて、剥離手段4に対する繰り出された接着シートSの相対位置および相対回転角を検出するとともに、これらに基づいて接着シートSの繰出位置(仮想中心点DCの位置)を算出し、この繰出位置に中心W1が合致するようにウェハWを支持手段2に受け渡すことで、接着シートSとウェハWとの位置ずれを防止することができ、貼付位置精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光が射出される射出面を有する光学部材と、基板を保持する第1保持部15と、第1保持部15の周囲の少なくとも一部に配置され、射出面が対向可能なスケール部材Tと、を有し、所定面内を移動可能な基板ステージ2Pと、所定面内を移動するスケール部材Tの表面が対向可能な位置に配置され、スケール部材Tの表面の異物を除去可能な除去部材を有する除去装置と、を備える。 (もっと読む)


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