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Fターム[5F031LA16]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 動作機構等 (3,476) | 動力伝達機構 (1,599) | リンク、パンタグラフ機構 (84)

Fターム[5F031LA16]に分類される特許

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【課題】作業効率の高い姿勢変換(方向変換)を行うことができる姿勢変換装置、および姿勢変換装置を適用した梱包方法を提供する。
【解決手段】姿勢変換装置1は、太陽電池モジュール30を水平方向に載置させる載置台10と、載置台10の裏面に配置され載置台10を支持する支持台15と、載置台10と支持台15とを連結し、支持台15に対して載置台10を水平方向から垂直方向へ回転させる回転機構部16とを備える。回転機構部16は、水平方向に回転中心を有する回転軸17と、支持台15に形成されて回転軸17を支持する第1軸受け18と、載置台10の裏面(載置面11の反対側の面)に形成されて回転軸17を支持する第2軸受け19とを備える。 (もっと読む)


【課題】ロボットの最小旋回径を小さくすること。
【解決手段】実施形態に係るロボットは、第1アーム部、第2アーム部、中間リンク部、第1リンク部および第2リンク部を備える。第1リンク部は、第1アーム部と中間リンク部と固定ベース部との間で第1平行リンク機構を形成する。第2リンク部は、第2アーム部と中間リンク部と可動ベース部との間で第2平行リンク機構を形成する。そして、第2リンク部と中間リンク部との連結軸から第1アーム部と第2アーム部との連結軸までの距離は、第2リンク部と中間リンク部との連結軸から第1アーム部と第2アーム部との連結軸までの距離よりも短い。 (もっと読む)


【課題】搬送ロボット等により吸着された反りのあるウェーハでも破損させることなく収納する。
【解決手段】ウェーハ収納カセット10であって、ウェーハWの周縁部W1を厚さ方向両側から押圧可能なウェーハ固定板11とウェーハ固定板をウェーハ厚さとなる方向に略平行状態に移動可能とする位置規制手段とからなり、ウェーハ固定板には収納するウェーハ口径に対応してウェーハ周縁部以外にウェーハ固定板が当接しないように開口部11cが設けられ、位置規制手段は、複数のウェーハ固定板に設けた貫通孔11a,11bを貫く位置規制棒15,16と、隣接するウェーハ固定板にそれぞれ両端が回動可能に接続されたリンク棒12,13とを有し、ウェーハの搬出入時にはウェーハの両側のウェーハ固定板の間隔を広げ、ウェーハの収納時にはウェーハ固定板でウェーハを押圧してウェーハの反り変形を矯正する。 (もっと読む)


【課題】複数の回転軸が同軸上に配置される場合であっても回転伝達特性を同一とすることが可能な回転伝達装置を提供すること
【解決手段】本発明の回転伝達装置2は、第1の回転伝達機構と、第2の回転伝達機構とを具備する。
第1の回転伝達機構は、第1のハウジング32と、第1の駆動源31によって回転駆動される第1の駆動軸33と、第1の従動軸36と、第1の駆動軸33の回転を第1の従動軸36に伝達する第1の伝達部34、35とを有する。
第2の回転伝達機構は、第2のハウジング42と、第2の駆動源41によって回転駆動される第2の駆動軸43と、第1の従動軸36と同軸である第2の従動軸46と、第1の伝達部34、35と同一の構造を有し第2の駆動軸43の回転を第2の従動軸46に伝達する第2の伝達部44、45とを有する。 (もっと読む)


【課題】基板テーブルの移動を駆動するより効率的な方法を提供する。
【解決手段】キャリアと、直交軸X及びYを基準にして画定された平面でキャリアを投影システムに対して移動させる駆動システムとを備え、駆動システムは、Y軸に平行に移動するように構築され、配置されたシャトルと、シャトルをキャリアに接続するシャトルコネクタであって、シャトルに対してX軸に平行な方向にキャリアを移動させることができるようなシャトルコネクタと、Y軸に平行なシャトルの移動を駆動するシャトルドライバとを備え、シャトルはX軸に平行な方向のキャリアの片側だけに位置し、シャトルの1つだけがキャリアに接続され、シャトルドライバ及びシャトルコネクタは、駆動システムによってキャリアに加えられる力のY成分の少なくとも10%を供給するように構成される。 (もっと読む)


【課題】保持テーブルの回転によるワークの位置ずれを抑制でき、ワークの位置を精度よく検出できる研削装置を提供すること。
【解決手段】研削装置の検出手段における保持テーブル8aは、上面中央に吸引口8lを有する基台部8gと、基台部8g上に吸引口8lを囲むように配設された環状部材8hと、基台部8g上の環状部材8hの内側に配設された中央部材8iと、を有し、環状部材8hは非通気性と弾性とを有しワークW表面に貼着された保護テープの凹凸を吸収できる厚みであり、中央部材8iは通気性と弾性とを有する構成とした。 (もっと読む)


【課題】単一のセンサを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を正確に求め、ウェーハを正確に搬送する。
【解決手段】ハンドに載置したウェーハ7のセンサ6に対する通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7がセンサ6を通過する距離と、ウェーハの半径とを利用して、ハンドに載置したウェーハ7の位置と正規の載置位置との差異を求める載置位置差異算出手段42と、その差異を旋回軸31a及びアーム2のロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段43と、その補正値を出力する補正値出力手段44とを有する搬送ロボット1とした。 (もっと読む)


【課題】移動体の復元力によるモータ負荷を低減し、特異点を通過することによる振動を解消することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】真空容器2内で直線的に往復移動する移動体と、移動体4へ電力、信号、液体又はガスを供給する配線又は配管を収容する収容部を内部に有する屈伸可能な水平アーム機構とを備え、該水平アーム機構を、略水平方向に回動するように一端部が真空容器2に支持された第1アーム61と、略水平方向に回動するように一端部が第1アーム61の他端部に接続され、他端部が移動体4に接続された第2アーム62で構成し、第1アーム61の一端部及び第2アーム62の他端部は、移動体4の移動範囲の中間点及び移動体4の中心からそれぞれ偏倚しており、第2アーム62は、移動体4が移動方向一端側にある場合、移動方向に対して略平行、移動体4が移動方向他端側にある場合、移動方向に対して略垂直になるように構成する。 (もっと読む)


【課題】FIMSシステムにおいて、ウエハが外部の環境に汚損されることなく、移送を可能とするボックスロードインタフェース
【解決手段】ボックスロードインタフェース16が備える並進機構は、移送ボックス18のボックスドアに取付け可能なポートドアを備え、前記ボックスドアを移送ボックス18に対し、接近、及び離間し移送ボックス18を開閉する。摺動トレー24は移送ボックス18をポートプレート14に対し接近、又は離間するように動かす。クランプ機構は移送ボックス18をクランプする。前記ボックスドアが移送ボックス18から離れて動いた後、昇降機組立体28は並進機構に協働して前記ポートドアを動かす。差動光走査組立体は移送ボックス18内部のウエハ試料の位置を検出する。ロボット組立体は前記ウエハ試料を移送ボックス18内から除去、及び挿入する。直線移動組立体は前記ロボット組立体を支持し、親ねじナット機構を駆動し移動する。 (もっと読む)


【課題】安定した昇降位置精度を確保することができるとともに、時間あたりの搬送作業効率の高い基板搬送作業を実現することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置1においては、第1のアーム10の駆動軸310A及び旋回軸310Bと同軸上に第1のアーム10を昇降させる昇降軸52が配置されている。昇降軸52がとく同軸310A及び旋回軸310Bと同軸上に配置されているため、昇降軸52が搬送装置1の重心またはその近傍に位置する。さらに、同一平面内における第1のアーム10及び第2のアーム20の占有範囲を90度よりも小さい角度範囲に収めることで、時間あたりの搬送作業効率の高い基板搬送作業を実現することができる。 (もっと読む)


【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第1の平行リンクと、第2の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第1の平行リンクは、第1の支点を中心とする第1の回転が可能な第1のレバーと、第2の支点を中心とする第2の回転が可能な第2のレバーとを有する。第2の平行リンクは、第1の支点を中心とする第3の回転が可能な第3のレバーと、第2の支点を中心とする第4の回転が可能な第4のレバーとを有する。伝達機構は、第1の支点を中心として第1の回転と共に回転する第1のギアと、第2の支点を中心として第2の回転と共に回転する第2のギアと、第1のギア及び第2のギアに噛合して回転する第3のギアと、前記第3のギアの回転と第3の回転及び第4の回転とを同期させる連結部とを有し、第1の平行リンクの駆動と第2の平行リンクの駆動とを連動させる。 (もっと読む)


【課題】アーム部自体の温度上昇を抑制して搬送精度を高く維持することが可能な搬送機構を提供する。
【解決手段】処理容器56内で被処理体Wに熱処理を施す処理装置に対して被処理体を搬出入させる搬送機構において、複数のアーム94、96、98を有して屈伸及び旋回が可能になされたアーム部36A、36Bと、アーム部の先端に連結されて被処理体を保持するフォーク部38A、38Bと、アーム部の内で処理容器内に侵入する部分に設けた熱遮蔽板104とを備える。これにより、アーム部自体の温度上昇を抑制して搬送精度を高く維持する。 (もっと読む)


【課題】太陽電池製造システムに対する需要が増え続けるにつれ、直線システムのスループットの利点を得つつ、メインフレーム構成の柔軟性も提供する。
【解決手段】数枚の基板を同時に処理する装置及び方法が提供される。システムは、直線状でありつつ、処理を自律的に順位付けして基板を必要に応じて異なる方向に移動させる新規なアーキテクチャを採用している。システムは、数枚の基板を同時に移動させるが、従来技術とは異なりトレイを使用しない。 (もっと読む)


【課題】スロット状の開口部を有するトランスファーバルブであって、保守および修理時に、プロセスチャンバからトランスファーバルブを取り外すことなく、交換可能であり、バルブ閉鎖部の全長に亘って、均等な接触力および密閉力を生成できるトランスファーバルブを提供する。
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム4、回転軸受およびシャフト11は気密なバルブハウジング14内でバルブカバー20上に配置され、シャフト11、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム4は、バルブカバー20を切り離して移動させることによって、バルブハウジング14から切り離し可能である。バルブハウジング14内で、シャフト軸に沿って、互いに所定距離離れて分散配置され、そしてバルブ閉鎖ビーム4およびシャフト11が取り付けられた少なくとも3つの軸受要素27によって、回転軸受が形成される。 (もっと読む)


【課題】移動体に追従させてケーブルなどを低振動、低発塵で案内する。
【解決手段】ケーブル56は、水平面に沿ってX軸方向に移動するX粗動ステージ23Xに一端が、X粗動ステージ23Xの移動範囲外に配置された固定部材66に他端が接続されている。ケーブル56は、直列に接続された4節のリンク68,70,72,74を含むリンク機構60に沿うように、そのリンク機構60に固定されている。X粗動ステージ23Xが移動すると、リンク機構60の変形に伴って、ケーブル56がZ軸方向に案内され、これにより固定部材66側から見たケーブル56の繰り出し量が調整されるので、ケーブル56と他の部材との摺動が抑制され、同時に振動の発生も抑制される。 (もっと読む)


【課題】ウエット状態で密着した半導体基板同士を破損することなく自動的に、高速で分離することが可能な装置および方法を提供し、分離した半導体基板を破損することなく安全に搬送できる装置および方法を提供する。
【解決手段】ウエット状態で密着配列した複数の基板を液中に配置するローダー部10と、前記ローダー部10の最前列に配置されている基板2を液中で保持して液外のアンローダー部30に搬送する搬送部20と、基板2を液外で載置し取り出し部まで搬送するアンローダー部30とを有し、搬送部30は回転軸21に連結され所定半径の回転円運動を行う駆動部材22と、この駆動部材22に一端側が回動自在に固定されたリンクアーム210と、リンクアーム210の他端側が摺動しその軌道を規定する軌道路201と、リンクアーム210の他端側に固定されているチャック100とを有する構成の半導体基板の分離処理装置とした。 (もっと読む)


【課題】基板に均一性高い加熱処理を行う一方で、高い真空度が得られる真空加熱装置を提供すること。
【解決手段】本発明の真空加熱装置は、気密な処理容器と、この処理容器内に基板を載置するために設けられたアルミニウム合金からなる載置台と、この載置台を支持し、その内部に用力線路部材が大気側から挿入されているステンレス鋼からなる筒状の支持部材と、この支持部材と処理容器との間を気密にするための有機物からなるシール部材と、前記載置台を加熱するための加熱部と、前記処理容器内を真空排気するための真空排気手段と、を備えている。これによって載置台の熱が支持部材を介してシール部材に伝熱し難くなっており、シール部材の昇温が抑えられ、大気側から大気成分がシール部材を通って処理容器内へ侵入することが抑えられる。 (もっと読む)


【課題】収縮したシート材に対しても、高精度な露光を可能にする。
【解決手段】制御装置により、シートSを仮保持したまま6つの補助シートホルダSH,SHが−Z方向に微小駆動され、それらの保持面がシートホルダSHの保持面より僅かに下方(−Z側)に位置決めされ、これにより、シートSに幅方向(Y軸方向)及び長尺方向に関する適当なテンションが加えられ、シートSの中央部がシートホルダSHの保持面上に固定される。すなわち、シートSの区画領域SAにXY二次元方向のテンションが付与された状態で、シートSの区画領域SAに対応する裏面部分が、シートホルダSHの平坦状の保持面に倣わされる。そして、所定領域に長尺方向、幅方向に関するテンションが付与された状態で、シートSの所定領域に対応する裏面部分を平坦状の基準面に倣わせて平坦化する。そして、シートの所定領域にエネルギビームを照射してパターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】ウエハ等の脆弱性を帯びた板状部材を搬送対象とした場合の当該板状部材にストレスを与え難くするとともに、ウエハの割れ原因を効果的に回避可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハWの下面側に位置してこれを支持する支持手段11と、この支持手段11を移動可能に支持する移動手段12とを備えて搬送装置10が構成されている。支持手段11は、第1アーム形成部材24と第2アーム形成部材25とにより一部開放可能な閉ループを形成可能な支持アーム20と、この支持アーム20に設けられた吸引手段21とを含む。第2アーム形成部材25の先端25B側は、接離可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】ウェハのエッジを把持し、センタリングとノッチ等の角度合わせを行うアライナー装置において、回転する部分にケーブルやチューブをなくすことで回転範囲に制限されない無限回転が可能な機構を構成し、タクトタイムの短縮、装置の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】ウェハ(1)を把持する把持機構を開閉動作させるリンク機構が、リンク機構を駆動するリンク機構駆動部に対して、ベアリング(14)を介して支持されるよう構成し、把持機構とリンク機構のみが回転できる構造とした。 (もっと読む)


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