Fターム[5F031LA00]の内容
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Fターム[5F031LA00]に分類される特許
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載置台構造、ロードロック装置及び処理装置
【課題】1つのピックを前進及び後退させることで未処理の被処理体と処理済みの被処理体とを入れ替えすることが可能な載置台構造を提供する。
【解決手段】被処理体Wを収容することができる容器46内に設けられて、搬入される被処理体を載置するための載置台構造において、載置台58と、ベース台64と、ベース台を昇降させる昇降手段72と、ベース台に設けられ、その上端部で被処理体を支持する複数の第1のピン部66と、載置台の外周側に位置されると共に外側へ屈伸復帰可能にベース台に起立させて設けられ、第1のピン部よりも長く設定されると共にその上端部で載置台上の被処理体とは異なる被処理体を支持する複数の第2ピン部68と、ベース台の上昇時に第2ピン部を一時的に外側へ展開させる展開機構69とを備える。これにより1つのピックを前進及び後退させることで未処理の被処理体と処理済みの被処理体とを入れ替える。
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