【課題】任意の配線設計に適用でき、高精度な抵抗比を有する２個の抵抗体を備えた小型の半導体装置を提供する。
【解決手段】抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆの長さをＬ、配線４ａ，４ｂの直上にある抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆの外辺の長さを配線上長さＨ、外辺配線被覆率Ｖを、Ｖ＝Ｈ／２Ｌで定義したとき、２個の抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆのうち少なくとも外辺配線被覆率Ｖの小さい抵抗体Ｒ２ｆの下方において、配線４ａ，４ｂと同じ配線層から形成された反射補正パッドＰａ，Ｐｂが、外辺の直下に配置されてなり、反射補正パッドＰａ，Ｐｂの直上にある抵抗体Ｒ２ｆの外辺の長さを補正パッド上長さＰとし、抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆの外辺配線層被覆率Ｗを、Ｗ＝（Ｈ＋Ｐ）／２Ｌで定義したとき、２個の抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆについて、外辺配線層被覆率Ｗの差が、記外辺配線被覆率Ｖの差より小さく設定されてなる半導体装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】集積電子構成要素を含む半導体発光装置を提供する。
【解決手段】シリコンダイオード、抵抗体１６２、コンデンサ１６４、及び誘導子のような１つ又はそれよりも多くの回路要素が、半導体発光装置の半導体構造１１０と装置を外部構造に接続するのに使用される接続層との間に配置される。半導体構造に対するｎ接点１１４は、複数のバイアにわたって分散され、これは、１つ又はそれよりも多くの誘電体層によってｐ接点１１２から隔離されている。回路要素は、接点−誘電体層−接続層のスタックに形成される。 （もっと読む）

【課題】 少ない工程数で形成でき、耐熱性に優れた温度センサを備える炭化珪素半導体装置を得る。
【解決手段】 炭化珪素基板１の活性領域ＡＲに形成された半導体素子と、活性領域ＡＲを取り囲むように炭化珪素基板１中に形成されたウエル領域５と、炭化珪素基板１上に配設される多結晶シリコンからなるゲート電極８と、ゲート電極８と同時に形成され、その一部を用いて形成した測温抵抗体１７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気特性の制御された酸化物半導体層を用いて作製された抵抗素子及び薄膜トランジスタを利用した論理回路、並びに該論理回路を利用した半導体装置を提供する。
【解決手段】抵抗素子３５４に適用される酸化物半導体層９０５上にシラン（ＳｉＨ_４）及びアンモニア（ＮＨ_３）などの水素化合物を含むガスを用いたプラズマＣＶＤ法によって形成された窒化シリコン層９１０が直接接するように設けられ、且つ薄膜トランジスタ３５５に適用される酸化物半導体層９０６には、バリア層として機能する酸化シリコン層９０９を介して、窒化シリコン層９１０が設けられる。そのため、酸化物半導体層９０５には、酸化物半導体層９０６よりも高濃度に水素が導入される。結果として、抵抗素子３５４に適用される酸化物半導体層９０５の抵抗値が、薄膜トランジスタ３５５に適用される酸化物半導体層９０６の抵抗値よりも低くなる。 （もっと読む）

【課題】高電圧が不要で安定した状態を得ること。
【解決手段】半導体装置１０に形成されたヒューズ素子１１は、概略的に、拡散領域２２と、拡散領域２２と一部重なるように拡散領域２２より上方に形成された導電体２５を含む。半導体装置１０の半導体基板２１には、拡散領域２２が形成されている。半導体基板２１には素子分離領域２３が形成されている。拡散領域２２を含む半導体基板２１上には絶縁膜２４が形成されている。絶縁膜２４上には、導電体２５が形成されている。導電体２５上には、カバー膜２６が形成されている。カバー膜２６は、導電体２５の上面及び側面を覆うように形成されている。カバー膜２６は、絶縁膜２４より高い引っ張り応力を持つ。 （もっと読む）

【課題】低電圧で動作するＭＩＳトランジスタと高電圧で動作するＭＩＳトランジスタや抵抗素子等の素子とを混載した半導体装置において、不純物の導入による素子の特性のばらつきを抑える。
【解決手段】半導体装置は、第１のゲート絶縁膜４ａと、第１のゲート電極６ａと、第１のゲート電極６ａの両側方に形成された第１のＬＤＤ領域７ａと、第１のＬＤＤ領域７ａの外側に位置する第１のソース／ドレイン領域１３ａとを有する第１のトランジスタ３０を備える。第１のトランジスタ３０は、第１のゲート電極６ａの上面上及び側面上から第１のＬＤＤ領域７ａの少なくとも一方上に亘って設けられた絶縁膜を有しており、前記絶縁膜のうち前記第１のゲート電極の側面上に設けられた部分の膜厚は、前記絶縁膜のうち前記第１のＬＤＤ領域の少なくとも一方上で最も薄い部分の膜厚よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】透明酸化物膜を用いた半導体デバイスや回路を提供する。
【解決手段】電子キャリア濃度が１０^１５／ｃｍ^３以上、１０^１８／ｃｍ^３未満である、Ｉｎ―Ｚｎ―Ｇａ酸化物、Ｉｎ―Ｚｎ―Ｇａ―Ｍｇ酸化物、Ｉｎ―Ｚｎ酸化物、Ｉｎ―Ｓｎ酸化物、Ｓｎ−Ｉｎ−Ｚｎ酸化物、Ｉｎ酸化物、Ｚｎ―Ｇａ酸化物、及びＩｎ―Ｇａ酸化物のうちのいずれかである非晶質酸化物を、Ｎ型半導体として用いたＮ型ＴＦＴを含む回路を構成要素としており、前記Ｎ型ＴＦＴは、ゲート電圧無印加時のソース−ドレイン端子間の電流が１０マイクロアンペア未満であり、電界効果移動度が１ｃｍ^２／（Ｖ・秒）超であることを特徴とする集積回路。 （もっと読む）

【課題】無駄な電流や信号の歪み等を発生させることなく、抵抗素子層の電位と、その周辺の半導体基板や電源線、信号線等の電位との電位差によって抵抗素子層の抵抗値が変化してしまうことを抑えることのできる半導体抵抗素子及び半導体抵抗素子を有する半導体モジュールを提供する。
【解決手段】抵抗素子層１３は、抵抗値変化係数Ｋ１，Ｋ２によって、正極領域である領域１３Ａと負極領域である領域１３Ｂとに分かれている。基準位置ｏから領域１３Ａの中心位置ａ又は領域１３Ｂの中心位置ｂまでの間の抵抗値を量とする指標値ｒ１，ｒ２と、当該抵抗値Ｒ１，Ｒ２と、抵抗値変化係数Ｋ１，Ｋ２との積の総和が零になるように形成される。つまり、領域１３Ａの抵抗値変化成分ｄＲ１と領域１３Ｂの抵抗値変化成分ｄＲ２とを相殺して、抵抗素子層１３の抵抗値が変化してしまうのを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡略化することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１上に薄膜抵抗体１５を構成する金属薄膜およびバリアメタル１６を構成するバリアメタル薄膜を形成する。そして、金属薄膜およびバリアメタル薄膜をパターニングし、薄膜抵抗体１５と当該薄膜抵抗体１５上にバリアメタル膜１６ａを形成する。その後、バリアメタル膜１６ａ上に絶縁膜１７を形成し、絶縁膜１７にバリアメタルエッチング部１６ｂを露出させる開口部１７ａと、コンタクト部を露出させるコンタクトホール１７ｂを形成する。続いて、コンタクトホール１７ｂを介してバリアメタル膜１６ａと電気的に接続される導電性薄膜１８ｃを形成する。その後、導電性薄膜１８ｃのうちバリアメタルエッチング部１６ｂ上に位置する部分をウェットエッチングによってパターニングし、バリアメタル膜１６ａのうちバリアメタルエッチング部１６ｂをパターニングする。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐量を改善することができる半導体装置を得る。
【解決手段】Ｓｉ基板１０（基板）上にゲート抵抗７（下配線）が設けられている。ゲート抵抗７を層間絶縁膜１２が覆っている。層間絶縁膜１２上に、互いに分離したアルミ配線５ａ，５ｂ（第１及び第２の上配線）が設けられている。アルミ配線５ａ，５ｂを半絶縁性の保護膜４が覆っている。ゲート抵抗７の直上であってアルミ配線５ａとアルミ配線５ｂとの間の領域に、保護膜４が設けられていない。 （もっと読む）

【課題】パッケージ応力に起因する回路部品の電気特性変動のバラツキによって出力信号が変動する内部回路について、パッケージ応力に起因する出力信号の変動を防止する。
【解決手段】半導体チップ５に形成された内部回路はその回路を構成する複数の回路部品の電気特性の変動のバラツキによって出力信号が変動するものである。チップタブ３の平面サイズは半導体チップ５の平面サイズよりも小さい。上方から見てチップタブ３の配置位置の全部が半導体チップ５の配置位置と重なっている。さらに、封止樹脂１３に起因して半導体チップ５に加わる応力の大きさがチップタブ３上で均一になる位置関係でチップタブ３の周縁と上記半導体チップ５の周縁は間隔をもって配置されている。上記回路部品は半導体チップ５内部で上記チップタブ３上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置の小型化を実現する。
【解決手段】 第１の絶縁膜上に、島状の半導体層及び前記半導体層を囲む第２の絶縁膜を形成し、前記半導体層の上面と平面的に重なるようにして導電膜からなる抵抗素子（例えばポリシリコン抵抗素子）を配置する。 （もっと読む）

【課題】素子分離領域での電流リークを低減する。
【解決手段】抵抗素子５用の多結晶シリコン膜５０の第２領域５２にはドーパントがイオン注入されている。抵抗素子６用の多結晶シリコン膜６０の第２領域６２には窒素等がイオン注入されている。第２領域５２，６２は第１領域５１，６１よりも結晶欠陥密度が高い。抵抗素子７用の多結晶シリコン膜７０中の結晶欠陥密度はシリサイド膜７３付近においてより高い。抵抗素子８用の多結晶シリコン膜８０は素子分離絶縁膜３の開口内のシリサイド膜を介して基板２に接している。当該シリサイド膜付近の基板表面２Ｓ内の結晶欠陥密度は周辺よりも高い。 （もっと読む）

【課題】ダミーアクティブ領域の配置に伴うチップ面積の増大を引き起こすことなく、半導体基板の表面の平坦性を向上させる。
【解決手段】ダミーアクティブ領域であるｎ型埋込み層３の上部には、厚い膜厚を有する高耐圧ＭＩＳＦＥＴのゲート絶縁膜７が形成されており、このゲート絶縁膜７の上部には、内部回路の抵抗素子ＩＲが形成されている。ｎ型埋込み層３と抵抗素子ＩＲとの間に厚いゲート絶縁膜７を介在させることにより、基板１（ｎ型埋込み層３）と抵抗素子ＩＲとの間に形成されるカップリング容量が低減される構造になっている。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ（ＦＵＳＥ）を備えた半導体装置の信頼性を向上する。
【解決手段】半導体基板１１の主面上に形成にされた多層配線を構成する層Ｍ１〜Ｍ６のうちの層Ｍ４に設けられた電気溶断型の救済用のヒューズ４ａおよび試験用のヒューズ４ｂと、ヒューズ４ａの近傍であって層Ｍ２および層Ｍ６に設けられた一対の導電板１０ａと、ヒューズ４ｂの近傍であって層Ｍ３および層Ｍ５に設けられた一対の導電板１０ｂとから構成する。ヒューズ４ｂと導電板１０ｂとの間が、ヒューズ４ａと導電板１０ａとの間より近いものとする。 （もっと読む）

【課題】半導体装置に損傷を与えることなく、単体の抵抗素子自体の抵抗値を精度良く微調整する。
【解決手段】Ｐ型の半導体基板１０上にＮ型の半導体層１１が形成されている。半導体層１１の表面には薄い第２の絶縁膜１３が形成され、第１の絶縁膜１２及び第２の絶縁膜１３上にフローティングポリシリコン層１４が形成されている。フローティングポリシリコン層１４は第３の絶縁膜１５に覆われている。第３の絶縁膜１５によって覆われたフローティングポリシリコン層１４上にはポリシリコン抵抗層１６が形成されている。そして、半導体層１１とポリシリコン抵抗層１６との間に電圧を印加することにより、第２の絶縁膜１３を通してフローティングポリシリコン層１４の中に電子が注入され、ポリシリコン抵抗層１６の中に正孔蓄積層１６Ａが形成される。 （もっと読む）

【課題】素子分離酸化膜上に所望の形状の抵抗素子を形成して、抵抗値の精度を高めて信頼性を向上させる。
【解決手段】半導体基板１の表面に形成された所定領域の素子分離酸化膜２上に複数の抵抗素子４が形成された半導体装置であって、抵抗素子４と近接する位置に活性領域３を設けた。抵抗素子４近傍の素子分離酸化膜２を必要な範囲に区切ることができ、ＣＭＰ法による素子分離酸化膜２の研磨の際に素子分離酸化膜２の中央部に凹みが形成されてしまうことを抑止できるため、抵抗素子４の形状の寸法精度を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】無駄な電流や信号の歪みを発生させることなく、抵抗素子層の周辺の半導体基板や、抵抗素子層の上部を通過する電源線、信号線等の電位によって抵抗値が変化するのを抑えることのできる抵抗素子及び反転バッファ回路を提供する。
【解決手段】抵抗素子１０は、半導体基板１４上に、第１の電極１１及び第２の電極１２を有する抵抗素子層１３が形成されている。第１の電極１１の電位によってバイアスされた第１の導電層１５と、第２の電極１２の電位によってバイアスされた第２の導電層１６とで、抵抗素子層１３の下部が均等に覆われている。このように、両端をバイアスされた抵抗素子層１３の下部又は上部の少なくとも一方を覆う第１の導電層１５及び第２の導電層１６によって、抵抗素子層１３の周辺の半導体基板１４等との電圧差による抵抗値の変化を相殺することで、抵抗値の変化を抑える。 （もっと読む）

【課題】膜厚のばらつきに起因する抵抗値の変動を抑制し、より高精度な抵抗素子を提供する。
【解決手段】第１膜厚（Ｔ１）（Ｈ１）で形成され、第１幅（Ｗ１）を有する抵抗素子第１部分（２）と、第１膜厚（Ｔ１）（Ｈ１）で形成され、第１幅（Ｗ１）に依存して決定する第２幅（Ｗ２）を有する抵抗素子第２部分（３）とを具備する抵抗素子を構成する。ここにおいて、第１幅（Ｗ１）と第２幅（Ｗ２）との和は一定である。また、抵抗素子第１部分（２）は、抵抗素子第１部分（２）の底面からの高さが第１高さ（Ｈ１）となる位置に、抵抗素子第１部分（２）の上面を有する。また、抵抗素子第２部分（３）は、抵抗素子第１部分（２）の底面を含む面からの高さが第１高さ（Ｈ１）となる位置に、抵抗素子第２部分（３）の上面を有する。そして、抵抗素子第１部分（２）と抵抗素子第２部分（３）とは、接続部を介して互いに接続されている。 （もっと読む）