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Fターム[5F031LA14]の内容

Fターム[5F031LA14]に分類される特許

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【課題】組み立て時の調整時間を短縮できる基板搬送装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】駆動部と、基板に当接することで搬送力を付与する搬送用コロを有する第1シャフトと、駆動部による駆動力を第1シャフトに伝達する第2シャフトと、第1シャフトを着脱可能に支持する支持部材と、第2シャフトに対して第1シャフトを着脱可能に連結する連結部材と、を備えた基板搬送装置に関する。連結部材は、第1シャフト及び第2シャフトにおける径方向に対する位置ズレを許容可能に構成される。 (もっと読む)


【課題】成膜処理の生産性の向上を図ることができ、且つキャリアの洗浄回数を減らすことができる等のキャリアの管理コストの低減に寄与する真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置は、ロードロックチャンバLLとプロセスチャンバPCの間で移送されるキャリア7と、プロセスチャンバPC内に移送されたキャリア7から基板7を受け取るフック19を備えており、基板5への真空処理はキャリア7がロードロックチャンバLLに退避した後に行われる。 (もっと読む)


【課題】簡単な機構で、ラックギヤとピニオンギヤとを円滑に噛み合わせることができる搬送装置、及びこれを備えた真空処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置は、基板3を搭載して搬送軌道9上を移動するキャリア20に設けられたラックギヤ7と、ラックギヤ7に噛合する複数のピニオンギヤ5a,5bとを備え、ラックギヤ7は、ピニオンギヤ5aがラックギヤ7の一端で歯合するときに、ピニオンギヤ5bと歯合する箇所のラックギヤ7が高くなるように形成されている。 (もっと読む)


【課題】突発故障が発生しても、生産性の高い成膜を行うことのできる薄膜製造装置及び薄膜製造方法、並びに薄膜製造装置のメンテナンス方法を提供することである。
【解決手段】成膜室を有し当該成膜室内で基体に薄膜を成膜する成膜チャンバーの集合である成膜チャンバー群42と、基体を搬送可能な移動チャンバー6と、基体を仮置き可能な基体仮置き装置を3基以上有し、前記移動装置はいずれの成膜チャンバーに対しても基体の受け渡しが可能であり、且つ前記移動装置は前記3基以上の基体仮置き装置に対して基体の受け取りまたは払い出しの少なくともいずれかが可能である薄膜製造装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供する。
【解決手段】動作データ生成部21bは、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報2Dに基づいて、基板支持具の検出動作データ4Dを生成する。抽出部21aは、基板処理装置に係るCADデータ1Dから基板支持具の形状データ5Dと設計動作データ6Dとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ5D及び設計動作データ6D並びに生成した基板支持具の検出動作データ4Dに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成部21eを備えている。 (もっと読む)


【課題】駆動アーム部材に関節部を介して従動アーム部材32,32を連結して成る屈伸自在な一対のアームと、基板を支持するハンド4とを備え、両アームの従動アーム部材の先端に夫々ギヤ5,5が固定され、両ギヤを互いに噛合させた状態でハンドに軸支した基板搬送ロボットにおいて、ギヤの摩耗を生じてもバックラッシュを適正範囲に簡単に調整できるようにする。
【解決手段】各ギヤ5,5をハンド4に軸支する各支軸6,6を、該各支軸6,6に対し偏心した偏心部6aを介してハンド4に回動調整自在に連結する。また、偏心部6aの外端面に、偏心部6aの回動角を視認するためのマーク6bを付す。 (もっと読む)


【課題】チャンバ内に配置された動力源から有効に放熱をすることが可能な回転駆動装置を提供すること
【解決手段】本発明の回転駆動装置は、隔壁と、駆動ユニットと、支持体とを具備する。隔壁は、搬送機構が収容されるチャンバに固定され、チャンバに導通する真空室を画成する。駆動ユニットは、真空室に収容され、搬送機構を駆動する。支持体は、上記真空室の外部に臨む放熱面を有し、上記隔壁に固定され上記駆動ユニットを支持する。
この構成により、真空室に収容された駆動ユニットにおいて発生する熱は、支持体に伝導し、放熱面から大気中に放熱される。このため、駆動ユニットにおいて発生する熱を有効に放熱させることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】複数の回転軸が同軸上に配置される場合であっても回転伝達特性を同一とすることが可能な回転伝達装置を提供すること
【解決手段】本発明の回転伝達装置2は、第1の回転伝達機構と、第2の回転伝達機構とを具備する。
第1の回転伝達機構は、第1のハウジング32と、第1の駆動源31によって回転駆動される第1の駆動軸33と、第1の従動軸36と、第1の駆動軸33の回転を第1の従動軸36に伝達する第1の伝達部34、35とを有する。
第2の回転伝達機構は、第2のハウジング42と、第2の駆動源41によって回転駆動される第2の駆動軸43と、第1の従動軸36と同軸である第2の従動軸46と、第1の伝達部34、35と同一の構造を有し第2の駆動軸43の回転を第2の従動軸46に伝達する第2の伝達部44、45とを有する。 (もっと読む)


【課題】転動部材が隣接する転動部材に乗り上がってしまうことを防止することができる自公転機構を備えた気相成長装置を提供する。
【解決手段】加熱手段によって加熱されるとともに駆動手段によって回転するサセプタ11に、該サセプタの周方向に複数の基板保持部材21を転動部材(ボール22,23)を介して回転可能に設け、前記サセプタの回転に伴って前記基板保持部材を回転させ、該基板保持部材に保持された基板12をサセプタの回転軸に対して公転させながら自転させる自公転構造を備えた気相成長装置において、前記転動部材として、径が異なる転動部材(大径ボール22及び小径ボール23)を交互に配置する。 (もっと読む)


【課題】搬送する基板の大きさに応じて基板保持機構の大きさを調整し得る基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板搬送装置100は、処理台A上の基板Bを搬送する基板搬送装置であって、処理台Aから基板Bを持上げる第1基板持上げ機構110と、基板Bの大きさに合わせて開閉し、持上げた基板Bを保持する基板保持機構120とを備える。さらに処理台Aは、第1固定台A1と第2固定台A2とを含み、基板保持機構120は、第1固定台A1と第2固定台A2との間を移動し、第1基板持上げ機構110と基板保持機構120との協働により、基板Bを第1固定台A1から第2固定台A2に搬送する。 (もっと読む)


【課題】基板をトレイに移載するトレイ搬送ユニットから搬送部へトレイを移送するときに、基板の移載および搬送部への搬送が、スムーズに行われることが可能な基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、制御手段により各ポジションに回動させる。 (もっと読む)


【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる基板搬送中継装置を提供する。
【解決手段】基板搬送中継装置25は、移送ロボットと搬送ロボットとの間で基板6を受渡す際にそれを中継する装置である。基板搬送中継装置25は2つの支持体28,29を備え、各々の支持体28,29が2つの支持部38,39,43,44を有している。これら支持部38,39,43,44は、上昇することで前記搬送ロボットのハンドと基板を受渡しできるように構成されている。また、基板搬送中継装置25は、2つの支持体28,29を夫々昇降させる第1昇降機構32及び第2昇降機構34を備えている。第2昇降機構34は、第1昇降機構32が第1支持体28を上方に移動させる場合には第2支持手段29を下方に移動させ、第1昇降機構32が第1支持体28を下方に移動させる場合には第2支持体29を上方に移動させるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット50は、第1及び第2ハンド52,53を備えている。第1及び第2ハンド52,53は、基板6を夫々保持する2つのブレード56を有している。また、搬送ロボット50は、回動ユニット、第1進退ユニット、第2進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら4つのユニットにより第1及び第2ハンド52,53を基板6が載置されている基板搬送中継装置25及び4つのプロセスチャンバ23に夫々移動させることができるようになっている。 (もっと読む)


【課題】スループットの向上及び低コスト化を図ることができるロードチャンバを提供する。
【解決手段】サブチャンバ42を有するロードチャンバLL1は、サブチャンバ42内を上下方向に移動し、基板カセット5Lが載置される基板カセットベース47が上昇位置にあるときには基板カセットベース47を隔壁としてサブチャンバ42内の上部に気密な空間を形成でき、基板カセットベース47が下降位置にあるときには基板カセット5Lから搬送装置に基板を移載できる。サブチャンバ42内に補充された基板を搬送装置側に排出するためのGVを必要としないため部品点数を削減できるとともに、基板カセット5Lへの基板13の補充のときに排気とベントが必要な空間が限定されるためスループットを向上できる。 (もっと読む)


【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することにある。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも2つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、前記ピニオンギヤをそれぞれ独立に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも2つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、各処理室を仕切るゲートバルブを挟んだ2つのピニオンギヤを同時に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】昇降駆動手段において必要となる昇降駆動力を低減することができる搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第1軸線周りに回転可能に構成された第1リンク部材と、第1軸線に対して所定距離に位置する第2軸線周りに回転可能に構成された第2リンク部材と、第2軸線に対して所定距離に位置する第3軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第1リンク部材、第2リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第1リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。 (もっと読む)


【課題】基板のセット時や搬送時の衝撃により被処理基板の被処理面に傷や割れが発生することを抑制できる基板ホルダー及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】被処理基板を支持するホルダー本体が、被処理基板Sの被処理面を露出させる第1開口212を有し、被処理基板Sの被処理面側の外周部に当接するマスク部材21と、第1開口よりも広い第2開口113を有し、マスク部材の外周部に当接して被処理基板の被処理面を第1開口を介して第2開口から露出させた状態でマスク部材を支持して被処理基板を支持する支持部材11と、支持部材とマスク部材とが当接する領域に設けられた衝撃吸収性を有する緩衝材12とを備える。基板搬送装置はこれを有する。 (もっと読む)


【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ON・OFF状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口C3を有するエンドエフェクタCによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Xとして、アーム1の内部に設けたエア管4を介して吸着用エア供給口C3に接続され、吸着用エア供給口C3に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口C3への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット3を備え、この吸着切替ユニット3を、アーム1のうちアーム長1Lの半分1Cよりもシータ軸J3に近い位置に設けた。 (もっと読む)


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