【課題】作製工程が簡略化され、容量素子の面積が縮小化された昇圧回路を有する半導体
装置を提供することを課題とする。
【解決手段】直列に接続され、第１の入力端子部から出力端子部へ整流作用を示す複数の
整流素子と、第２の入力端子部に接続され、互いに反転する信号が入力される第１の配線
及び第２の配線と、それぞれ第１の電極、絶縁膜及び第２の電極を有し、昇圧された電位
を保持する複数の容量素子とから構成される昇圧回路を有し、複数の容量素子は、第１の
電極及び第２の電極が導電膜で設けられた容量素子と、少なくとも第２の電極が半導体膜
で設けられた容量素子とを有し、複数の容量素子において少なくとも１段目の容量素子を
第１の電極及び第２の電極が導電膜で設けられた容量素子とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも大幅に少ない原材料及び製造エネルギーを用いて、かつ、従来よりも短工程で製造することが可能な機能性デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理することにより金属酸化物又は金属となる液体材料を準備する第１工程と、基材上に液体材料を塗布することにより金属酸化物又は金属の前駆体組成物からなる前駆体組成物層を形成する第２工程と、前駆体組成物層に対して凹凸型を用いて型押し加工を施すことにより前駆体組成物層に残膜を含む型押し構造を形成する第３工程と、型押し構造が形成された前駆体組成物層に対して大気圧プラズマ又は減圧プラズマによるアッシング処理を施すことにより残膜を処理する第４工程と、前駆体組成物層を熱処理することにより、前駆体組成物層から金属酸化物又は金属からなる型押し構造体を形成する第５工程とをこの順序で含む型押し構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】半導体記憶装置において誤動作が生じる蓋然性を低減する。
【解決手段】積層配置されるメモリセルアレイ（例えば、酸化物半導体材料を用いて構成されているトランジスタを含むメモリセルアレイ）と周辺回路（例えば、半導体基板を用いて構成されているトランジスタを含む周辺回路）の間に遮蔽層を配置する。これにより、当該メモリセルアレイと当該周辺回路の間に生じる放射ノイズを遮蔽することが可能となる。よって、半導体記憶装置において誤動作が生じる蓋然性を低減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】容量素子が占有する回路面積の増大を抑制する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、メモリセル領域、第１電極、及び第２電極を有する。メモリセル領域は、基板上に形成され、複数のメモリセルが積層される。第１電極は、基板上に複数の導電層が積層されて、容量素子の一方の電極として機能する。第２電極は、基板上に複数の導電層が積層されて、第１電極と基板に水平な方向において分離され、容量素子の他方の電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】製造コストの増加を抑制し、キャパシタの端部の段差を小さくできるトレンチ型ＰＩＰキャパシタとそれを用いたパワー集積回路装置およびパワー集積回路装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】トレンチ５２内壁に分離絶縁層５３を配置し、この分離絶縁層５３を介して下部電極となる第１ポリシリコン５４を埋め込んだトレンチ型ＰＩＰキャパシタ５０を半導体基板に形成することで、キャパシタの端部に形成される段差を低減できる。その結果、配線となるメタル層５９を過度に厚くする必要がなく、メタル層５９を微細化することができる。その結果、パワーＩＣを微細化することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ裏面のキャパシタを有する半導体デバイスの形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明の方法は、その前面の活性シリコン層とその裏面のバルク・シリコン層との間に挿入された埋込み絶縁層を有する、ＳＯＩ基板を準備するステップと、ＳＯＩ基板の前面から埋込み絶縁層を貫通して延びる埋込みコンタクト・プラグを含む集積回路を、ＳＯＩ基板の前記前面に形成するステップと、裏面エッチング・プロセスを実施してバルク・シリコン層内にトレンチを形成し、埋込みコンタクト・プラグの端部を埋込み絶縁層の裏表面に露出させるステップと、第１キャパシタ・プレートと、第２キャパシタ・プレートと、該第１及び第２キャパシタ・プレートの間に挿入されたキャパシタ誘電体層とを含むキャパシタをトレンチ内に形成するステップとを含み、第１キャパシタ・プレートは、埋込みコンタクト・プラグの露出した端部に接触するように形成される。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく抑えられ、出力される電位の振幅が小さくなるのを防ぐことができる、単極性のトランジスタを用いた半導体装置。
【解決手段】第１電位を有する第１配線、第２電位を有する第２配線、及び第３電位を有する第３配線と、極性が同じである第１トランジスタ及び第２トランジスタと、第１トランジスタ及び第２トランジスタのゲートに第１電位を与えるか、第１トランジスタ及び第２トランジスタのゲートに第３電位を与えるかを選択し、なおかつ、第１トランジスタ及び第２トランジスタのドレイン端子に、１電位を与えるか否かを選択する複数の第３トランジスタと、を有し、第１トランジスタのソース端子は、第２配線に接続され、第２トランジスタのソース端子は、第３配線に接続されている半導体装置。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上においてキャパシタが占める面積の増大を抑えつつ、キャパシタ全体の容量を増やすことを可能とした半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型のシリコン基板１と、シリコン基板１に設けられたＮ−領域１１と、Ｎ−領域１１上に設けられた第１の誘電体膜１５と、第１の誘電体膜１５上に設けられた第１の電極１７と、第１の電極１７の上面に設けられた第２の誘電体膜１９と、第１の電極１７の側面に設けられた第３の誘電体膜２１と、Ｐ型のシリコン基板１のうちのＮ−領域１１に隣接する隣接領域５上に設けられた第４の誘電体膜２３と、第２の誘電体膜１９と第３の誘電体膜２１及び第４の誘電体膜２３を覆うようにシリコン基板１の上方に設けられた第２の電極２４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】堆積界面のない誘電体膜を有するＭＩＭキャパシタとその製造方法、並びにそのようなＭＩＭキャパシタを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】ＭＩＭキャパシタは、半導体基板と、該半導体基板の上方に形成された下部電極１６と、該下部電極の上に形成された誘電体膜１８と、該誘電体膜の上に該下部電極と重なるように形成された上部電極２０と、を備える。そして、該下部電極の上面と側面は、該下部電極の中央部分の厚さよりも大きい曲率半径を持つ第１曲面で、角部が形成されないように接続され、該下部電極は、該下部電極の側面に該下部電極の中央部分の厚さよりも大きい曲率半径を持つ第２曲面を形成することにより、該下部電極の外周に向かうほど薄く形成されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いトリミング回路を提供する。書き換え可能なトリミング回路を提供する。信頼性の高いトリミング回路の駆動方法を提供する。書き換え可能なトリミング回路の駆動方法を提供する。
【解決手段】オフリーク電流が極めて小さいトランジスタのソース電極またはドレイン電極に接続された記憶ノードと、該記憶ノードにゲート電極が接続されたトランジスタを用いてトリミング回路を構成する。また、該オフリーク電流が極めて小さいトランジスタを用いて、該記憶ノードにゲート電極が接続されたトランジスタのソース電極とドレイン電極に対して並列に接続された素子または回路のトリミング状態を制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置において、少なくとも容量素子とトランジスタとを有する回路要素が占める面積を小さくする。
【解決手段】第１のトランジスタと第２のトランジスタと容量素子とを有する半導体装置において、第２のトランジスタよりも上方に第１のトランジスタ及び容量素子を配置する。そして、第１のトランジスタのソース又はドレインの一方と、容量素子の一方の電極とを兼ねる共通電極を設ける。さらに、容量素子の他方の電極を共通電極よりも上方に配置する。 （もっと読む）

【課題】同一基板上に酸化物半導体を用いたオフセットトランジスタとオフセットでないトランジスタを形成する。
【解決手段】酸化物半導体層２０２とゲート絶縁物２０３とゲート配線となる第１層配線２０４ａ、第１層配線２０４ｂを形成する。その後、オフセットトランジスタをレジスト２０６で覆い、酸化物半導体層に不純物を導入し、Ｎ型酸化物半導体領域２０７を形成する。その後、第２層配線２０９ａ、第２層配線２０９ｂ、第２層配線２０９ｃを形成する。以上の工程により、オフセットトランジスタとそうでないトランジスタ（アラインドトランジスタ等）を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】多くの半導体装置に必要な低温処理と両立しない高温操作を必要とするような欠点がない、半導体構造を提供することを目的とする。
【解決手段】下部誘電層（１５１）へ接合された基板（１０３）、および、下部電極（１２１）を通じて前記下部誘電層（１５１）と接合される垂直方向半導体装置（１１１）を含む半導体構造であって、前記垂直方向半導体装置（１１１）は、ｎ^＋−ｐ−ｎ^＋層（１２４）を有する隔離構造（１３５）を含む。 （もっと読む）

【課題】容量素子のＱ値（Ｑｕａｌｉｔｙ Ｆａｃｔｏｒ）特性を向上する。
【解決手段】容量素子は、互いに対向する一対の電極ＥＬ１０、ＥＬ２０と、一対の電極の一方の電極に設けられ、一方の電極の両端部から間隔を置いて配置された第１端子部とＴＥ１０、一対の電極の他方の電極に設けられ、他方の電極の両端部から間隔を置いて配置された第２端子部とＴＥ２０を有している。 （もっと読む）

【課題】低電圧デバイス保護付き高電圧複合半導体デバイスを提供する。
【解決手段】電圧保護されたデバイスを含複合半導体デバイスの１つの好適な実現では、ノーマリオフ複合半導体デバイス３００が、第１出力キャパシタンス３１８を有するノーマリオンIII-窒化物パワートランジスタ３１０と、このノーマリオンIII-窒化物パワートランジスタとカスコード接続された低電圧（ＬＶ）デバイス３２０を具えて、このノーマリオフ複合半導体デバイスを形成し、このＬＶデバイスは第２出力キャパシタンス３４８を有する。第１出力キャパシタンス対第２出力キャパシタンスの比率を、ノーマリオンIII-窒化物パワートランジスタのドレイン電圧対ＬＶデバイスの降伏電圧の比率に基づいて設定して、ＬＶデバイスの電圧保護を行う。 （もっと読む）

【課題】 電気信号の電圧振幅が大きいときにも、可変容量回路に形成されるトランジスタの寄生ダイオードがオンすることを防止し、電気信号の波形が歪むことを防止する。
【解決手段】 可変容量回路は、電気信号が伝達されるノードに一端が接続される容量素子と、容量素子の他端と第１電源線との間に配置される第１トランジスタと、他端と第２電源線との間に直列に配置される抵抗素子および第１トランジスタと極性が逆の第２トランジスタとを含んでいる。第１トランジスタはゲートで第１制御信号を受け、第１モード中にオンし、第２モード中にオフする。第２トランジスタは、ゲートで第２制御信号を受け、第１モード中にオフし、第２モード中にオンする。これにより、容量素子の他端の中心電圧は、第１トランジスタのオフ中に第２電源線の電圧に設定され、第２トランジスタのオフ中に第１電源線の電圧に設定される。 （もっと読む）

【課題】基板裏面側にグラウンドプレーンと信号配線との絶縁構造を構成しなくてもすみ、かつ、寄生インダクタンスをゼロに近づけられるようにする。
【解決手段】外側導体２ａと中心導体２ｃとの間に誘電体２ｂを配置し、外側導体２ａを下面配線層６に直接接触させると共に、誘電体２ｂを中心導体２ｃの先端に残す。これにより、中心導体２ｃと外側導体２ａとの間の誘電体２ｂを通じてノイズが流れる。よって、キャパシタ構造部２と下面配線層６との間の寄生インダクタンス成分や寄生抵抗成分をゼロに近づけられ、キャパシタ構造部２でフィルタリングされたノイズをより除去できる。また、中心導体２ｃが誘電体２ｂを貫通していないため、中心導体２ｃと接続するための配線層をシリコン基板１の裏面側に形成しなくても済む。このため、シリコン基板１の裏面側にはグラウンドプレーンとなる下面配線層６のみ形成すれば良く、多層配線等の複雑な工程が不要となる。 （もっと読む）

【課題】容量素子を備え、電気的特性の安定化が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基体１上の配線層に形成されている配線と絶縁層とからなる容量素子１０を備える。そして、容量素子１０の形成領域内の半導体基体１１上に形成されている導体パターンと、導体パターンの電位を固定するための電位固定端子２８とを備える半導体装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】配線層の空きスペースを利用して電源補償容量を形成する。
【解決手段】Ｙ方向に配列された複数のメモリマットＭＡＴと、Ｙ方向に隣接するメモリマットＭＡＴ間にそれぞれ配置されたセンス領域ＳＡと、カラム選択信号を生成するカラムデコーダ１３と、複数のメモリマットＭＡＴ上をＹ方向に延在し、カラム選択信号をカラムデコーダ１３から複数のセンス領域ＳＡに供給するカラム選択線ＹＳと、カラムデコーダ１３からみて最も遠いメモリマットＭＡＴａ上に設けられた電源補償容量３０とを備える。電源補償容量３０は、容量電極として機能する電源配線ＶＬ１，ＶＬ２を含み、その少なくとも一方がカラム選択線ＹＳと同じ配線層に形成されている。本発明によれば、カラム選択線ＹＳを形成する必要のないメモリマットＭＡＴａ上に電源補償容量３０を設けていることから、チップ面積を縮小することが可能となる。 （もっと読む）