【課題】高精度の位置決めを実現する。
【解決手段】放射が光学アーム１０ａ，１０ｂの中を通るように配された第１の窓および第２の窓を含む光学システムが、基板テーブルに設けられる。少なくとも２つのミラー１２が、前記光学アーム１０ａ，１０ｂ内に設けられ、かつ前記窓を通過した放射を反射するように配される。少なくとも２つのレンズ１６，１８が、前記ミラー１２から反射された放射を受けるように位置付けられ、前記第１の窓には第１のアライメントマークＷＭ１が設けられ、かつ前記少なくとも２つのミラー１２および前記少なくとも２つのレンズ１６，１８は、前記第２の窓に前記第１のアライメントマークの像２０ａを形成するように配される。第２のアライメントマークＷＭ１が、前記第２の窓の中に、または前記第２の窓に隣接した位置にある前記基板テーブルの中に設けられる。 （もっと読む）