【課題】本発明は、貫通電極のサイズ（直径）が縮小化された場合でも、４端子法により貫通電極の抵抗値を正確に測定することの可能な半導体チップ及びその抵抗測定方法、並びに半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体基板１０１及び回路素子層１０２を有する半導体チップ本体５５と、半導体チップ本体５５を貫通する第１乃至第４の貫通電極６１〜６４と、回路素子層１０２に設けられた回路素子を介することなく、第１の貫通電極６１と第２の貫通電極６２とを電気的に接続する第１の導電経路９６と、回路素子を介することなく、第１の貫通電極６１と第３の貫通電極６３とを電気的に接続する第２の導電経路９７と、回路素子を介することなく、第２の貫通電極６２と第４の貫通電極６４とを電気的に接続する第３の導電経路９８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】非導通状態におけるトランジスタから漏出するリーク電流を正確に測定することができるテスト回路を実現する。
【解決手段】遅延回路は、制御トランジスタ、測定対象トランジスタおよびコンデンサを備える。制御トランジスタは、入力端子の電位に応じて導通状態および非導通状態のうちのいずれかに移行することにより出力端子の電位を変化させる。チャネルの極性が前記制御トランジスタと同一の測定対象トランジスタは、電源とアースとの間において制御トランジスタに直列に接続される。コンデンサは、制御トランジスタが導通状態から非導通状態へ移行した場合に測定対象トランジスタから漏出したリーク電流の値に応じて出力端子の電位の変化を遅延させる。反転回路は、出力端子の電位を反転して前記入力端子に帰還させる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】半導体装置の設計フローは、プラグＰＧに接続された配線Ｍ１を含むチップレイアウトを設計するステップと、設計されたチップレイアウトにおけるプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを、プラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量に応じて修正するステップとを有している。この修正ステップは、テストウエハに試験用プラグとそれに３次元的に接続された試験用配線とを含むテストパターンを形成するサブステップと、試験用配線の配線幅および配線密度と試験用プラグに対する試験用配線のリセス量との相関を調べるサブステップを有している。更に、得られた相関に基づいてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量を予測するサブステップと、予測されたリセス量に応じてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを修正するサブステップを有している。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路に含まれる終端抵抗の抵抗値を４端子法によって測定をするためには、必要となる端子が増加し、半導体集積回路のチップサイズが増加するという問題がある。そのため、半導体集積回路のチップサイズ増加を抑制しつつ、終端抵抗の抵抗値を高精度で測定可能な半導体集積回路が、望まれる。
【解決手段】半導体集積回路は、第１乃至第４のパッドと、第２のパッドと第４のパッドの間に接続される第１の抵抗と、第３のパッドと第４のパッドの間に接続される第２の抵抗と、第１のパッドと第２のパッドの間に接続される第１のスイッチと、第１のパッド及び第３のパッドを４端子法における電圧測定端子として、第２のパッド及び第４のパッドを４端子法における電流供給端子として、それぞれ使用し第１の抵抗の抵抗値を測定するテストモードへの遷移指示を含む制御信号に基づき、第１のスイッチをオンする制御回路と、を備える。 （もっと読む）

【課題】例えばＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサ等の高歩留まりが要求される製品に使用される高品質ウェーハに関して、接合リーク電流特性を高精度で評価することが可能な半導体基板の評価方法および評価用半導体基板を提供する。
【解決手段】評価する半導体基板１に、複数のＰＮ接合５と、該複数のＰＮ接合５同士を分離する分離酸化膜６と、該分離酸化膜６の下に位置するチャネルストップ層３とを形成してから、前記複数のＰＮ接合５における接合リーク電流を測定して評価を行う半導体基板の評価方法。 （もっと読む）

【課題】ブレード欠けやチップ端部のチッピングを防ぎ、かつウエハプロセスの評価を行うこともできる半導体装置及びその製造方法を得る。
【解決手段】半導体基板１の有効領域２と有効領域２の周囲の無効領域３にそれぞれ拡散層４，５を同時に形成する。拡散層４，５上にそれぞれエミッタ電極６及び小信号電極７を同時に形成する。小信号電極７にプローブ１２を接触させて拡散層５の電気特性又は拡散層５と小信号電極７のコンタクト抵抗を測定するテストを行う。テストの後に、エミッタ電極６上に開口１０を有し、小信号電極７を覆う絶縁膜９を形成する。開口１０を介してエミッタ電極６上にメッキ１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電圧測定回路における電流損失を抑え、異常動作の場合であっても電圧測定回路が破壊されない半導体装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、第１導通電極と、第２導通電極とを有する半導体スイッチ素子１０と、半導体スイッチ素子１０の第１導通電極および第２導通電極間の電圧を測定するための電圧測定回路３１とを備える半導体装置１０１である。電圧測定回路３１は、半導体スイッチ素子１０と並列に接続され、半導体スイッチ素子１０の導通方向に印加される電圧を所定値に制限するダイオード素子１１と、ダイオード素子１１に直列に接続された制御用スイッチ７と、半導体スイッチ素子１０がオフ状態のときに制御用スイッチ７をオフ状態にし、半導体スイッチ素子１０がオン状態のときに制御用スイッチ７をオン状態にするスイッチ制御部１５とを含む。 （もっと読む）

【課題】十分な読み出しマージンを確保し、ヒューズ素子のデータ読み出しの際に誤判定を防止することができるヒューズ素子読み出し回路を提供することを課題とする。
【解決手段】切断済みと未切断とで抵抗値が異なる第１のヒューズ素子（１１５）と、通常モードと試験モードとで異なる抵抗値を有する第１の抵抗回路（７０１，７０２）と、前記第１のヒューズ素子の抵抗値及び前記第１の抵抗回路の抵抗値に応じた読み出し電圧を出力する読み出し電圧出力回路（１０１）とを有することを特徴とするヒューズ素子読み出し回路が提供される。 （もっと読む）

【課題】回路構成の簡素化を図るとともに、遅延回路の遅延時間のばらつき等に起因して生じる問題点を解消し、コンパレータの動作を保証する２逓倍器を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】入力クロック信号ＣＬＫを可変遅延器１６で遅延させた遅延クロック信号ＣＬＫＤと、前記入力クロック信号の位相を位相比較器１８で比較することで前記入力クロック信号ＣＬＫの周波数を２逓倍した２逓倍クロック信号ＣＬＫＸ２を生成する２逓倍器２０と、前記２逓倍器２０からの２逓倍クロック信号ＣＬＫＸ２が第１の論理レベルのとき入力信号の大小の比較動作を行い、前記２逓倍クロック信号ＣＬＫＸ２が第２の論理レベルのとき、比較動作を停止するコンパレータ１０と、前記コンパレータ１０の出力をモニタし、前記コンパレータ１０が比較結果を出力したことを検出した時点でトリガ信号ＤＬＣＬＫを生成する第１の回路１２、１４を備える。 （もっと読む）

【課題】発振周波数変動の許容範囲を任意に設定可能にする。
【解決手段】半導体装置（２１）は、トリミングレジスタ（１１）に保持されたトリミング値によって発振周波数が変更される発振器（１２）と、発振周波数を補正可能な補正回路（２０）とを含む。上記補正回路は、上限値を設定可能な上限値レジスタ（６）と、下限値を設定可能な下限値レジスタ（７）と、発振周波数を分周するための分周回路（１３）と、分周回路の出力をカウントするカウンタ（３）とを含む。さらに上記補正回路は、カウンタの出力を保持可能なバッファレジスタ（４）と、バッファレジスタの保持値が、上限値と下限値との間に入っているか否かを判別する比較器（５）と、その判別結果に基づいてトリミング値を補正するトリミング値補正制御回路（８）とを含む。ユーザは、上限値と下限値とによって、発振周波数変動の許容範囲を任意に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】分割抵抗回路で消費される消費電力を低減することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、抵抗分割回路で抵抗分割された分割電圧を受けるための入力端子と、入力端子から供給される分割電圧と、所定の基準電圧と、の電圧差を検出する検出回路と、外部から入力信号を受けるための信号入力端子と、分割電圧と入力信号の電圧を比較するカレントミラー回路と、を備え、カレントミラー回路は、検出回路が検出した電位差に応じて、カレントミラー回路に入力される分割電圧を実効的に補正する電位補正回路と、を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の出力トランジスタが並列接続された構成を備え、出力トランジスタを含む各電流経路間で分担電流を高精度に均一に揃えることができる半導体装置、および当該半導体装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】互いに並列に接続された複数の出力トランジスタを備える半導体装置であって、出力トランジスタごとに設けられ第１の制御信号を供給する駆動回路と、第１の制御信号に含める出力トランジスタのコンダクタンスの情報を有するデータを記憶するメモリと、メモリにデータを入力するための第１の外部入力端子と、各駆動回路に出力トランジスタを１つずつ入れ替わり導通させる第２の制御信号を入力するための第２の外部入力端子とを備え、各駆動回路は、メモリに記憶されている駆動対象の出力トランジスタについてのデータを読み出して、コンダクタンスの情報を含む第１の制御信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】 論理ゲートの一方の入力を含む信号パスの遅延故障と、論理ゲートの他方の入力を含む信号パスの遅延故障とを、１つの制御点により検出する。
【解決手段】 第１および第２ユーザロジックと、第１ユーザロジックの出力に接続される第１入力を有する第１論理ゲートと、第１論理ゲートの出力に接続された第３ユーザロジックと、第２ユーザロジックと第１論理ゲートとの間に挿入された制御点とを有する。制御点は、第１または第３ユーザロジックの第１スキャンフリップの１つのデータ出力がデータ入力に接続された第２スキャンフリップフロップと、一対の入力が第２スキャンフリップフロップのデータ出力および第２ユーザロジックの出力にそれぞれ接続され、出力が第１論理ゲートの第２入力に接続された第２論理ゲートとを有する。 （もっと読む）

【課題】多様な信号規格の処理に対応する半導体集積回路において、様々な周期性の違いに伴いタイミングと時間幅が変わるアイドル状態に対応した電源制御を適用し、消費電力を低減する。
【解決手段】処理状態と待機状態とを周期的に繰り返して処理を行う半導体集積回路の電源ドメインを制御する電源制御装置であって、待機状態の発生期間および発生間隔を含む周期的特徴情報を取得する周期情報取得部１０３と、電源ドメインが待機状態における待機電圧から半導体集積回路が動作可能となる電圧へ復帰するまでに要する復帰時間と対応付けられた待機電圧候補から、発生期間よりも復帰時間が短くなる待機電圧を電源制御情報として設定する電源制御情報設定部１０４と、電源制御情報に従って発生期間における電源ドメインの待機電圧を制御する電源制御部１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワイヤボンディング時のストレスでボンディングパッド下の絶縁層のダメージを電気的に検出できる半導体装置および導入されたダメージを検出して良品、不良品を判定できる半導体装置の試験方法を提供すること。
【解決手段】酸化膜４上にポリシリコン５を配置し、このポリシリコン５にｐｎダイオード９を形成し、ｎカソード層６上に層間絶縁膜１０を挟んで第１ボンディングパッド１１を配置する。また、ｐアノード層７上に第２ボンディングパッド１２を配設することで、層間絶縁膜１０に導入されるダメージが層間絶縁膜１０を貫通するか否かを電気的に検出できる半導体装置（パワーＩＣなど）とすることができる。 （もっと読む）

【課題】過熱検出回路の検出温度がばらつくことを抑制する。
【解決手段】コンパレータ１７０には、第１抵抗１１０と第１定電流源１２０の間の電圧Ａと、ダイオード１３０と第２定電流源１４０の間の電圧Ｂが入力される。第１リーク電流源１５０は、ドレインが第１抵抗１１０と第１定電流源１２０の間に接続されており、ソース及びゲート電極が第１定電流源１２０と第２配線１０４の間に接続されている。第２リーク電流源１６０は、ドレインが第１配線１０２とダイオード１３０の間に接続されており、ソース及びゲート電極がダイオード１３０と第２定電流源１４０の間に接続されている。 （もっと読む）

【課題】直流電源配線に電流が流れたか否かを検出可能な回路を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置において、駆動回路ＢＬＤＵ，ＢＬＤＤ，ＢＬＢＤＵ，ＢＬＢＤＤは、電流磁界またはスピン注入によってトンネル磁気抵抗素子ＴＭＲ，ＴＭＲＢを第１の磁化状態に初期設定するために、制御信号線ＢＬ，ＢＬＢに直流電流を流す。電源配線ＤＬは、トンネル磁気抵抗素子ＴＭＲ，ＴＭＲＢに近接して設けられる。ここで、トンネル磁気抵抗素子ＴＭＲ，ＴＭＲＢは、電源配線ＤＬに直流電流が流れるときに生じる電流磁界によって第２の磁化状態に変化する。センスアンプ１０は、トンネル磁気抵抗素子ＴＭＲ，ＴＭＲＢが第１の磁化状態から第２の磁化状態に変化したか否かを判定するために、制御信号線ＢＬ，ＢＬＢを介してトンネル磁気抵抗素子ＴＭＲ，ＴＭＲＢに流れる電流を検出する。 （もっと読む）

【課題】消費電力を低減することが可能な半導体装置および電源供給方法を提供することである。
【解決手段】本発明にかかる半導体装置は、内部回路３に電源を供給する電源供給部４と、内部回路３の複数の場所における特性をモニタする複数のモニタ部１_１〜１_Ｎと、複数のモニタ部１_１〜１_Ｎから出力された信号Ｃ_１〜Ｃ_Ｎに基づき算出されたモニタ値Ｃ_ＡＶＥと、設定された比較値ＣＯＭＰとの比較結果に応じて電源供給部４を制御する制御部２と、を備える。制御部２は、複数のモニタ部１_１〜１_Ｎにおける特性のばらつきに応じて比較値ＣＯＭＰを設定する。 （もっと読む）

【課題】部分的な経年劣化の予兆を早期に発見することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】ＬＳＩ１は、複数のモジュールと、複数の遅延モニタを含む遅延モニタ群１５とを備える。各遅延モニタは、複数段のゲート素子を有するリングオシレータを含む。各遅延モニタは、ゲート素子の遅延時間を測定する。ＣＰＵ＃０は、遅延モニタによって測定された遅延時間に基づいて、遅延モニタの近傍のモジュールの経年劣化を判定する。 （もっと読む）