本発明は、窒化物半導体素子の製造方法に関する。本発明の窒化物半導体素子の製造方法は、第１支持基板上に窒化ガリウムエピ層を形成する段階と、前記窒化ガリウムエピ層上に第２支持基板を形成する段階と、前記第１支持基板を除いた残りの領域の表面にパッシベーション層を形成する段階と、前記パッシベーション層をマスクとして前記第１支持基板をエッチングする段階と、前記パッシベーション層を除去して前記第２支持基板および前記窒化ガリウムエピ層を露出させる段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム表面の自然酸化物を過不足なくエッチングするためのエッチング終点検出装置を提供する。
【解決手段】酸を含むエッチング液４によりアルミニウム電極パッド１の自然酸化膜をエッチングする際のエッチング終点検出装置１０は、エッチング液４中に光を照射する発光素子６と、上記光の透過光を受光する受光素子１１と、アンプ１２と、コンパレータ１３とを備えている。アルミニウム電極パッド１とエッチング液４との反応により水素ガス５が発生すると、上記透過光は低下し、振動する。受光素子１１の出力はアンプ１２によって増幅され、コンパレータ１３によって透過光量低下後の電圧を弁別される。あるいは、コンパレータ１３に代えてスペクトルアナライザによって透過光量振動時の電圧を弁別される。よって、エッチング終点検出装置１０は、自然酸化膜のエッチングの終点を検出することができる。 （もっと読む）

エッチング液を複数のウェーハに塗布するための方法及びシステムが開示されている。システムは、エッチング液を保持するように構成された液溜めと、前記液溜めに連通した液体中に外面を有するローラーであって、前記外面上に前記エッチング液を有するように構成されたローラーと、その内部に置かれたウェーハを、前記ウェーハのエッジが前記ローラーと接触するように保持するために構成されたウェーハカセットとを含んでいる。前記ウェーハカセットによって前記ウェーハは軸周りで軸回転できる。ウェーハのエッジにエッチング液を塗布する方法は、ウェーハのエッジを、ローラーに接触させて位置付ける工程と、前記ローラーの長手軸の周りに前記ローラーを回転させる工程と、を含んでいる。前記ローラーの少なくとも一部分は、前記エッチング液を前記ウェーハのエッジに塗布するように、回転中に液溜め内に含まれるエッチング液と接触する。
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【課題】ＣＡＲＥ法のメリットを延ばし、ＣＡＲＥ法のデメリットを補完することで、十分な加工速度を確保しながら、被加工物の加工後における加工表面にダメージを残すことなく該加工表面の平坦度を高めた表面除去加工を行うことができるようにする。
【解決手段】２以上の表面除去工程と２以上の洗浄工程を有し、最終表面除去工程は、ハロゲン化水素酸、過酸化水素水、及びオゾン水の少なくとも１つを含む処理液中に被加工物を配し、白金、金、セラミックス系固体触媒、遷移金属、ガラス、及び、酸性または塩基性を有する固体触媒の何れかを表面に有する触媒定盤の該表面を被加工物の被加工面に接触または極接近させて該被加工面を加工除去する触媒基準エッチングである。 （もっと読む）

【課題】再現性よく金属表面に形成された酸化物を除去することができる処理方法およびそれに用いられる処理装置を提供する。
【解決手段】Ｌｏｗ−ｋ膜７およびエツチストッパ膜６に形成されたビアホール９の底面にある銅膜４上に酸化雰囲気に曝された時にできた酸化膜１０を一般式が（ＣＨ_２Ｏ）_ｎで表される有機物（ｎは１を除く自然数）を、気体状で表面に酸化膜が形成された金属部分を有する被処理体に接触させ、酸化膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＩＩＩ−Ｖ族窒化物半導体層の新規なエッチング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＩＩＩ−Ｖ族窒化物半導体層上に、エッチングマスクの少なくとも一部として、２価または３価の金属元素を含む金属フッ化物層を形成する工程と、この金属フッ化物層をウェットエッチングによりパターンニングする工程と、パターニングされた金属フッ化物層をマスクとして、前記ＩＩＩ−Ｖ族窒化物半導体層をドライエッチングする工程とを有することを特徴とするＩＩＩ−Ｖ族窒化物半導体層のエッチング方法。 （もっと読む）

【課題】 水晶板などの圧電素板をエッチング加工する際に使用する湿式のエッチング装置で、被加工物である水晶板などの圧電素板が均一にムラが無くエッチング処理ができる装置を実現することを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、エッチング溶液を蓄える容器の中に、圧電素板を格納し揺動する受皿を配置し、前記受皿の下方から前記エッチング溶液を噴射する噴射口を有し、前記受皿の上部には一定間隔で細線を配置した構造を有するもので、従来の回転式のエッチング装置の欠点を改善したもので、エッチング溶液中に圧電素板を格納する受皿を設けて、前記受皿の下方からエッチング溶液を受皿に向けて噴射することで、受皿の中の圧電素板が水流により浮き上がり、受皿の上部に配置する細線で圧電素板の向きを変え、上述の動作を連続的に行うことで、受皿に格納する圧電素板を効率よく回転させることにより課題を解決する。 （もっと読む）