【課題】オペレータ操作効率を向上させるアプリケーションを提供する。
【解決手段】図４（Ａ）に示されるプルダウンメニューの右ボタンをクリックすると、図４（Ｂ）に示されるように、メニュー項目としてのパラメータの設定値が表示される。メニューの中から選択すべき設定値にカーソルを合わせクリックすることにより、その設定値を指定すると、図４（Ｃ）に示されるように、一番上の設定パラメータ表示欄には、数値「１００」が表示されるようになる。さらに、３３０が選択された場合には、図４（Ｄ）に示されるように、「１００」の上に、「３３０」が表示されるようになる。 （もっと読む）

【課題】高露光精度及び高スループットの両立を実現する。
【解決手段】ステップ５０２においてショットマップデータを読み込み、そして、ステップ５０４において、ショットマップデータと、デフォルト設定されているアライメントパラメータ及び露光パラメータとに基づいて、露光動作を優先させた場合の、マーク検出時間Ｔ₁、露光時間Ｔ₂を算出する。さらに、ステップ５０６、ステップ５０８、ステップ５１２において、マーク検出時間Ｔ₁及びウエハ交換時間Ｔ_Wの合計時間（Ｔ₁＋Ｔ_W）と露光時間Ｔ₂との大小関係を比較して、ステップ５１０、ステップ５１４において、全体のスループットが低下しない範囲で、アライメント精度等が向上するように、アライメントパラメータの調整を行う。 （もっと読む）