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Fターム[5F053DD00]の内容

半導体装置を構成する物質の液相成長 (5,002) | 成長物質 (682)

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Fターム[5F053DD00]に分類される特許

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【課題】融液に原料以外の不純物を添加することなく、また、結晶成長装置を大型化することなく、転位密度が低く結晶性が高いGaN結晶の成長方法を提供する。
【解決手段】本GaN結晶の成長方法は、一主面10mを有するGaxAlyIn1-x-yN種結晶10aを含む基板を準備する工程と、基板10の主面10mにGa融液3への窒素の溶解5がされた溶液7を接触させて、800℃以上1500℃以下の雰囲気温度および500気圧以上2000気圧未満の雰囲気圧力下で、主面10m上にGaN結晶20を成長させる工程と、を備える。また、基板10を準備する工程の後、GaN結晶20を成長させる工程の前に、基板10の主面10mをエッチングする工程を、さらに備える。 (もっと読む)


【課題】種結晶を用いることなく、結晶性の良い、高品質なIII族元素窒化物結晶を成長させることができる結晶成長方法を提供する。
【解決手段】アニール炉20において、サファイア基板7を1,050℃、アンモニア雰囲気下で、5分間アニールすることによって窒化処理する。次に、窒化処理されたサファイア基板7の上において、原料金属であるGaと、フラックスであるNaからなる原料液8と原料ガスである窒素とを接触させて、GaN結晶を成長させる。 (もっと読む)


シリコンまたは他の結晶性物質のリボンを作るための装置および製造方法。この装置は、底部(2)および側壁(3)を有したるつぼ(1)を備える。このるつぼ(1)は、側壁(3)の底部に水平に配置された少なくとも一つの横方向スリット(4)を有している。横方向スリット(4)は、50mmより大きく、好ましくは100mm〜500mmの幅を具備する。スリット(4)の高さ(H)は、50〜1000マイクロメートルである。結晶性物質は、横方向スリット(4)を介してるつぼから取り出されて結晶リボン(R)を形成する。この方法は、横方向スリット(4)から取り出される材料に種結晶(13)を接触させる段階、およびリボン(R)を水平移動させる段階(14)を含む。
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ナノ粒子を生成する方法が、ナノ粒子の材料へのナノ粒子前駆体組成物の転化を生じさせることを含む。前記前駆体組成物は、成長するナノ粒子に組み込まれるべき第1イオンを含有する第1前駆体種と、成長するナノ粒子に組み込まれるべき第2イオンを含有する別の第2前駆体種とを含む。前記転化は、ナノ粒子のシーディング及び成長が可能な条件下で分子クラスター化合物が存在する場合に生じる。
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