【課題】クランプ部により薄板状物をクランプする際の衝撃を緩和しながら、位置検出器を用いることに起因する電磁アクチュエータの構成の複雑化を抑制することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】この電磁グリッパ（把持装置）１００は、ウエハ９をクランプする方向に移動する可動部２５を含むクランプ部２４と、クランプ部２４の可動部２５をクランプする方向に常時付勢するばね部材３０と、少なくともクランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に推力を発生させる電磁アクチュエータ２２とを備える。また、電磁アクチュエータ２２は、クランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に、ばね部材３０のクランプ方向への付勢力による可動部２５の移動速度を低減する方向に推力を発生させる励磁コイル２７ａ〜２７ｃを有する励磁回路２８を含む。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に基板から支持板を剥離する剥離方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る剥離方法は、厚さ方向に貫通した貫通孔が設けられている支持板に接着剤によって貼着された基板を、該支持板から剥離する方法であって、貫通孔を介して剥離液を接着剤に接触させて、接着剤を溶解する工程を含んでいる。接着剤は、炭化水素樹脂を粘着成分とする接着剤である。剥離液は、粘度が１．３ｍＰａ・ｓ以下であり、かつ接着剤に対する溶解速度が３０ｎｍ／ｓｅｃ以上である炭化水素系溶剤である。 （もっと読む）

【課題】作業の迅速化、簡素化、容易化を図ることのできる基板の固定治具を提供する。
【解決手段】剛性を有する支持板１と、この支持板１の表面に着脱自在に粘着されて薄化された半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持する両面粘着シート３とを備え、支持板１の表面と両面粘着シート３の一部との間に非粘着層４を介在して積層し、支持板１には、非粘着層４に対向する空気孔２を厚さ方向に穿孔する。専用の厚い内リングと外リングとを使用する必要がないので、コスト削減を図ることができる他、作業の作業性を向上させることができ、作業の迅速化、簡素化、容易化が期待できる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの研削後に、ウエハの一方の面に貼付したシートとウエハの他方の面に貼付した粘着テープとが接触すること、あるいはカッター刃の欠けやウエハのチッピングを防止することのできるシート貼付方法およびウエハ加工方法を提供する。
【解決手段】面取りされることで周縁部に傾斜面１１を有するウエハ１における一方の面に、シート２を貼着し、ウエハ１側から、カッター刃３の側面がウエハ１周縁部における上記一方の面近傍の傾斜面１１に沿うように、カッター刃３を傾斜させて、上記シート２に対してカッター刃３を入刃し、そのカッター刃３により、ウエハ１の外周に沿ってシート２を切断し、もってウエハ１にシート２を貼付する。 （もっと読む）

【課題】諸々の押圧条件に対応して押圧面の弾力を適切に変更できる押圧ローラ、ならびにシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】押圧ローラ６３は、温度変化によって硬度が変化する弾性部材６７で構成された押圧面６７Ａと、弾性部材６７の温度を調節する温度調節手段６６と、温度調節手段６６による弾性部材６７の温度調節を制御する制御手段とを備える。また、被着体Ｗの一方の面ＷＡに接着シートＳを貼付するシート貼付装置は、被着体Ｗを他方の面ＷＢ側から支持する支持手段と、被着体Ｗの一方の面ＷＡに対向させて接着シートＳを供給する供給手段と、接着シートＳを被着体Ｗの一方の面ＷＡに押圧して貼付する押圧手段６とを備え、押圧手段６は、押圧ローラ６３を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】被着体に貼付してから切断した接着シートの切断縁領域の剥離を防止できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】被着体Ｗの一方の面ＷＡに接着シートＳを貼付するシート貼付装置１は、被着体Ｗの一方の面ＷＡに対向させて接着シートＳを供給する供給手段５と、接着シートＳを被着体Ｗの一方の面ＷＡに押圧して貼付する押圧手段６と、貼付した接着シートＳを被着体Ｗの外縁ＷＣに沿って切断する切断手段７と、切断した接着シートＳの切断縁領域を被着体Ｗに押圧する再プレス手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の位置ずれを発生させることなく，基板の裏面のキズやパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】 基板載置台１２０の表面から突没自在に設けられ，基板載置台から基板を持ち上げて脱離させる複数のリフトピン２００と，これらリフトピンを昇降させるリフタとを備え，各リフトピンは，その先端が一方向に可動するように構成し，その可動方向が，加熱された基板を各リフトピンで持ち上げたときにその基板が冷えて収縮する方向と一致する向きに配置した。 （もっと読む）

【課題】フレームと被着体とを一体化でき、被着体からの保護シートの剥離に起因して発生する被着体の破損を防止できるマウント装置およびマウント方法を提供すること。
【解決手段】基材シートの一方の面に接着剤層を有する第１接着シートＭＳを介して、フレームＲＦと被着体Ｗとを一体化するマウント装置１は、一方の面ＷＡに第２接着シートＳが貼付された被着体Ｗの他方の面ＷＢに被着体Ｗの外形形状よりも大きな外形形状を有する第１接着シートＭＳを貼付するシート貼付手段５と、第１接着シートＭＳが貼付された被着体Ｗから第２接着シートＳを剥離する剥離手段６と、第２接着シートＳが剥離された被着体Ｗからはみ出している第１接着シートＭＳにフレームＲＦを貼付するフレーム貼付手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】諸々の押圧条件に対応して弾力を適切に変更できる押圧ローラ、ならびにシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】押圧ローラ６３は、円柱状のローラ本体６５と、ローラ本体６５との間に空間ＶＭを形成してローラ本体６５の外周面を覆って設けられる弾性部材６６と、ローラ本体６５と弾性部材６６との間に形成される空間ＶＭと、空間ＶＭの圧力を調節する圧力調節手段６７とを備える。また、被着体Ｗの一方の面ＷＡに接着シートＳを貼付するシート貼付装置は、被着体Ｗを他方の面ＷＢ側から支持する支持手段と、被着体Ｗの一方の面ＷＡに対向させて接着シートＳを供給する供給手段と、接着シートＳを被着体Ｗの一方の面ＷＡに押圧して貼付する押圧手段６とを備え、押圧手段６は、押圧ローラ６３を備える。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの往復搬送中において、基板Ｗの端部と浮上ユニット１５との干渉を回避して、基板Ｗの傷又は割れ等の損傷を極力少なくすること。
【解決手段】搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間に、浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成された浮上ガス溜まり層Ｓを支点として基板Ｗの端部側に上向きの力を発生させるように、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器３７が設けられ、空気吸引器３７は、往動搬送時に吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていること。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面に微粒子がめり込むのを防止できる基板脱着方法を提供する。
【解決手段】直流電圧が印加される静電電極板を内蔵し、該静電電極板に印加される直流電圧に起因して生じる静電気力によってウエハを吸着する静電チャックと、吸着されたウエハＷ及び静電チャックの間の伝熱間隙にヘリウムガスを供給する伝熱ガス供給孔とを備える基板処理装置において、静電電極板に印加される直流電圧を徐変させながら上昇させる際、直流電圧の上昇に応じて伝熱間隙へ供給されるヘリウムガスの圧力を段階的に上昇させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、フラッシュランプを用いて急速加熱する半導体ウエハが割れることなく、且つ、該半導体ウエハが飛び跳ねることが無い半導体ウエハ急速加熱装置を提供することにある。
【解決手段】発明の半導体ウエハ急速加熱装置は、複数本配列されたフラッシュランプと、該フラッシュランプから放射される光を被加熱物側に反射する反射板と、からなる光源部、半導体ウエハを支持する支持用台を配置した加熱処理チャンバー、を具備し、該フラッシュランプの光によって半導体ウエハを急速加熱処理する半導体ウエハ急速加熱装置において、前記支持用台は、該支持用台上に凹部が設けられ、該凹部の形状が、該半導体ウエハの直径よりやや小さな略円形であって、該半導体ウエハの直径に対する該凹部の直径の比が、４０％乃至９０％で、且つ、その断面は略長方形であって該凹部を覆うように該半導体ウエハを配置した場合に、該支持用台と該半導体ウエハとの間に空間が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被着体の側面部分に接着シートを適度に回り込ませて貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】内側支持手段２を昇降させて支持面２２と外側支持手段３の平坦面３３とを相対移動させてから接着シートＳを貼付し、ウェハＷの側面ＷＣ部分へ接着シートＳを回り込んだ状態で貼付することで、ウェハＷの側面ＷＣ部分に接着シートＳを密着させることができ、後工程で裏面ＷＢを研削する場合でも、ウェハＷの表面に洗浄水が入り込むことを防止することができる。さらに、接着シートＳの回り込み量を適切に調節することで、後工程の研削時に接着シートＳの切断端部が研削部材との間に入り込んだり、捲れ上がったりしてウェハＷや回路を破損させてしまうといった不都合を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】微小な光学素子を簡便に収納することが可能な光学素子の梱包方法を提供することを目的とする。
【解決手段】向きを揃えて複数の棒状の基材を加工台２０に配列させる。基材の長手方向に交差する切断面に沿って複数の箇所で複数の基材を切断することで、加工台２０に配列させた状態で複数の光学素子１Ａを得る。複数の光学素子１Ａを加工台２０に配列させた状態で、加工台２０ごと複数の光学素子１Ａを梱包箱４０に収納する。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド７７を先端のＵ形の保持アーム３４に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド７７から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム３４の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド７７で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 （もっと読む）

【課題】フラッシュランプからの閃光照射時の基板の割れを防止することができる熱処理用サセプタおよび熱処理装置を提供する。
【解決手段】フラッシュランプから閃光を照射してフラッシュ加熱を行うときに半導体ウェハーＷを保持するサセプタ７２に、上方に向かって開口が広くなる円錐台形状の凹部７８が形設されている。円錐台形状の上底面（凹部７８の開口面）は半導体ウェハーＷの平面サイズよりも大きく、下底面（凹部７８の底面７８ａ）は半導体ウェハーＷの平面サイズよりも小さい。凹部７８が形成されたサセプタ７２によって半導体ウェハーＷを保持するときには、凹部７８のテーパ面７８ｂによって半導体ウェハーＷの周端部が支持されることとなる。その結果、半導体ウェハーＷの下面とサセプタ７２の上面と間に気体層を挟み込んだ隙間が形成されることとなる。 （もっと読む）

【課題】ロボット搬送アームの撓みを計測し、事故を未然に防止する。
【解決手段】基板を処理する複数の処理室に連結された連結室と、連結室に配され、基板を複数の処理室の間で搬送する搬送アームと、搬送アームを目標位置に移動した場合の搬送アームの実際の位置を計測する計測部と、目標位置と計測部により計測された位置との差を算出する算出部とを備える基板処理装置が提供される。複数の処理室の少なくとも一つは、減圧環境で複数の基板を押圧して貼り合わせる加圧室であり、複数の処理室の少なくとも他の一つは、搬送アームに受け渡す基板を仮置きするロードロック室である請求項１に記載の基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】テープを貼り付ける際のウェハへの負荷を低減し、ウェハの破損や損傷を防止する。
【解決手段】内部に気密空間５を有するチャンバ６と、気密空間５を第１及び第２の気密空間７、８に仕切り、上面にウェハ９が載置されるゴムシート１０と、ゴムシート１０の上方でテープ１１を保持するテープフレーム１２と、第１及び第２の気密空間７、８の加圧及び減圧を切り替える第１及び第２の給排気管１３、１４とを備え、第１及び第２の気密空間７、８を真空状態とした後、第２の気密空間８を加圧してゴムシート１０を膨張させ、ウェハ９を押し上げてテープ１１に貼り付けるテープ貼付装置であって、ウェハ９の押し上げに際し、第２の気密空間８の加圧量を制御してゴムシート１０の膨張速度を低速から高速に向けて段階的に変化させながら、ウェハ９をテープ１１に貼り付けるテープ貼付装置１。 （もっと読む）

【課題】機械構造が比較的簡単で設備費用の低減に寄与し、またガラス基板裏面との摩擦を軽減し基板裏面に傷が発生しないガラス基板搬送コンベアを提供する。
【解決手段】ガラス基板搬送コンベアであって、複数のリングローラ回転軸に備えられガラス基板を載置して搬送する複数の同一径のリングローラと、リングローラ内のリングローラ回転軸と垂直の方向に設けられ、リングローラと同一の曲率を有する回転体と、を備え、ガラス基板を次の処理装置に搬入する直前の位置に設けられガラス基板を検出するガラス基板検出手段と、リングローラの回転角度を検出するリングローラ回転角度検出手段と、ガラス基板検出結果とリングローラ回転角度検出結果からリングローラ回転軸の回転角度を制御する回転制御手段と、ガラス基板をアライメントするアライメント機構と、を備えたことを特徴とするガラス基板搬送コンベア。 （もっと読む）

【課題】 反りを有する薄板であっても簡易な構成により確実に高速搬送することができる薄板搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送体１１６と、搬送体１１６に設けられた一対の突状体１２１と、搬送体１１６の駆動により一対の突状体１２１を水平搬送する駆動手段とを備え、一対の突状体１２１間に平板状の薄板が保持される薄板搬送装置であって、一対の突状体１２１は、搬送方向に沿って互いに対向する傾斜面１２４をそれぞれ備え、傾斜面１２４には、複数の係止微細突起が傾斜方向に鋸歯状に連設されており、一対の突状体１２１の係止微細突起が薄板の搬送方向両側端面にそれぞれ当接して薄板を保持するように構成されている。 （もっと読む）