気相成長（金属層を除く） (114,827) | 装置の形式（基板支持の形態、成膜中の基板の運動） (6,825)

基板を成膜室内に一枚保持するもの（枚葉式等） (2,964)
基板を成膜室内に二枚保持するもの (79)
基板を成膜室内に３枚以上保持するもの（バッチ式） (2,189)
基板を成膜室内に連続的に供給するもの (196)
板状以外の基材形態（円筒等）に適する成膜装置 (33)
成膜中に基板が運動（公転、往復運動等）するもの (1,364)