Array ( [0] => 半導体集積回路装置の内部配線 [1] => 層間接続の下層配線層の材料 [2] => 化合物 [3] => 窒化物 ) 層間接続の下層配線層の材料 | 化合物 | 窒化物
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Fターム[5F033KK32]の内容

半導体集積回路装置の内部配線 (234,551) | 層間接続の下層配線層の材料 (17,020) | 化合物 (2,201) | 窒化物 (1,946)

Fターム[5F033KK32]の下位に属するFターム

TiN (909)
WN (236)

Fターム[5F033KK32]に分類される特許