素子分離 (28,488) | 絶縁物を用いる分離 (9,448)

素子領域側面、底面を絶縁物で分離するもの (1,104)
素子領域側面を絶縁物で分離するもの (8,208)
素子領域底面のみを絶縁物で分離するもの (136)