Fターム［5F031MA00］の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理装置 (13,378)
Fターム［5F031MA00］の下位に属するFターム
複数の処理部を集積した装置（モジュール） (1,217)
複数の装置、モジュールを搬送路で結合 (323)
各装置（群）のレイアウト (190)
装置へのウエハ等のローディング部 (643)
工程 (11,004)
Fターム［5F031MA00］に分類される特許
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一つ又はそれ以上の処理流体を用いた、マイクロエレクトロニクス用加工物に使用されるツール用の移動かつ入れ子化できる、コンパクトなダクトシステム
本発明は、加工物及び／又は加工物用支持部材の外側周辺部の近くに入口を持つバッフル部材又はダクト構造を含むようにされた、加工物をプロセス処理するための装置及びそれに係る方法に関する。 
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