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Fターム[5F031MA13]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理装置 (13,378) | 装置へのウエハ等のローディング部 (643) | ローディング部の搬送系 (401)

Fターム[5F031MA13]に分類される特許

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【課題】処理装置側の処理速度が速くなった場合でも対応することが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る高速マルチローダーを提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、ガラス基板を収納したカセットとガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダー。 (もっと読む)


【課題】連続的に多数の基板を成膜するのに適した基板搬送機構を真空槽内部に備えた下方蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の蒸着装置は、真空槽、真空槽内で基板を格納位置と成膜位置の間で移動させる搬送機構、及び真空槽内に配置され成膜位置の上方から蒸着材料を蒸発させる蒸発源を備え、搬送機構は、開口部を有し水平方向に延在する中空体からなる水平経路、水平経路内で、格納位置と開口部の直下である方向転換位置との間で基板を移動させる水平搬送手段、及び基板を方向転換位置と成膜位置の間で移動させる昇降可能な基板ステージを備える。 (もっと読む)


【課題】成膜処理の生産性の向上を図ることができ、且つキャリアの洗浄回数を減らすことができる等のキャリアの管理コストの低減に寄与する真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置は、ロードロックチャンバLLとプロセスチャンバPCの間で移送されるキャリア7と、プロセスチャンバPC内に移送されたキャリア7から基板7を受け取るフック19を備えており、基板5への真空処理はキャリア7がロードロックチャンバLLに退避した後に行われる。 (もっと読む)


【課題】複数のウェーハを自動的に搬送して連続的に加工を行うための搬出入装置について、部品点数が少なく、簡易な構成にて実現可能であり、更に、安価な製作コストを実現できる搬出入装置を提供する。
【解決手段】搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット通過部と、保持手段が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることで保持手段に対する被加工物ユニットの搬入又は搬出が行われ、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット支持部が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることでユニット支持部に対する被加工物ユニットの搬出又は搬入が行われる、ユニット搬出入装置とする。 (もっと読む)


【課題】
露光工程のタクトタイムを短縮することができる露光装置を提供する。
【解決手段】
搬送中に露光される基板Pが載置されるステージ1と、前記ステージ1の中間に設けられ、前記基板Pを露光する露光手段2と、前記露光手段2より基板1の搬送方向の手前側のステージ12と奥側のステージ13との間を往復し、前記手前側のステージ12上に載置された基板Pを前記奥側のステージ13上に搬送する搬送手段3と、を含んで構成され、前記搬送方向の手前側のステージ12上には複数枚の基板Pが搬送方向と平行な列を成して載置され、前記搬送手段3は、前記手前側のステージ12上に載置された複数枚の基板Pを同時に搬送し、前記露光手段2は、搬送手段3により搬送中の基板Pを露光する露光装置である。 (もっと読む)


【課題】
各処理室間のゲートバルブ等を設けずに長尺の基板を搬送し、且つ、各処理室を真空に保持し、連続的に成膜処理することである
【解決手段】
基板連続処理装置は、第1組の前処理室,成膜処理室,後処理室の連結可能な連続体からなり、またこの連続体と合体でき得る第2組の前処理密封室,成膜処理密封室,後処理密封室の連結可能な連続体で構成される。また第2組の前処理密封室,成膜処理密封室,後処理密封室には、基板が通過でき得る溝が設けられ、前処理室密封,成膜処理密封室及び後処理密封室にはシールするために、1つ若しくは複数の密封材(Oリング等)を設置するための、密封材用取り付け溝を設置してなる構成により課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】水平方向へのレイアウトの拡大を抑制できる基板の搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送システム1は、ロボット7Aにて搬入及び搬出される基板Sが置かれる搬入用スペース12A及び搬出用スペース13Aが上下方向に配置された受け渡しステーション9Aと、ロボット7Bにて搬入及び搬出される基板Sが置かれる搬入用スペース12B及び搬出用スペース13Bが上下方向に配置された受け渡しステーション9Bと、露光前の基板Sを各搬入用スペースへ移送する移送ロボット10Aと、搬出用スペース13Bの基板Sを下流側セクションSC2へ移送する移送ロボット10Bとを備え、移送ロボット10Aは搬出用スペース13Aの基板Sを第2受け渡しステーション9Bに配置された中継スペース14へ移送し、移送ロボット10Bは中継スペース14の基板Sを下流側セクションSC2に移送する。 (もっと読む)


【課題】搬送途上において基板を反転することを容易に可能とする。
【解決手段】基板処理装置は、基板の上方を向く主面を処理する処理部と、基板が載置される載置部近傍の前部移載位置501と処理部近傍の後部移載位置502との間にて基板を搬送する基板搬送部5とを有する。基板搬送部5では、基板を保持する基板保持部51の両側部に一対の円筒部55が設けられ、搬送方向におよそ沿って伸びる一対の外側レール部53が基板保持部51の両側に設けられる。昇降機構571,572は、搬送方向における一対の外側レール部53の両端部に高低差を設けることにより、前部移載位置501から後部移載位置502へと一対の円筒部55を転がして、基板を反転しつつ基板保持部51を搬送する。これにより、搬送途上において基板を反転することが容易に可能となり、基板処理装置におけるスループットを向上することができる。 (もっと読む)


【課題】アーム部の昇降範囲を大きくしつつ、最低限必要な高さ位置までアーム部を降下可能とした搬送ロボットおよび基板処理装置を提供する。
【解決手段】アーム部(12)を水平方向に回転自在に支持し、所定の基台設置フレーム(23)に設置される基台部(13)と、基台部(13)内に立設した縦軸に沿ってアーム部(12)を、基台部(13)の上方に規定されたアーム部昇降範囲(α)内で昇降させる昇降機構(7)とを備える。基台部(13)は、基台設置フレーム(23)に形成された基台収容凹部(25)内に、底壁(131)から所定高さ(h)に設定された基台固定用フランジ(8)までを埋没させた状態で固定されている。 (もっと読む)


【課題】搬送手段の駆動軸である旋回軸もしくはX軸方向直動軸を仮置きテーブルの回転軸で代用し、円形部材の位置の補正作業を簡略化させる。
【解決手段】加工装置1の仮置き手段8は、回転可能な仮置きテーブル80と、仮置きテーブル80に置かれたウェーハWの外周を撮像するカメラ81と、ウェーハWの外周を撮像してウェーハWの中心P2を求めて該中心P2からチャックテーブル3の中心P3までの距離と方向を求める算出部82と、から構成され、該算出部82が算出したデータに基づき該中心P3を通る中心線3a上に該中心P2が位置づけられるように仮置きテーブル80を回転させることで、ウェーハWとチャックテーブル3の中心を合わせる位置補正が簡略化され、ウェーハWの高速搬送が可能となる。 (もっと読む)


【課題】
共通のシミュレーション結果に対し、複数の端末で各々の観点から解析を行う。
【構成】
処理装置間でワークを搬送する搬送車システムをシミュレーションする。搬送車システムでの複数の仮想的な搬送車の走行をシミュレーションし、シミュレーションにより得られたデータと搬送車システムの背景画像とを複数の端末へ送信する。各端末は、データを画像として表示する搬送車システム内のエリアと時間の範囲とを端末毎にユーザが指定し、指定された範囲内のデータを画像化すると共に搬送車システムの背景画像と合成し、合成された画像をモニタに表示する。 (もっと読む)


【課題】
半導体等の生産計画に沿って搬送車システムを動作させた際の状況をシミュレーションする。
【構成】
処理装置での仮想的な生産計画を管理し、生産計画に従って、仮想的な搬送車への走行計画を作成し、作成した走行計画に従って、仮想的な搬送車の位置と速度を時間の関数として表す走行スケジュールを作成し、走行スケジュールに従って仮想的な搬送車を、実在の搬送車システムの制約に従って、かつ搬送車間の干渉を回避するように走行させる。 (もっと読む)


【課題】物体保持装置に保持された物体を迅速に搬出する。
【解決手段】 基板ホルダ30の上面上に載置された基板Pを該基板ホルダ30から搬出する基板Pの搬出方法は、前記基板ホルダ30に予め保持された基板トレイ60に前記基板Pを下方から支持させることと、前記基板トレイ60に前記基板Pを吸着保持させることと、前記基板ホルダ30から前記基板Pに対して気体を噴出することと、前記基板Pが前記基板トレイ60に吸着保持され、且つ前記基板Pに対して前記気体が噴出された状態で前記基板トレイ60を前記基板ホルダ30の上面に平行な方向に沿って相対移動させることにより、前記基板Pを前記基板ホルダ30から搬出することと、を含む。 (もっと読む)


【課題】被処理体の自重により被処理体を保持して搬送することが可能な搬送機構を提供する。
【解決手段】被処理体を搬送する搬送機構24、64において、屈伸及び旋回が可能になされたアーム部26、28、66、68と、アーム部の先端に設けられて処理体を保持するピック部30、32、70、72と、ピック部に設けられて被処理体の周縁部と当接して被処理体の自重により揺動して周縁部を保持する複数の保持部材34とを備える。これにより、被処理体の自重により被処理体を保持して搬送可能する。 (もっと読む)


【課題】複数の検査室によって共有することによりフットプリントを削減することができるウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ搬送装置10は、筐体Fを収納するウエハ収納室11と、ウエハ収納室11の下側に配置されたプリアライメント室12と、ウエハ収納室11及びプリアライメント室12に沿って上下方向に配置され且つウエハ収納室11とプリアライメント室12との間で半導体ウエハを搬送する第1のウエハ搬送機構13を有する第1のウエハ搬送室14と、第1のウエハ搬送室14とでプリアライメント室12を挟む位置に配置されアライメント室15と、第1のウエハ搬送室14、プリアライメント室12及びアライメント室15の配列方向に沿って移動すると共に上下方向に移動する第2のウエハ機構16を有する第2のウエハ搬送室17と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】近年、特にフレームサイズの大型化と薄板化が進み、フレームのそりが問題となってきている。フレームのそりが大きい場合には、フレームの取り出しを失敗する可能性が高い。フレームの取り出しを失敗した場合、即ち、フレームが取り出せなかった場合には、実装のスループットが長くなり、さらに、取り出せなかったフレームは、オペレータが手動で取り除く必要が出てくる。このため作業工数も増加する。
【解決手段】ローダフィーダ部がフレームマガジンからフレームを取り出す前に、ローダリフト部をY方向に移動させ、その後に前記ローダフィーダ部が前記フレームマガジン部からフレームを取り出す。 (もっと読む)


【課題】半導体パッケージを傷つけることなく安定した状態で確実に持ち上げて搬送でき、また、半導体パッケージを搬送する搬送装置の製造コストや維持費も低く抑えることができるようにする。
【解決手段】半導体チップ4を含む板状のパッケージ本体2を備え、当該パッケージ本体2の側部に、パッケージ本体2の板厚方向に段差が形成されることで、搬送用の治具100をパッケージ本体2の板厚方向の一方側から当接させる支持用段差部8が画成され、この支持用段差部8が、少なくとも平面視したパッケージ本体2を側部から挟み込むような位置に形成された半導体パッケージ1を提供する。 (もっと読む)


【課題】実運転に近い条件で、効率的に試運転を実行可能な基板処理装置等を提供する。
【解決手段】搬送容器(FOUP1〜4)から基板Wを取り出して処理モジュール2にて処理を行い、元の搬送容器に戻す基板処理装置1において、選択部31は、基板搬送機構15、17や処理モジュール2の動作確認運転を行うモードの選択を受け付け、ジョブ設定部32は、動作確認用の複数のコントロールジョブ(CJ)を設定すると共に、基板Wに対して実行されるレシピであるプロセスジョブ(PJ)をCJ毎に設定し、制御部3は、順番が相前後する2つのCJのPJが並列で実行可能か判断する。 (もっと読む)


【課題】搬送ロボットのθ軸が回転した時の角度誤差を検出することが可能であり、検出した角度誤差からθ軸の角度補正を行う機能を有する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】アーム13を有し基板7を搬送する搬送ロボット2と、基板7を外部に搬送するための開口部8とを備える。搬送ロボット2は、θ軸モータによりアーム13を回転させ、R軸モータ110によりアーム13を伸縮させる。開口部8のフレームに、投光器から受光器へセンサ光を投射する検出センサ4、4’を備える。搬送ロボット2が、アーム13を伸縮して、開口部8を通して基板7を搬送する過程において、基板7が検出センサ4及び検出センサ4’のセンサ光を遮光し始めた時と、検出センサ4及び検出センサ4’がセンサ光の遮光が終了して再び受光し始めた時との、R軸モータ110の回転角度を用いて、θ軸モータの回転角度とアーム13の回転角度との差である角度誤差αを求める。 (もっと読む)


【課題】磁性シートを円滑に移載することができる磁性シートの移載システム、キャリア及び磁性シートの移載方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るキャリア10は、第1の非磁性基板11と、第2の非磁性基板12と、磁石13とを有する。第1の非磁性基板11は、磁性シートMを支持する第1の面11aとこれとは反対側の第2の面11bとを有する。第2の非磁性基板12は、第2の面11bに対向し、磁石13は、第2の非磁性基板12に固定され、第1の面11aに磁場を形成する。第1の非磁性基板12は、第2の非磁性基板12と近接した第1の支持位置と第2の非磁性基板12から離間した第2の支持位置との間を移動可能に構成され、第2の支持位置で第2の非磁性基板12からウェーハカセットへ磁性シートとともに移載される。 (もっと読む)


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