【課題】通過損失を低減するためにオン状態時の抵抗を小さくしても、十分なアイソレーション量を確保する高周波スイッチを得る。
【解決手段】トランジスタ５ａ，５ｂのオフ容量Ｃｏｆｆと同一の容量Ｃｃを有するクロスカップルキャパシタ８ａ，８ｂを設ける。
クロスカップルキャパシタ８ａ，８ｂにより、トランジスタ５ａ，５ｂのオフ容量Ｃｏｆｆをキャンセルすることができるので、アイソレーションを大きく改善することができる。したがって、通過損失を低減するためにトランジスタ５ａ，５ｂのオン抵抗Ｒｏｎを小さくしても、十分なアイソレーション量を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】高周波回路に於いては、トランジスタ等の能動素子間および能動素子と外部端子の間を直流的に遮断する必要がありため、ＭＩＭキャパシタ等が多用される。これらのＭＩＭキャパシタのうち、外部端子に接続されたものは、外部からの静電気の影響を受けやすく、静電破壊等の問題を発生しやすい。
【解決手段】本願発明は、半絶縁性化合物半導体基板上に形成された半導体集積回路装置であって、外部パッドに電気的に接続されたＭＩＭキャパシタの第１の電極は前記半絶縁性化合物半導体基板に電気的に接続されており、一方、前記ＭＩＭキャパシタの第２の電極は前記半絶縁性化合物半導体基板に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ビアホールの数を少なくしてもループ発振などの特性劣化が生じにくい半導体電力増幅器を提供する。
【解決手段】半導体電力増幅器は、ゲート電極Ｇと、ドレイン電極Ｄと、前記ゲートフィンガー電極に対向して配置されるソースフィンガー電極横手方向の両サイドに引き出される２つのソース電極Ｓと、を有するユニットＦＥＴと、前記ユニットＦＥＴが、前記ソース電極間を結ぶ略直線方向に複数個並列配置され、隣り合うユニットＦＥＴ間に存在する２つのソース電極の両方を共通して高周波グランド面と接続する第１の接地インダクタンス値を有する第１のビアホール１８Ｋと、隣り合うユニットＦＥＴが存在しない側のソース電極上に配置され、接地インダクタンスを等しくするために前記高周波グランド面に接続する第２の接地インダクタンス値を有する第２のビアホール１８Ｄと、を有する。 （もっと読む）

【課題】低電圧、低電流、或いは低電力といった条件下でも使用することが可能な検波器を提供する。
【解決手段】検波器は、信号入力端子に接続された第１導電型の第１の半導体領域と、信号出力端子に接続された第２導電型の第２の半導体領域であって、第１の半導体領域に接して位置する第２の半導体領域と、交流的に接地された第１導電型の第３の半導体領域であって、第１の半導体領域から離間し且つ第２の半導体領域に接して位置する第３の半導体領域と、一端が第２の半導体領域に接続され、他端が交流的に接地された第１の抵抗素子と、を含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜抵抗又は基板抵抗によって数ｋΩから数十ｋΩの抵抗値を持つゲート抵抗のサイズが基板長さ、基板幅に比べて大きい。
【解決手段】能動層１０を有する半導体基板１１と、半導体基板の能動層１０にオーミック接触するソース電極１３及びドレイン電極１４と、能動層１０の上方に設けられたゲート電極１５と、半導体基板１１に設けられた非活性領域１６と、非活性領域１６上にゲート電極１５の一部が引出されて接触する導体１７と、非活性領域１６上で直流電圧が印加されるパッド電極１８と、パッド電極１８及び導体１７にオーミック接触し、非活性領域１６に設けられたゲート抵抗領域１９とを備え、ゲート抵抗領域１９は半導体基板１１へボロンイオンを注入することによって形成され、ボロンイオンの注入量によりゲート抵抗領域１９上のシート抵抗値を高めたことを備えたことを特徴とする半導体素子の構造が提供される。 （もっと読む）

【課題】放熱性と耐久性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】導電ベースプレートと、導電ベースプレート上に接合される半導体チップと、半導体チップと導電ベースプレートとの接合面の中央部に配置された第１接着剤と、半導体チップと導電ベースプレートとの接合面の周辺部に配置された第２接着剤とを備え、第１接着剤は第２接着剤よりも相対的に熱伝導率が高く、第２接着剤は第１接着剤より相対的に接合力が高い半導体装置。 （もっと読む）

【課題】ＭＭＩＣとＭＭＩＣ外部回路とを接続するボンディングワイヤの影響を比較的簡単な構成で低減し、かつ省スペース化された電力増幅器を提供する。
【解決手段】ＭＭＩＣ基板と、ＭＭＩＣ基板上に配置された高周波プローブパッドと、ＭＭＩＣ基板上に高周波プローブパッドに隣接して配置され、ＭＭＩＣ外部回路とのボンディングワイヤ接続用のメタルプレートとを備える。 （もっと読む）

【課題】伝送線路を接続するビア層の周囲のグラウンドを強化することができると共に、ビア部の特性インピーダンスを調整することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】絶縁層１４を介して積層された第１の半導体基体１１及び第２の半導体基体２１と、第１の半導体基体１１に形成され、信号線１２とグラウンド１３とを含む第１の伝送線路と、第２の半導体基体２１に形成され、信号線２２とグラウンド２３とを含む第２の伝送線路と、第１の伝送線路の信号線１２及び第２の伝送線路の信号線２２に接続された信号線用のビア層と、第１の伝送線路のグラウンド１３及び第２の伝送線路のグラウンドに接続された、グラウンド用の第１のビア層と、第２の伝送線路のグラウンド２３に接続され、かつ、信号線用のビア層に対向して形成された帯状のビア層を含む、グラウンド用の第２のビア層１６を有する半導体装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】占有面積を大きくすることなく、インダクタンス値を変更できる可変インダクタを提供する。
【解決手段】本発明の可変インダクタ１は、スパイラルインダクタ２と、ループ導体５と、前記ループ導体５の一端を開放／短絡するスイッチ７と、を含む可変インダクタであって、前記ループ導体５は前記スパイラルインダクタ２に対して垂直方向に形成され、前記スイッチ７により前記ループ導体５の一端を開放／短絡することによって前記スパイラルインダクタ２のインダクタンス値を調整する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】特性の良好な半導体装置を形成する。
【解決手段】薄膜領域ＴＡ１中に第１の素子領域、第２の素子領域および第１の分離領域を有し、厚膜領域ＴＡ２中に第３の素子領域、第４の素子領域および第２の分離領域を有する半導体装置を次のように製造する。（ａ）絶縁層１ｂを介してシリコン層１ｃが形成された基板を準備する工程と、（ｂ）基板の第１の分離領域および第２の分離領域のシリコン層中に素子分離絶縁膜３を形成する工程と、を有するよう製造する。さらに、（ｃ）薄膜領域ＴＡ１にハードマスクを形成する工程と、（ｄ）ハードマスクから露出した、第３の素子領域および第４の素子領域のシリコン層上に、それぞれシリコン膜７を形成する工程と、（ｅ）第３の素子領域および第４の素子領域のシリコン膜７間に、素子分離絶縁膜１１を形成する工程と、を有するよう製造する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロ波帯やミリ波帯において、１つの集積回路で複数の機能を実現する集積回路と、その集積回路が表面実装される中継基板とに関し、特性の劣化の原因となる広帯域設計をすることなく、多様に異なる帯域に柔軟に対応可能とすることを目的とする。
【解決手段】基板上に個別に形成された複数の回路と、前記基板上で前記複数の回路に隔たって形成され、前記複数の回路の何れにも接続され得る特定の回路とを備え、前記特定の回路と前記複数の回路とは、表面実装型の中継基板との突起電極を介する接続に供されるパッドを有する。 （もっと読む）

【課題】段間の整合状態を観測して整合回路の調整を行うことのできる高周波半導体モジュールを提供する。
【解決手段】複数の半導体増幅素子７、８を直列に接続して増幅を行う多段型の高周波半導体モジュールであって、パッケージ３内に配置される回路基板４、５，６に、半導体増幅素子７、８間の段間における高周波信号をモニタするためのモニタ回路を具備する。 （もっと読む）

【課題】挿入損失およびチップサイズの増大を生じることなく、歪特性に優れた高周波スイッチおよび高周波モジュールを提供する。
【解決手段】高周波スイッチであって、高周波信号を入出力するための複数の入出力端子１０１〜１０３と、２つの入力端子１０１、１０３間に設けられた基本スイッチ部１０４、１０５と、基本スイッチ部１０４、１０５の導通および遮断を制御するための制御電圧が入力される制御端子１０６、１０７とを備え、基本スイッチ部１０４、１０５は、メアンダ形状のゲート電極を有するメアンダ型のＦＥＴ１１０〜１１３及びＦＥＴ１２０〜１２３が多段に接続されて形成され、ＦＥＴ１１０〜１１３、及び１２０〜１２３のうち、入出力端子１０３からの電気的距離が最も短いＦＥＴ１１３、及び１２０のフィンガー長は、他のＦＥＴ１１０〜１１２、及び１２１〜１２３のフィンガー長よりも短い。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の熱抵抗を低減すること、および小型化できる技術を提供する。
【解決手段】複数の単位トランジスタＱを有する半導体装置であって、半導体装置は、単位トランジスタＱを第１の個数（７個）有するトランジスタ形成領域３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆと、単位トランジスタＱを第２の個数（４個）有するトランジスタ形成領域３ｃ、３ｄとを有し、トランジスタ形成領域３ｃ、３ｄは、トランジスタ形成領域３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆの間に配置され、第１の個数は、第２の個数よりも多い。そして、単位トランジスタは、コレクタ層と、ベース層と、エミッタ層とを備えており、エミッタ層上には、エミッタ層と電気的に接続されたエミッタメサ層が形成され、このエミッタメサ層上に、エミッタ層と電気的に接続されたバラスト抵抗層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】コプレーナ線路の信号線路とエアブリッジとの交差容量の影響を抑制しつつ、複数のエアブリッジを容易に使用できるようにする。
【解決手段】エアブリッジ構造１００のうち、下層配線層８に、接地線路２Ａ，２Ｂのうち信号線路１を挟んで互いに対向する位置を切り欠いて形成した空孔領域１２Ａ，１２Ｂをそれぞれ設けるとともに、上層配線層７に、空孔領域１２Ａの上部位置に下層配線層８の接地線路２Ａと電気的に接続された上層接地電極１３Ａと、空孔領域１２Ｂの上部位置に下層配線層８の接地線路２Ｂと電気的に接続された上層接地電極１３Ｂとを設け、エアブリッジ３で、上層接地電極１３Ａ，１３Ｂを介して接地線路２Ａ，２Ｂ間を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】寄生容量が回避できないＳｉ半導体基板上に集積回路と一緒に製造するオンチップアンテナにおいて、その周波数特性をウエハプロセス製造工程後に自在に所望値へ制御する。
【解決手段】Ｓｉ半導体基板に対して第１のプロセスで形成される集積回路部及びアンテナ部を備える半導体装置において、該アンテナ部の周波数特性を調整する方法であって、アンテナ部と集積回路部との間に非連続的な複数の導線パターンを前記第１のプロセスにおいて形成し、第１のプロセスの終了後に、複数の導線パターンの一部又は全部を選択して、選択した前記導線パターンが直列的となるようにボンディングワイヤを懸架する。 （もっと読む）

【課題】化合物半導体材料を節減しつつ化合物半導体を用いた高性能な半導体素子を得ることができる半導体装置、半導体回路基板および半導体回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体回路基板が、トランジスタ形成基板１０と回路形成基板５０とを有する。トランジスタ形成基板１０は、ＧａＮ基板であり、表面にＢＪＴ４０が形成されている。トランジスタ形成基板１０の裏面は平滑であり、かつ裏面にコンタクト領域を有する。回路形成基板５０は、化合物半導体以外の材料で形成され、半導体能動素子を有さない。回路形成基板５０は、平滑な表面、表面に露出するように埋め込まれたコンタクト領域５２、５４、および受動回路（図示せず）を有する。トランジスタ形成基板１０と回路形成基板５０は、絶縁膜等の他の膜を介在させずに直接に接合している。 （もっと読む）

【課題】ドレインオフセット領域を有する高周波増幅用ＭＯＳＦＥＴにおいて、微細化およびオン抵抗低減を図る。
【解決手段】ソース領域１０、ドレイン領域９およびリーチスルー層３（４）上に電極引き出し用の導体プラグ１３（ｐ１）が設けられている。その導体プラグ１３（ｐ１）にそれぞれ第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）が接続され、さらにそれら第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）に対して、導体プラグ１３（ｐ１）上で裏打ち用の第２層配線１２ｓ、１２ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】ドレインオフセット領域を有する高周波増幅用ＭＯＳＦＥＴにおいて、微細化およびオン抵抗低減を図る。
【解決手段】ソース領域１０、ドレイン領域９およびリーチスルー層３（４）上に電極引き出し用の導体プラグ１３（ｐ１）が設けられている。その導体プラグ１３（ｐ１）にそれぞれ第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）が接続され、さらにそれら第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）に対して、導体プラグ１３（ｐ１）上で裏打ち用の第２層配線１２ｓ、１２ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】バランス抵抗器の接続されたゲート間伝導領域を有するマルチゲート半導体デバイスにおいて、スイッチ素子として使用した際の低挿入損失と素子サイズを抑えつつ、オフ時の非線形性を改善する。
【解決手段】バランス抵抗器４０５のゲート間伝導領域への接続点をゲートの２つの両端より内側に設ける。好ましくはメアンダ状ゲートの屈曲領域４０６１に設ける。 （もっと読む）