【課題】半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】半導体装置の設計フローは、プラグＰＧに接続された配線Ｍ１を含むチップレイアウトを設計するステップと、設計されたチップレイアウトにおけるプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを、プラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量に応じて修正するステップとを有している。この修正ステップは、テストウエハに試験用プラグとそれに３次元的に接続された試験用配線とを含むテストパターンを形成するサブステップと、試験用配線の配線幅および配線密度と試験用プラグに対する試験用配線のリセス量との相関を調べるサブステップを有している。更に、得られた相関に基づいてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量を予測するサブステップと、予測されたリセス量に応じてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを修正するサブステップを有している。 （もっと読む）

【課題】任意の配線設計に適用でき、高精度な抵抗比を有する２個の抵抗体を備えた小型の半導体装置を提供する。
【解決手段】抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆの長さをＬ、配線４ａ，４ｂの直上にある抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆの外辺の長さを配線上長さＨ、外辺配線被覆率Ｖを、Ｖ＝Ｈ／２Ｌで定義したとき、２個の抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆのうち少なくとも外辺配線被覆率Ｖの小さい抵抗体Ｒ２ｆの下方において、配線４ａ，４ｂと同じ配線層から形成された反射補正パッドＰａ，Ｐｂが、外辺の直下に配置されてなり、反射補正パッドＰａ，Ｐｂの直上にある抵抗体Ｒ２ｆの外辺の長さを補正パッド上長さＰとし、抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆの外辺配線層被覆率Ｗを、Ｗ＝（Ｈ＋Ｐ）／２Ｌで定義したとき、２個の抵抗体Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆについて、外辺配線層被覆率Ｗの差が、記外辺配線被覆率Ｖの差より小さく設定されてなる半導体装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】高周波配線と相異なる層に設けられたダミー導体パターンに発生する渦電流を抑制する。
【解決手段】半導体装置１は、高周波配線、およびダミー導体パターン２０（第２のダミー導体パターン）を備えている。ダミー導体パターン２０は、高周波配線と相異なる層中に形成されている。ダミー導体パターン２０は、平面視で、高周波配線と重なる領域を避けるように配置されている。これにより、高周波配線と相異なる層に設けられたダミー導体パターンに発生する渦電流を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】容量素子が占有する回路面積の増大を抑制する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、メモリセル領域、第１電極、及び第２電極を有する。メモリセル領域は、基板上に形成され、複数のメモリセルが積層される。第１電極は、基板上に複数の導電層が積層されて、容量素子の一方の電極として機能する。第２電極は、基板上に複数の導電層が積層されて、第１電極と基板に水平な方向において分離され、容量素子の他方の電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】容量素子を有する半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】ＭＩＳＦＥＴ形成領域Ａ１の配線Ｍ１Ａと配線Ｍ２Ａとの間に位置する層間絶縁膜ＩＬ２Ａと、キャパシタ形成領域Ｂ１の導電膜Ｍ１Ｂと導電膜Ｍ２Ｂとの間に位置する層間絶縁膜ＩＬ２Ｂについて、層間絶縁膜ＩＬ２Ｂを、層間絶縁膜ＩＬ２Ａより誘電率の大きい膜[ε（ＩＬ２Ａ）＜ε（ＩＬ２Ｂ）]とする。また、導電膜Ｍ１Ｂと導電膜Ｍ２Ｂとは、層間絶縁膜ＩＬ２Ｂを介して対向し、導電膜Ｍ１Ｂには第１電位が印加され、導電膜Ｍ２Ｂには第１電位とは異なる第２電位が印加される。このように、縦方向に容量（Ｃｖ）を形成することで、耐圧劣化の問題を回避し、容量を構成する導電膜Ｍ１ＢとＭ２Ｂ間に高誘電率の絶縁膜を用いることで、容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】製造コストの増加を抑制し、キャパシタの端部の段差を小さくできるトレンチ型ＰＩＰキャパシタとそれを用いたパワー集積回路装置およびパワー集積回路装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】トレンチ５２内壁に分離絶縁層５３を配置し、この分離絶縁層５３を介して下部電極となる第１ポリシリコン５４を埋め込んだトレンチ型ＰＩＰキャパシタ５０を半導体基板に形成することで、キャパシタの端部に形成される段差を低減できる。その結果、配線となるメタル層５９を過度に厚くする必要がなく、メタル層５９を微細化することができる。その結果、パワーＩＣを微細化することができる。 （もっと読む）

【課題】データ出力バッファの正確なインピーダンスキャリブレーション動作を行う。
【解決手段】電源ラインＶＬ１とデータ端子２４との間に接続されたＰ型トランジスタユニット２０１と、電源ラインＶＬ１とキャリブレーション端子ＺＱとの間に接続されたＰ型トランジスタユニット１１１〜１１４と、キャリブレーション端子ＺＱの電位が基準電位ＶＲＥＦと一致するよう、Ｐ型トランジスタユニット１１１〜１１４インピーダンスを調整し、一致した状態におけるＰ型トランジスタユニット１１１〜１１４の一つのインピーダンスをＰ型トランジスタユニット２０１に反映させるインピーダンス制御回路とを備える。これにより、基準電位ＶＲＥＦが電源電位ＶＤＤの半分のレベルからオフセットしたレベルに設定されている場合であっても、正確なキャリブレーション動作を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置においては、配線の伝送特性が不安定となってしまう。
【解決手段】半導体装置１は、配線１０、およびダミー導体パターン２０を備えている。配線１０は、５ＧＨｚ以上の周波数を有する電流が流れる配線である。配線１０の近傍には、ダミー導体パターン２０が配置されている。ダミー導体パターン２０の平面形状は、１８０°を超える内角を有する図形に等しい。 （もっと読む）

【課題】残渣による配線間のショートの発生を防ぐ。
【解決手段】本発明の半導体装置は、高誘電率材料を含む第１のゲート絶縁膜４と第１のゲート絶縁膜４上に形成された第１のメタルゲート電極５とを備える第１のトランジスタが形成される半導体基板上の第１の領域と、高誘電率材料を含む第２のゲート絶縁膜４と第２のゲート絶縁膜上に形成された第２のメタルゲート電極１２とを備え、第１のトランジスタとは閾値電圧の異なる第２のトランジスタが形成される半導体基板上の第１の領域に並ぶ第２の領域と、電位の異なる第１および第２の配線と、を有し、第１の領域と第２の領域との境界が、第１および第２の配線の少なくとも一方としか重ならない。 （もっと読む）

【課題】高品質な半導体装置を提供する。
【解決手段】第１の絶縁膜１１１、第１の電極１１２、第２の絶縁膜１１３、及び第２の電極１１４を含むゲート構造を有するメモリセルＭＣが複数設けられた記憶部１１と、少なくとも外部１００からのデータを受信し、記憶部にデータを供給する端子１５と、第１の絶縁膜、第１及び第２の電極とを含むゲート構造を有し、電流経路の一端に第１の電圧が印加される第１導電型の第１のトランジスタ１６ａ、一端が第１のトランジスタの電流経路の他端に接続され、他端が端子に接続される第１の抵抗素子１６ｂ、一端が端子及び第１の抵抗素子の他端に接続される第２の抵抗素子１６ｃ及び、ゲート構造を有し、電流経路の一端が第２の抵抗素子の他端に接続され、電流経路の他端に第２の電圧が印加される第２導電型の第２のトランジスタ１６ｄを含む第１の回路１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】過電流に対して内部回路を保護する半導体集積回路装置を提供することを目的としている。
【解決手段】多層配線構造を有する半導体集積回路装置であって、半導体集積回路装置の内部にある内部回路と半導体集積回路装置の外部にある外部回路とを接続するために半導体集積回路装置の内部に設けられたパッドパターンにおいて、第１の配線層と、第１の配線層が形成されている層とは別の層に形成されている第２の配線層と、第１の配線層と第２の配線層を接続するビアと、を備え、第２の配線層にヒューズパターンが形成されており、ヒューズパターンを経由して内部回路と外部回路とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】設計する回路の中で電流の多く流れる信号線を容易に見つけ出すことができ、容
易にその部分の電流を測定できるスタンダードセルを提供することを課題とする。
【解決手段】電流検出用テストパッドを少なくとも２つ有するスタンダードセルを自動レ
イアウトで配置する。そして、２つのテストパッド間を接続する配線を切断することで、
該２つのテストパッドを電流測定用テストパッドとして利用する。なお、スタンダードセ
ル内の２つのテストパッド間は、過電流が流れることにより電流の流れる経路が遮断され
る配線によって接続される構成としてもよい。また、２つのテストパッド間をつなぐ配線
部にメモリ又はアナログスイッチを設ける構成としてもよい。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を、より小型化することができる半導体装置、当該半導体素子、及び基板を得る。
【解決手段】半導体素子１２は、階調電圧を出力する半導体素子内部出力部３０Ｃ，３０Ｄ（第１及び第２の階調電圧出力部）と、半導体素子内部出力部３０Ｃの周辺に配置され、半導体素子内部出力部３０Ｃに電源を供給する第１の電源端子電極５２ａと、半導体素子内部出力部３０Ｄの周辺に配置され、半導体素子内部出力部３０Ｄに電源を供給する第２の電源端子電極５２ａと、を備え、基板１８は、半導体素子内部出力部３０Ｃ，３０Ｄの両方に共通して接続され、半導体素子１２の下側に設けられた共通接続部９４（第１の配線パターン）と、共通接続部９４と外部入力端子（２２）とを電気的に接続するインピーダンス調整部９６（第２の配線パターン）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能な電磁波干渉フィルタを提供すること。
【解決手段】実施形態に係る電磁波干渉フィルタ１０は、半導体基板１１の表面上に形成された抵抗Ｒ、およびこの抵抗Ｒの両端にそれぞれ電気的に接続された一対のキャパシタＣ、をそれぞれ具備する複数の電磁波干渉フィルタ回路１２と、これらの電磁波干渉フィルタ回路１２間の半導体基板１１に埋め込み形成された素子分離層１３と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】回路素子の素子特性の変動を抑制すること。
【解決手段】半導体基板１１０には、拡散領域１１１を有する抵抗素子（回路素子）Ｒ１が形成されている。拡散領域１１１を含む半導体基板１１０の上には、層間絶縁膜１６１が形成される。拡散領域１１１のシリサイド層（コンタクト部）１１１ａは、コンタクトプラグ１６２を介して層間絶縁膜１６１上の配線と接続される。拡散領域１１１の上には、コンタクトホール１６３を形成するためのエッチングストッパ膜１５２が形成されている。このエッチングストッパ膜１５２は、拡散領域１１１上の保護絶縁膜１３１に対応する部分が除去され、開口が形成されている。 （もっと読む）

【課題】多層配線内の信号線とそれに接続されるビアとを共に同軸構造にする。
【解決手段】多層配線には、例えば、異なる層に設けられる信号線１０，２０と、これらの信号線１０，２０間を接続する接続部３０（ビア）が設けられる。信号線１０，２０は、配線層及び配線層間を接続する接続層で囲み、同軸構造とする。更に、信号線１０，２０間を接続する接続部３０も、配線層及び配線層間を接続する接続層で囲み、同軸構造とする。信号線１０，２０のほか接続部３０も同軸構造とすることで、信号線１０，２０及び接続部３０を伝送される信号の、周囲からの、又は周囲への、電磁気的な影響が効果的に抑制されるようになる。 （もっと読む）

【課題】プログラマブルなアナログデバイスを提供する。また、電源電位の供給が遮断されたときでもデータの保持が可能で、且つ、低消費電力化が可能なアナログデバイスを提供する。
【解決手段】アナログ素子を含むユニットセルにおいて、ユニットセルのスイッチとして、第１乃至第４のトランジスタを用い、第１のトランジスタと第２のトランジスタとが接続された第１のノード、及び、第３のトランジスタと第４のトランジスタが接続された第２のノードの電位を制御することで、ユニットセルの出力を導通状態、非導通状態、又はアナログ素子を介した導通状態のいずれかに切り替える半導体装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】チップ内の温度差が小さい高信頼性の半導体集積回路を提供できるようにする。
【解決手段】熱解析部１１は、設計する半導体集積回路のデータから熱解析を行い、温度分布を算出し、ベクトル生成部１２は、算出された温度分布の温度勾配に応じたベクトルを生成し、ダミーパターン生成部１３は、生成されたベクトルにしたがってダミーパターンを生成し、半導体集積回路のレイアウトデータに追加する。このようなダミーパターンを生成することで、温度分布が平均化され、チップ内の温度差が小さい高信頼性の半導体集積回路を提供できるようになる。 （もっと読む）

【課題】集積回路インダクターを提供すること。
【解決手段】第１の端子と、第２の端子と、第１の端子と第２の端子との間に連結された伝導性経路とを備え、伝導性経路は、集積回路上に複数の撚り合わされた伝導性線を含む、インダクター。撚り合わされた伝導性線は、集積回路上に少なくとも１つの金属層から形成された少なくとも第１の伝導性線と、集積回路上に少なくとも１つの金属層から形成された少なくとも第２の伝導性線とを含む、インダクター。 （もっと読む）

【課題】 従来のＰＤ製造プロセスと同じ工程で大受光径ＰＤの帯域を拡大して、光受信部の高速化を図る。
【解決手段】 受光デバイスは、半導体基板の上方に形成された第１導電型の第１半導体層、前記第１半導体層上の光吸収層、および前記光吸収層上の第２導電型の第２半導体層の積層構造を有する光検出素子と、前記半導体基板の上方で、前記光検出素子に接続されるインダクタと、前記光検出素子で生成された電流を前記インダクタを介して取り出す出力電極と、前記光検出素子にバイアス電極を印加するバイアス印加用電極と、前記インタダクタの金属配線と交差して、前記光検出素子と、前記出力電極又は前記バイアス印加用電極との間を電気的に接続する交差配線と、を含む。 （もっと読む）