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Fターム[5F031PA13]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 特殊目的 (8,207) | ウエハ等の変形、反りへの対応 (693)

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【課題】被処理基板と支持基板を適切に接合する。
【解決手段】接合装置の接合部113は、被処理ウェハWを保持する第1の保持部200と、第1の保持部200に対向配置され、支持ウェハSを保持する第2の保持部201と、第2の保持部201に保持された支持ウェハSを覆うように設けられた鉛直方向に伸縮自在の圧力容器271を備え、当該圧力容器271内に気体を流入出させることで第2の保持部201を第1の保持部200側に押圧する加圧機構270と、第1の保持部200、第2の保持部201及び圧力容器271を内部に収容し、内部を密閉可能な処理容器290と、処理容器290内の雰囲気を減圧する減圧機構300と、を有している。 (もっと読む)


【課題】円形板状基台に滴下する液体樹脂の外周側に反りが発生することを防止して、液体樹脂の表面にワークを載置して樹脂硬化しても、ワークの外周に反りが発生しないようにすることを目的とする。
【解決手段】円形板状基台2は、外周部に所定の角度で切り欠いたスカート部20が形成されており、保持テーブル4に保持された円形板状基台2の上方から樹脂供給ノズル5によって円形板状基台2の中心に液体樹脂6を滴下する。保持テーブル4の回転による遠心力で液体樹脂6を均一の厚さに引き伸ばし、円形板状基台2の中心から外周方向に移動する液体樹脂6をスカート部20に溜めるとともに、液体樹脂6の外周部60に発生する表面張力による外周部60の盛り上がりを防止することができる。そのため、樹脂硬化によって円形板状基台2とワークWとを貼り合わせた際に、ワークWの外周部Wsに反りが発生することを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】薄板状ワークがより薄くても、この薄板状ワークに移動力を確実に伝えて滞りなくそして蛇行なく安定して搬送することが可能である薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Wの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニット2と、ガラス基板Wの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラ37を備え、エア浮上ユニット2は、ガラス基板Wの下面に向けて空気を噴出させる多数の空気噴出孔24aを有し、且つ、ワーク搬送方向と直交する断面形状が下方に凸の湾曲形状を成すワーク非接触支持板24を具備し、搬送ローラ37をワーク搬送方向と直交する方向の中央に配置して、エア浮上ユニット2のワーク非接触支持板24から上方に突出する周縁部をガラス基板Wの下面に接触させてワーク搬送方向の移動力を付与する。 (もっと読む)


【課題】製造プロセス中のウエハの反りを防止する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハにおける、サポートプレートが貼り付けられている面とは反対側の被支持面の内周部を支持する支持ピンにより支持された積層体を減圧環境下において搬送する搬送ユニット20とを備え、製造プロセス中のウエハの反りを防止することを可能とした。 (もっと読む)


【課題】 反りを有した板状物でも確実に吸引保持することのできる板状物の保持方法を提供することである。
【解決手段】 反りを有した板状物をチャックテーブルで吸引保持する板状物の保持方法であって、板状物より大きい面積の保持面を有する保持部と、一端が該保持部に連通し他端が吸引源に選択的に接続される吸引路とを備えたチャックテーブルを準備するチャックテーブル準備ステップと、該チャックテーブル準備ステップを実施する前又は後に、該チャックテーブルの該保持面の面積以上の面積を有する粘着テープ上に板状物を貼着する貼着ステップと、該粘着テープに貼着された板状物を該粘着テープを介して該チャックテーブル上に載置して該粘着テープで該保持面の全面を被覆する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該吸引源を作動させて該粘着テープを介して板状物を吸引保持する保持ステップと、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】可撓性を有するワークを非接触で安定的にチャックすることができるチャック装置を提供する。
【解決手段】可撓性を有するワークWを保持するチャック装置1であって、本体フレーム2と、本体フレーム2に設けられ、吸引力を作用させる吸引穴6をワークW表面に対向させて位置するとともに、吸引穴6の吸引力によってワークWを非接触状態で吸引する複数のベルヌーイチャック機構4、4’と、ベルヌーイチャック機構4’に設けられ、吸引穴6’の角度を可変して当該吸引穴6’とワークW表面との対向方向を変位させる揺動機構10と、を備える。 (もっと読む)


【課題】ワークの板厚が薄く形成されたとしても、簡易な構成で、ワークの利用部位を非接触状態に維持したまま安定してチャックできる。
【解決手段】チャック装置1は、ワークWと対向する本体2と、本体に配され、ワークと接触する突出部3と、本体と突出部とワークとで囲繞される囲繞空間Nから気体を吸引する吸引手段5と、ワークまでの相対距離dを測定する測定センサ6と、相対距離に基づいて、相対距離が所定の目標値で安定化するように吸引手段の吸引力を制御する吸引制御部7と、を備える。 (もっと読む)


【課題】基板の位置決め精度が向上すると共に、プロセスへの影響が低減する基板の載置構造及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を内側に収容する複数の貫通孔と、貫通孔の内壁の3箇所に突設され、基板を上面に保持する保持部とを備える基板トレイと、貫通孔に対応して突設された複数の載置台11と、保持部に対応して、載置台11の外周部分の3箇所に形成され、保持部を収容する切欠部13とを備える載置板10とを有し、基板トレイを載置板10上に載置すると、貫通孔の内側に載置台11が配置されて、基板が載置台11の上面に各々載置される基板の載置構造において、載置台11の外径を基板の外径より大きくすると共に、大きくした載置台11の外周部分に基板の外縁を案内するガイド12を設けた。 (もっと読む)


【課題】液晶ディスプパネル部材等の、表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、輸送および保管する基板用トレイで使用する基板保持部材であって、固定治具を用いることなく、容易にかつ安定に設置が可能な基板保持部材を提供する。
【解決手段】四角形状で剛性のある板状物からなる基板111の面方向を水平方向として、基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、基板をその下側から保持する枠部に支持された基板支持部13を備えた基板用トレイ11において、基板支持部に固定され、基板を保持する基板保持部材14であって、固定治具を用いることなく、嵌合部を嵌合させることにより固定する、もしくは、嵌め込みにより固定することが可能である。 (もっと読む)


【課題】複数の支持片が配置された前面開閉一体型ポッド(FOUP)を提供する。
【解決手段】本FOUPの複数の支持片の位置は、該支持片がポッド内のウェハを水平に支持するよう対称になるように較正される。また、天井吊下式搬送パッド(OHTパッド)がFOUPとウェハとの重量を均一に分配するので、OHTヘッドによるFOUPとウェハの搬送を更に安定化でき、プロセスの要求を満たすようより多くの重量を装填できる。 (もっと読む)


【課題】太陽電池モジュールの湾曲を防止した搬送装置を得ること。
【解決手段】太陽電池モジュール24の出力特性を測定する電流電圧特性模擬装置本体11の上で受光面を下向きとして太陽電池モジュール24を搬送する搬送装置50であって、電流電圧特性模擬装置本体11の上方に配置され、太陽電池モジュール24の対向する2辺を支持して太陽電池モジュール24を搬送する一対の搬送ベルト23と、一対の搬送ベルト23によって搬送される太陽電池モジュール24の受光面と反対側の面を吸着して、太陽電池モジュール24の中央部を引き上げる吸着ユニット35と、吸着ユニット35を、一対の搬送ベルト23による太陽電池モジュール24の搬送に同期させて移動させる搬送ベルト33とを備える。 (もっと読む)


【課題】 反りと反発力の大きいウェハであっても、確実に吸着して保持しながら搬送することができる搬送技術を提供することを課題とする。
【解決手段】 基板搬送装置は、基板を吸着保持しながら搬送する搬送ピック40を有する。搬送ピック40の吸着面40aは複数の領域46a,46bに分割され、複数の領域の各々に対して吸着経路が設けられる。制御部60は、吸着経路への負圧の導入を制御して、搬送ピック40による基板の吸着保持動作を制御する。 (もっと読む)


【課題】結晶膜を基板の上に成長させる化学気相成長(CVD)の量産では、均一性を改良しながらバッチサイズを大きくする装置構造が課題である。装置の部品の洗浄交換周期を長くし、CVDガスの基板上での消費効率を上げて、排気系のポンプや排気配管への付着を減らしたい。さらに有機金属ガスをCVDガスとして用いるとき、気相で重合反応を起こし粒子ゴミを発生させるので、加熱空間を横切る流路を短くしたい。これらの要求を満たす装置の構造が課題である。
【解決手段】表面に基板を載せる複数の加熱されるサセプタを立てて放射状に配置させ、当該放射状配置のサセプタを回転させながら外周から熱分解CVDガスを供給して当該基板の上にCVD膜を成長せしめ、当該放射状配置サセプタの配置中心に加熱可能な排気管が配置されてあり、当該CVDガスを当該排気管から排気することで、課題を解決する結晶膜の気相成長装置が可能である。 (もっと読む)


【課題】板状部材へのストレスを抑制して所望の保持状態で確実に支持することができる板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置を提供すること。
【解決手段】ウェハWに対して角度を変更させた一対の第1保持手段71を直動モータ52が互いに接近させるので、ウェハWの反りが大きい場合でも、当該ウェハWに第1保持手段71を接近させることができ、搬送不良が発生するといった不都合を確実に解消することができる。また、ウェハWをフラットに矯正する際に、直動モータ52および回動モータ53を連動させて一対のアーム6の間隔を調整することで、ウェハWにおける局部応力の発生を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】板状部材を所望の保持状態で確実に支持することができる板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置を提供すること。
【解決手段】フラットに矯正したウェハWを搬送して受け渡すことで、搬送先の装置等への受け渡しに関し、ウェハWの反りに伴う不都合を解消することができる。また、ウェハWをフラットに矯正する際に、第1保持手段7によって非接触でウェハWの下面W1を吸引保持しつつ、直動モータ52で一対のアーム6を離間方向に移動させることで、ウェハWにおける局部応力の発生や表面への傷付きを防止することができる。 (もっと読む)


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