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Fターム[5F053AA03]の内容

半導体装置を構成する物質の液相成長 (5,002) | 成長方法 (895) | ディッピング法 (219)

Fターム[5F053AA03]に分類される特許

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【課題】 分散剤の使用量が少なく、緻密性、均一性、表面平滑性に優れた半導体膜を簡便な方法で得ることができる金属酸化物半導体粒子分散体組成物の提供。
【解決手段】
平均粒子径が1〜100nmである金属酸化物半導体粒子と、下記式(1)で示される化合物からなる分散剤と、溶媒とを含有することを特徴とする金属酸化物半導体粒子分散体組成物である。式(1)のRは、分岐鎖を有し炭素数が3〜24のアルキル基またはアルケニル基であり、AOは炭素数が1ないし4のオキシアルキレン基であり、nはアルキレンオキシドの平均付加モル数を示す5〜30の範囲の数値であり、Xは炭素原子、水素原子及び/又は酸素原子からなる連結基である。
【化1】
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【課題】所望の体積抵抗率を有する金属酸化物薄膜を、簡便かつ大面積に作製でき、更に所望の形状の金属酸化物を形成する精度が高い金属酸化物薄膜形成用塗布液などの提供。
【解決手段】無機インジウム化合物と、無機カルシウム化合物及び無機ストロンチウム化合物の少なくともいずれかと、有機溶媒とを含有する金属酸化物薄膜形成用塗布液である。 (もっと読む)


【課題】フラックス法を用いた結晶成長装置において、実用的な大きさの結晶の均一性その他の品質を確保しつつ、結晶成長装置を小型化・簡略化する。
【解決手段】結晶の原料原子を含む液体を収容する容器と、前記液体と接する液体接触面に、弾性波を進行波として伝搬させる弾性波伝搬手段と、を有する結晶成長装置を提供する。前記液体接触面として、前記容器の内面が例示できる。前記弾性波伝搬手段が、前記容器に接して配置された圧電体を有してもよく、前記圧電体に交番電界を印加することにより、前記液体接触面に前記弾性波を伝搬させることができる。前記圧電体を複数有してもよく、前記複数の圧電体のそれぞれに印加する交番電界の位相を調整することで、前記弾性波を進行波として伝搬させることができる。 (もっと読む)


【課題】周期表第13族金属窒化物半導体結晶の製造に用いられる反応容器等の部材は、繰り返し及び/又は長時間の使用によって、変質及び/又は劣化が進行することがあり、交換することが必要となるが、頻繁に新しい部材に交換することとなると製造コストの増大を招くことになる。
【解決手段】変質及び/又は劣化した部材を、色彩値(L*値)及び/又は膨張率が特定
の範囲の数値になるように処理することによって、第13族窒化物半導体結晶の製造に再利用できるように部材に再生することができる。 (もっと読む)


【課題】Znに対するMg添加量を30mol%以上にすることが可能なZnMgO膜の製造方法を提供する。
【解決手段】亜鉛イオン濃度及びマグネシウムイオン濃度を縦軸とし且つpHを横軸とする水溶液状態図で、Zn(OH)が析出する領域とZnO2−が存在し得る領域とを画定する線αが、マグネシウムイオンが存在し得る領域とMg(OH)が析出する領域とを画定する線βよりも低pH側に位置する温度のアンモニア水溶液に、Zn原料及びMg原料を溶解し、線αと線βとで挟まれた領域にアンモニア水溶液のpH並びにアンモニア水溶液中の亜鉛イオン濃度及びマグネシウムイオン濃度を調整する調整工程と、該調整工程後に、アンモニア水溶液の温度を、Zn(OH)及びMg(OH)が析出する温度に高める加温工程と、該加温工程後に、析出物を焼成する焼成工程と、を有する、ZnMgO膜の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】CBD法による光電変換素子のバッファ層の製造方法において、反応液中における粒子の発生を抑制して低コスト化を図ると共に、バッファ層成膜工程の短時間化を実現する。
【解決手段】基板保持部20に、成膜用基板10を装着し、基板10をヒーター30により温度T[℃]となるように加熱して、加熱状態を保ったまま、温度Tよりも低い温度T[℃]に温調された反応液2に、少なくとも光電変換半導体層13の表面を接触させることによりバッファ層の成膜を開始し、バッファ層の成膜中は基板10を温度T、反応液2を温度Tに維持する。 (もっと読む)


【課題】前駆体膜を変換して得られた半導体膜の導電率の向上。その有機膜を電極と有機半導体の間に配置することで、電極と半導体層の接触抵抗を低減すること。その結果として、接触抵抗が改善された高性能の電気特性を得ることが可能な電子デバイス用インク組成物ならびにそれを用いた電子デバイス、電界効果トランジスタ、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】電子デバイス用インク組成物であって、少なくともπ電子共役系化合物前駆体と、前記π電子共役系化合物のドーパントと、前記π電子共役系化合物前駆体とドーパントを溶解させる溶媒を含有することを特徴とするインク組成物。 (もっと読む)


【課題】複数回同一の化学浴析出溶液を用いたバッファ層析出を行う場合に、バッファ層表面への粒子状固形物の付着を効果的に抑制すると共に、複数回目に成膜されるバッファ層の品質低下を抑制する。
【解決手段】同一の化学浴析出溶液を用いて繰り返しn回(nは2以上の整数。)、各回毎に光電変換半導体層を最表面に備えた新たな基板の光電変換半導体層上に、バッファ層の成膜を行う場合に、m回目(mは2≦m≦nを満たす整数。)の成膜中に、あるいはm−1回目の成膜とm回目の成膜との間の成膜を行っていない段階に、ろ過フィルタを用いて化学浴析出溶液をろ過するものとし、各回の成膜時間は、1分以上30分以内で、かつ、m回目成膜時間を、m−1回目の成膜時間よりも長くするものとし、各回の成膜はいずれも化学浴析出溶液のpHが9.3〜13の条件下で行う。 (もっと読む)


【課題】生産性の良い製造が可能であり、安定したpn接合を有するバッファ層を備えた化合物半導体系光電変換素子を提供する。
【解決手段】光電変換素子1は、基板10上に、下部電極層20と、化合物半導体を主成分とする光電変換半導体層30と、バッファ層40と、透光性導電層50が順次積層されてなり、バッファ層40が、カドミウム不含金属の硫化物、カドミウム不含金属の酸化物、及び、該硫化物と該酸化物との固溶体を少なくとも含む複数の連結微粒子410を備えた微粒子層41と、微粒子層41の直上に備えられた、カドミウム不含金属元素の酸化物を少なくとも含む薄膜層42及び/又はカドミウム不含金属の硫化物、カドミウム不含金属の酸化物、及び、該硫化物と該酸化物との固溶体を少なくとも含む薄膜層42とを備える。 (もっと読む)


【課題】 膜質のばらつきの少ない化合物半導体膜を作製すること。
【解決手段】 CBD法によって化合物半導体膜を成膜するための成膜用溶液中の凝集物を、成膜前および成膜中の少なくとも一方において遠心分離によって分級することによって、前記成膜用溶液中の前記凝集物の平均粒度を所定値以下に制御すること。 (もっと読む)


【課題】低いエネルギー付与でπ電子共役化合物を得る製造方法、及びこの技術を利用し、難溶性π電子共役系化合物の連続した薄膜の効率的な製造方法を提供する。更に該薄膜の有機電子デバイスへ応用する。
【解決手段】π電子共役系化合物前駆体(I)を含む溶媒の塗工液を基材に塗布して形成された塗工膜より、式(II)で示される脱離性置換基を脱離させ(Ia)で示されるπ電子共役系化合物を含有する膜状体を生成することを特徴とする膜状体の製造方法。


[式(I)、(Ia)、(II)中、XおよびYは水素原子もしくは脱離性置換基を表す。Q乃至Qはそれぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子または、1価の有機基であり、QとQは水素原子、ハロゲン原子または、前記脱離性置換基以外の一価の有機基である。Q乃至Qは隣り合った基同士でそれぞれ結合して環を形成していてもよい。] (もっと読む)


【課題】 溶媒への溶解性に優れることから容易に有機半導体材料等への展開が可能となると共に、高キャリア移動度が期待できる新規なジチエノベンゾジチオフェン誘導体及びこれを用いた有機薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】 下記一般式(1)で示されるジチエノベンゾジチオフェン誘導体。
【化1】


(ここで、置換基R及びRは同一又は異なって、n−ヘプチル基、n−オクチル基、炭素数10のアルキル基、炭素数12のアルキル基及び炭素数14のアルキル基からなる群より選択される置換基を示す。) (もっと読む)


【課題】光電変換素子のバッファ層の製造において、化学浴析出法による析出膜表面に付着コロイド状固形物を効果的に除去する。
【解決手段】化学浴析出工程により析出された析出膜であるバッファ層表面に付着しているコロイド状固形物を周波数の異なる複数の超音波を用いた超音波洗浄およびブラシ洗浄の少なくとも一方の処理によって除去する。 (もっと読む)


【課題】光電変換層にZnイオンの高濃度拡散を行い、かつ製造工程および設備コストの簡素化を図る。
【解決手段】少なくとも1種のZn源と、アンモニア及びアンモニウム塩からなる群より選ばれた少なくとも1種のアルカリ剤とを含み、Zn源の濃度が0.1M以上、アルカリ剤の濃度が2M以下であるpH9〜13の反応液を用意し、20℃から45℃の所定温度に調整した反応液中に、下部電極および光電変換層が積層された基板を浸漬して所定時間維持することにより、光電変換層中にZnイオンを拡散させ、その後、55℃から90℃の所定温度に調整した反応液中に、拡散工程を経た下部電極および光電変換層が積層された基板を浸漬して、光電変換層上に高抵抗酸化物層としてZnO層を析出させる。 (もっと読む)


【課題】キャリア移動度がさらに向上した有機半導体デバイス、該デバイスに含まれる薄膜及び該薄膜に含まれる化合物が求められていた。
【解決手段】式(1)


(式中、X及びYは、それぞれ独立して、硫黄原子、酸素原子、セレン原子、テルル原子、及びSOを表す。R〜Rは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜30のアルキル基、炭素数1〜30のアルコキシ基、炭素数2〜30のアルケニル基、炭素数2〜30のアルキニル基、炭素数1〜30のアルキルチオ基、炭素数6〜30のアリール基又は炭素数4〜30のヘテロアリール基を表す。)
で表されるジカルコゲノベンゾジピロール化合物。 (もっと読む)


【課題】安価な単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材12は、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層の励起波長を532nmとするラマン分光解析によって、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素に由来のL0ピークが観察される。L0ピークの972cm−1からのシフト量の絶対値が4cm−1以上である。 (もっと読む)


【課題】安価な炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材を提供する。
【解決手段】単結晶炭化ケイ素液相エピタキシャル成長用シード材12は、結晶多形が3Cである多結晶炭化ケイ素を含む表層を有する。表層のX線回折により、(111)結晶面、(200)結晶面、(220)結晶面及び(311)結晶面の少なくとも一つに対応した1次回折ピークが観察される。少なくとも一つの1次回折ピークから算出される平均結晶子径が、700Åより大きい。 (もっと読む)


【課題】III族窒化物単結晶の基板からの剥離の成功率を高め、クラックの発生を抑制することである。
【解決手段】基板1上にIII 族金属窒化物単結晶の複数の帯状の種結晶膜3を形成し、この際基板に非育成面1bを形成する。複数の種結晶膜3上にフラックス法によってIII 族金属窒化物単結晶を育成する。複数の種結晶膜3が互いに非育成面1bによって分けられており、複数の種結晶膜3が、それぞれ、一方の端部3a、他方の端部3bおよび一方の端部と他方の端部との間の本体部3cを備えている。種結晶膜3の一方の端部3aの幅Waが他方の端部3bの幅Wbよりも小さく、前記複数の種結晶膜において一方の端部が各種結晶膜の長手方向に見て同じ側に設けられている。 (もっと読む)


【課題】圧電素子用に、組成ずれが少なく結晶性の良好なニオブ酸カリウム混晶系ペロブスカイト型酸化物厚膜を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型酸化物膜1は、基板10上に成膜され、平均膜厚が5μm以上であり、且つ、一般式(P)で表されるペロブスカイト型酸化物を含む。(K1−w−x,A,B)(Nb1−y−z,C,D)O・・・(P)(式中、0<w<1.0,0≦x≦0.2,0≦y<1.0,0≦z≦0.2,0<w+x<1.0。AはK以外のイオン価数が1価のAサイト元素、BはAサイト元素、Cはイオン価数が5価のBサイト元素、DはBサイト元素。A〜Dは各々1種又は複数種の金属元素である。) (もっと読む)


【課題】CBD成膜装置を、CBD溶液に溶解してしまうような部分を含む基板であっても基板を溶解させることなくCBD成膜を実施可能なものとする。
【解決手段】CBD成膜装置1を、長尺基板2を密着支持するドラム3と、長尺基板2を密着支持するドラムの一部を浸漬するCBD反応液4で満たされた反応槽5と、ドラム3に密着支持された長尺基板2の短手方向端部と、ドラム3のうち長尺基板2が密着しない部分とをオーバーラップしてCBD反応液4から保護する保護部材6と、ドラム3の周速に合わせてドラム3に密着させた長尺基板2と保護部材6をCBD反応液中で共走行させる駆動部とを有するものとする。 (もっと読む)


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