【課題】 描画に使用する荷電粒子線の強度を計測する精度の点で有利な描画装置を提供する。
【解決手段】 荷電粒子線のパルスで基板に描画を行う描画装置は、入射した荷電粒子線に応じた電流を出力する検出器と、入射した前記パルスに応じた前記検出器の出力電流で充電されるキャパシタを含み、前記キャパシタの電圧値を検出し、前記キャパシタの容量値および前記電圧値に基づいて前記検出器に入射した前記パルスの強度を求める処理部と、を有する。前記処理部は、抵抗を含み、入射した荷電粒子線に応じた前記検出器の出力電流を前記抵抗での電圧降下を介して検出し、該検出に基づいて決定された電流値を有する電流を前記キャパシタに供給して前記キャパシタの電圧値を検出し、該電圧値と前記キャパシタに供給された前記電流の前記電流値とに基づいて、前記容量値を求める。 （もっと読む）

【課題】照射量に関連した異常を描画中にほぼリアルタイム且つ効率的に検出・処理できる描画装置および描画方法を提供する。また、異常原因の推定を含む異常診断を行う方法を提供する。
【解決手段】基板２に電子ビーム５４を照射して発生した反射・散乱電子を検出部１９で検出する。描画データから得られた所定単位におけるＮ番目のショットの面積（Ｓ_Ｎ）と照射時間（ｔ_Ｎ）の積を演算部２５ａにて演算する。所定単位毎に指示相当値を累積した値と、検出部１９からの信号（Ｄ_Ｎ）を所定単位で積分した値とを、比較部２４にて、比較・判定して、電子ビーム５４の照射量に異常が起きているか否かを判定する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、荷電粒子線を用いて生成する画像のオートフォーカス合わせを行うオートフォーカス方法およびオートフォーカス装置に関し、フォーカス電流を所定幅で変えて試料からラインプロファイルを複数取得し、これら各ラインプロファイルを微分した値の絶対値の総和をそれぞれ算出し、これら総和が最大の点あるいは隣接する総和がほぼ等しくなる点を合焦点と決定してその画像を取得し、再現性高くフォーカス合わせした画像を自動取得することを目的とする。
【構成】 対物レンズの電流あるいは電圧を所定幅で順次変えたときに試料からラインプロファイルをそれぞれ取得するステップと、取得した各ラインプロファイルを微分してその絶対値の総和をそれぞれ算出するステップと、算出した総和が最大あるいは隣接する総和がほぼ等しくなるときの対物レンズの電流あるいは電圧に調整するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】露光／非露光部にて電子ビームを高速にＯＮ／ＯＦＦして描画する電子ビーム描画装置において、ビームＯＮ時間に対するビーム照射量の非直線性により、試料上に形成される描画パターンの寸法精度が悪化するという課題がある。
【解決手段】露光／非露光部にて電子ビームを高速にＯＮ／ＯＦＦして描画する電子ビーム描画装置において、ビームＯＮ時間に対するビーム照射量の特性を予め計測し、ビームＯＮ時間の補正データを作成しておき、描画時には前記補正データに基づいて、所望のビーム照射量が得られるようにビームＯＮ時間を補正する。 （もっと読む）