Array ( [0] => 半導体集積回路装置の内部配線 [1] => 層間構造の特徴点 [2] => コンタクトホールへの穴埋め構造 [3] => 介在層を有するもの [4] => バリア層を含むもの ) コンタクトホールへの穴埋め構造 | 介在層を有するもの | バリア層を含むもの
説明

Fターム[5F033NN07]の内容

半導体集積回路装置の内部配線 (234,551) | 層間構造の特徴点 (9,232) | コンタクトホールへの穴埋め構造 (6,462) | 介在層を有するもの (6,157) | バリア層を含むもの (2,805)

Fターム[5F033NN07]に分類される特許