Array ( [0] => 半導体集積回路装置の内部配線 [1] => 絶縁膜の材料 [2] => 無機材料 [3] => 酸化物 ) 絶縁膜の材料 | 無機材料 | 酸化物
説明

Fターム[5F033RR02]の内容

半導体集積回路装置の内部配線 (234,551) | 絶縁膜の材料 (22,565) | 無機材料 (16,592) | 酸化物 (6,040)

Fターム[5F033RR02]の下位に属するFターム

金属酸化物 (694)
SiO2 (5,243)

Fターム[5F033RR02]に分類される特許