Fターム[5F056BC00]の内容
電子ビーム露光 (6,230) | 検出信号処理 (70)
Fターム[5F056BC00]の下位に属するFターム
複数回検出の信号処理 (12)
信号の微分 (1)
信号の積分(モーメント・重心) (4)
信号の和・差(複数の検出器) (3)
しきい値の設定 (5)
誤信号・ノイズ除去 (3)
信号の周波数分析・フィルタの使用 (3)
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Fターム[5F056BC00]に分類される特許
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マルチ荷電粒子線装置
【課題】 マルチ荷電粒子線装置における接続ずれを高速高精度に測定し、補正する。
【解決手段】 マルチビームの相対位置を一つのマークによって検出する。そのため、一つのマーク24と計測対象のビーム23とをビームの方向と垂直に相対移動させ、ビーム進行方向においてマークの後段に配置した検出器25により、ビームとマークが交差した位置を検出し、その検出結果よりビームの相対位置を求める。
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補正装置、補正方法、補正プログラム及び半導体装置の製造方法
【課題】 半導体パターンの露光条件及び観察条件を補正する補正パラメータを外乱の影響を抑制して算出でき、半導体パターンの露光条件及び観察条件における精度を向上可能な補正装置を提供する。
【解決手段】 半導体パターンの露光条件又は観察条件を補正する初期補正パラメータを格納する補正パラメータ記憶装置51と、半導体パターンを露光又は観察したときの誤差を算出する誤差算出部42と、誤差を最小とする仮補正パラメータを算出する仮補正部43と、仮補正パラメータと初期補正パラメータを用いて統計処理を行い、露光条件又は観察条件を補正する本補正パラメータを算出する本補正部44を備える。
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