【課題】半導体製造装置間でのデータのコピー、移動に使用される可搬性の記憶媒体で、信頼性の低い記憶媒体であっても、コピー、移動が高精度に実行できる様にした半導体製造装置を提供する。
【解決手段】処理実行用データの第１格納手段４３と一時的に格納する第２格納手段間４５でデータの移動を制御する制御手段４２を具備し、前記第１格納手段４３からコピー元ファイルをテンポラリフォルダに１時ファイルとしてコピーし、前記コピー元ファイルを前記第２格納手段４５のコピー先フォルダにコピー先ファイルとしてコピーし、前記１時ファイル及び前記コピー先ファイルを所定バイト単位で各々比較し、差異があればファイル異常として前記第２格納手段４５の前記コピー先ファイル及び前記テンポラリフォルダの前記１時ファイルを削除し、ファイル全ての比較で差異がない場合は、前記テンポラリフォルダの前記１時ファイルを削除する。 （もっと読む）

【課題】従来、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができなかった。
【解決手段】複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置により、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の群管理システムにおいては、異常検知した後に異常分析を行う場合に、半導体製造装置等の装置毎の時系列の情報を取り出して表示させることができない、という課題があった。
【解決手段】複数の半導体製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、半導体製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し、異常検知した後に異常分析を行う場合に、装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付け、当該出力指示が含む一以上の装置識別子を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成し、構成したチャートを出力するサーバ装置により、半導体製造装置等の装置毎の時系列の情報を取り出して表示させることができる。 （もっと読む）

【課題】オペレータ自身が操作画面を新規に作成できるようにする。
【解決手段】操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とをコントローラにプログラムする。
カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、カスタマイズシステムは、カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示する。この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを初期画面に貼り付けて表示し、カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する。
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【課題】一対のレシピの差異を明示可能とする。
【解決手段】レシピ比較プログラムフローにおいて、比較先レシピのイベント数をループの終了条件として設定する（Ｂ２）。カレントイベントを参照し（Ｃ１）、比較先レシピのイベントを設定し表示する（Ｃ２）。比較元レシピに該当するイベントが有るかを判断する（Ｃ３）。無い場合には最終ステップ（Ｃｎ）に進む。有る場合には比較元レシピの該当するイベントを設定し表示する（Ｃ４）。イベント項目中の一つであるイベント遷移条件の相違の有無を判断する（Ｃ５）。無い場合には次のイベント時間の相違の有無の判断（Ｃ７）に進む。有る場合には比較先のイベント時間項目のセルの表示色を変更する（Ｃ８）。イベント中の全項目の相違の有無の判断が終了すると、相違項目の有無を検索し（Ｃｎ−１）、有った場合にはそのイベントに印を表示する（Ｃｎ）。 （もっと読む）

【課題】 レシピ選択ミスがなく決められたレシピを実行できると共に、基板処理における様々な運用に柔軟に対応できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 表示画面１に表示されたレシピスタートボタンを選択して押下する。レシピスタートボタンの押下情報が表示画面１からコマンド監視タスク４へ送信される。次に、コマンド監視タスク４が関連テーブル３を検索してボタン名３ａのレシピスタートボタンに関連付けられたレシピファイル名３ｂのレシピファイルNo.４を抽出する。これにより、実行レシピファイルはレシピファイルNo.４である情報が関連テーブル３からコマンド監視タスク４へ送信される。コマンド監視タスク５は、レシピファイルデータベース２からレシピファイルNo.４を読み込む。読み込んだレシピファイルNo.４をコマンド監視タスク４からレシピ実行タスク５へ渡し、レシピ実行タスク５がレシピファイルNo.４のレシピを実行する。 （もっと読む）

【課題】デバイス構造変動原因を試作を行う前に検知し、安定した半導体プロセスを実現する半導体プロセス制御装置を提供する。
【解決手段】酸化炉１の設置されたＣＲ内の気圧値を測定する気圧値測定部２と、気圧値測定部２で測定された気圧値の変動によるデバイス構造変動を抑制する酸化時間変動値をプロセス条件に応じて与える熱処理時間変動値算出部３と、酸化炉１における熱処理において、酸化炉１内の昇温時間を経た後の熱処理時間に、前記算出された熱処理時間変動値を付加して半導体製造プロセスを制御する制御部４から構成される。熱処理は熱酸化であり、Ｔ分の酸化時間の熱酸化を行う場合、測定された前記気圧値が予め設定された気圧値の平均値のｘ％であるとき、前記熱処理時間変動値ΔＴはΔＴ＝Ｔ｛１−（ｘ／１００）^２｝／（ｘ／１００）^２である。 （もっと読む）