Fターム[5F044LL13]の内容
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Fターム[5F044LL13]に分類される特許
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半導体装置の製造方法
半導体ウエハーの接合方法および半導体装置の製造方法
半導体装置およびその製造方法
インタポーザ、回路基板モジュール、及びインタポーザの製造方法
【課題】電子部品やプリント回路基板に特殊構造を付加すること無く、柔軟性を有する多数の電極構造を一括して形成できるインタポーザの構造およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】インタポーザは、シート状の基材14と、所定の配列で基材に固定された複数のバネ電極12とを有する。バネ電極の各々は、基材の第1の面側に設けられ、第1の方向に沿って延在する第1のパッド12aと、基材の第1の面側とは反対の第2の面側に設けられ、第1の方向に沿って延在する第2のパッド12bと、基材を貫通して第1の面側及び第2の面側に延在し、第1のパッドの一端と第2のパッドの一端を接続するポスト12cとを有する。
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半導体装置とその製造方法
【課題】半導体チップの積層数が多くなっても、フィレットの水平方向の拡がりを大きくすることなく最上段の半導体チップの端面までアンダーフィル材を供給でき、半導体装置の大型化、配線基板の汚染、アンダーフィル材の上段の半導体チップ間への充填不良等を防止することができる半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態の半導体装置10は、配線基板2と、配線基板2上にフリップチップ接続により多段に積層された複数の半導体素子1a〜1eと、配線基板2の外周部に立設され、半導体素子1a〜1eを囲繞する側壁5と、積層された複数の半導体素子1a〜1eと側壁5との間隙、及び配線基板2と半導体素子1a〜1eの各間隙に充填されたアンダーフィル材6とを具備する。
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半導体モジュール及びその製造方法
電子部品の実装方法及び実装システム
フリップチップキャリア、及びこれを用いた半導体実装方法
半導体チップ及びそれを搭載した半導体装置
【課題】信号特性の劣化を抑制した半導体チップを提供する。
【解決手段】半導体基板11の少なくとも一方の面に形成された終端パッド15と、一端が終端パッド15と接続されて、半導体基板11を貫通して形成された伝送体14と、ミリ波帯高周波信号が伝送体14を伝送した際の信号特性の劣化を抑制する少なくとも1つ以上の信号劣化抑制部と、を備える。また、上記半導体チップ10と、低周波信号又は直流バイアスの少なくとも1つの信号の伝導路をなす低周波用の信号線路が設けられると共に、半導体チップ10がバンプ接続に搭載されて、低周波信号用の信号線路を介した信号を半導体チップ10に入出力されるチップ搭載基板20とを備える。
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半導体装置、半導体装置の再生方法、および半導体装置の製造方法
回路基板、半導体パワーモジュール、製造方法
電子装置、電子装置の製造方法及び中継基板
電子部品
ウエハーレベルアンダーフィル剤組成物、これを用いた半導体装置及びその製造方法
電子部品
実装構造
【課題】機械強度を十分に確保した状態で、より容易に、フリップチップ実装ができるようにする。
【解決手段】実装構造では、接続対象の第1電極103および第2電極104のいずれかの接続面の隅に配置された少なくとも1つのスペーサ105を備える。複数のスペーサ105を用いる場合、各スペーサ105は、同じ高さ(厚さ)に形成されていればよい。また、電極間を接着して電気的に接続する接続層106は、接続対象の第1電極103の接続面と第2電極104の接続面との間の、複数のスペーサ105に囲われた領域に配置される。
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半導体装置及びその製造方法
【課題】電子部品の生じた熱を金属板及びモールド樹脂を介して効率よく放熱でき、且つ、電気絶縁性を確保することのできる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、両面に電極を有する電子部品20と、電子部品20が配置され、電極の一方と電気的に接続された基板30と、電子部品20上に配置され、電極の他方と電気的に接続された金属板40と、電子部品20、基板30の少なくとも一部、金属板40を一体的に封止するモールド樹脂50を備える。そして、対向配置された2つの部材としての、電子部品20と基板30との間、及び、電子部品20と金属板40との間の少なくとも一方に、樹脂シート60が配置される。樹脂シート60は、ビアホール内に導電材料を配置してなる接続ビア61を有し、樹脂シート60を挟む2つの部材は、接続ビア61に接しつつ接続ビア61を介して接合される。
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半導体パッケージ
【課題】半導体チップと配線基板との接続信頼性が高い半導体パッケージを提供すること。
【解決手段】本半導体パッケージは、複数の電極パッドを有する半導体チップと、前記半導体チップを搭載する、複数の電極パッドを有する配線基板と、を有し、前記半導体チップの複数の電極パッドは、第1電極パッドと、前記第1電極パッドよりも外周側に配置された第2電極パッドと、を含み、前記配線基板の複数の電極パッドは、第3電極パッドと、前記第3電極パッドよりも外周側に配置された第4電極パッドと、を含み、前記第1電極パッドと前記第3電極パッドとは、接合部を介して接続されており、前記第2電極パッドと前記第4電極パッドとは、ピンを含む接合部を介して接続されている。
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半導体装置の製造方法、接着剤層付き半導体ウェハの製造方法、半導体素子付き半導体ウェハの製造方法、及び半導体ウェハ積層体の製造方法
半導体装置の製造方法、半導体素子付き半導体ウェハの製造方法及び接着剤層付き半導体ウェハの製造方法
【課題】 バンプ部分のボイドが十分に低減されており、なおかつ研削後の反りを十分小さくすることができる接着剤層付き半導体ウェハを得ることができる接着剤層付き半導体ウェハの製造方法、並びに、そのような接着剤層付き半導体ウェハを用いる、半導体装置の製造方法、及び半導体素子付き半導体ウェハの製造方法の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の半導体装置の製造方法は、金属バンプが形成された回路面を有する半導体ウェハの回路面上に、液状感光性接着剤を塗布して感光性接着剤層を形成する工程と、感光性接着剤層を光照射によりBステージ化して接着剤層付き半導体ウェハを得る工程と、接着剤層付き半導体ウェハの半導体ウェハを接着剤層とともに切断して複数の半導体素子に切り分けて接着剤層付き半導体素子を得る工程と、接着剤層付き半導体素子と他の半導体素子又は半導体素子搭載用支持部材とを接着剤層付き半導体素子の接着剤層を挟んで圧着する工程と、を備える。
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