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Fターム[5F053AA23]の内容

半導体装置を構成する物質の液相成長 (5,002) | 成長方法 (895) | 成長制御・調整・監視・計測方法 (158) | 温度制御・調整方法 (73) | 時系列的温度制御・調整 (19)

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PN接合の強制反転のためのもの
徐冷(降温)法 (12)

Fターム[5F053AA23]に分類される特許

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【課題】置換基を有するフタロシアニン誘導体が酸により分解すること無く、代表的な有機半導体たる無置換フタロシアニン及び置換基を有するフタロシアニンからなるワイヤー状結晶、特にワイヤーの幅(短径)が100nm以下のナノサイズの細線状の構造を有し、そのワイヤーの短径に対する長さの比率(長さ/短径)が10以上であるフタロシアニンナノワイヤーの製造法を提供すること。
【解決手段】無置換フタロシアニンのみを酸に溶解させた後に、貧溶媒に析出させて得られた微細化無置換フタロシアニンを、置換基を有するフタロシアニン誘導体と混合し、溶媒中、もしくは溶媒蒸気雰囲気下に置くことで上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】原料メルト内の温度を均一にして対流の発生を防止でき、これにより、ウェハ面内の膜厚を均一に成長できるエピタキシャルウェハの製造方法を提供する。
【解決手段】原料メルト2を収容する溶液溜め3を有する原料ホルダー4と、基板5を収容する基板ホルダー部6を有すると共に、基板5を溶液溜め3の底部に位置させるように、原料ホルダー4に対して相対的にスライド自在なスライダー7と、を備えたグラファイト製のグラファイト治具1を用いて、基板5上にエピタキシャル層を成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、溶液溜め3内の中央部に、溶液溜め3内の原料メルト2に浸るように対流防止部材8を設け、溶液溜め3内の原料メルト2の対流を防止し、原料メルト2内の温度を均一にして、ウェハ面内の膜厚を均一に成長させる方法である。 (もっと読む)


【課題】エピタキシャル成長(LPE)法により、4Hもしくは6H炭化珪素単結晶基板上に2H炭化珪素単結晶が30μm厚以上形成された基板と、その製造方法を提供する。
【解決手段】ルツボ3内でリチウムフラックス中で珪素と炭素の融液12を形成し、種結晶基板11として融液12に浸漬した4H炭化珪素単結晶もしくは6H炭化珪素単結晶のC面[(000−1)面]上に、2H炭化珪素単結晶のLPE膜を30μm厚以上成長させる。 (もっと読む)


【課題】輝度低下要因の一つであるカーボン混入を低減させ、高輝度の発光素子(例えば、赤色LED)を作製するためのエピタキシャルウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に、活性層、クラッド層を含むエピタキシャル層を液相エピタキシャル成長法により順次成長させるエピタキシャルウエハの製造方法において、上記エピタキシャル層を成長させる際、上記エピタキシャル層内に取り込まれるカーボン量を3〜6×1017atoms/ccの範囲とすべく、最高到達温度での保持時間を1.25〜2hrとし、その後降温させ、降温中に上記エピタキシャル層を成長させる方法である。 (もっと読む)


【課題】 オンオフ比が改善され、閾値電圧が低い、長期的に安定な特性を有する電界効果型有機トランジスタの製造方法を提供する。
【解決手段】 ソース電極15、ドレイン電極14、ゲート電極12、ゲート絶縁層13及び有機半導体層16を有する電界効果型有機トランジスタの製造方法であって、該有機半導体層16を形成する工程が、350℃以下の融点を有する有機半導体を液相プロセスで成膜した後に室温または室温以上の温度から室温より低い温度T1 に冷却する第1工程、次いで温度T1 から室温まで昇温する第2工程を含む電界効果型有機トランジスタの製造方法。 (もっと読む)


【課題】 高品位であり、製造効率も高く、しかも半導体製造プロセスの基板として使用可能で、有用なIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】 III族窒化物結晶の製造方法において、組成式AlsGatIn1-s-tN(ただし、0≦s≦1、0≦t≦1、s+t≦1)で表される半導体からなる第1の層11を形成し、窒素を含む雰囲気下において、ガリウム、アルミニウムおよびインジウムから選ばれる少なくとも1つのIII族元素とアルカリ金属とを含む融液に第1の層11の表面を接触させることによって、第1の層11よりも転位密度等の結晶構造の欠陥が大きい第2の層12を形成し、窒素を含む雰囲気下において、上記融液中で、組成式AluGavIn1-u-vN(ただし、0≦u≦1、0≦v≦1、u+v≦1)で表される半導体からなり転位密度等の結晶構造の欠陥が第2の層12よりも小さい第3の層13を結晶成長させる。 (もっと読む)


【目的】裏面電極上に形成されたp型化合物半導体からなる光吸収層の上にヘテロ接合のためのn型のバッファ層を設けてなる化合物薄膜太陽電池の製造方法にあって、CBD法によりバッファ層を形成するに際して、溶液の混合および温度を制御することによって光吸収層の界面へのn型ドーパントの拡散とバッファ層の形成の最適化を図って接合性の良い特性の安定したpn接合を得ることができるようにする。
【構成】光吸収層の界面へn型ドーパントを拡散させる第1の工程と、表面反応律速領域による第1のバッファ層61を形成する第2の工程と、供給律速領域による第2のバッファ層62を第1のバッファ層に重ねて形成する第3の工程とをとるようにする。 (もっと読む)


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